4- Precurrsor PZT:
2.3.1Phương pháp nhiễu xạ ti a
Phương pháp phân tích cấu trúc tinh thể và pha bằng nhiễu xạ tia X (XRD) dựa trên hiện tượng nhiễu xạ tia X bởi mạng tinh thể khi thoả mãn điều kiện nhiễu xạ Bragg: 2dsinθ = nλ, trong đó d là khoảng cách giữa các mặt nguyên tử phản xạ, θ là góc phản xạ, λ là bước sóng của tia X, và n là số bậc phản xạ. Tập hợp các cực đại nhiễu xạ Bragg dưới các góc 2θ khác nhau có thể ghi nhận được bằng cách sử dụng đầu dò. Trên cơ sởđó, phân tích được các đặc trưng về cấu trúc tinh thể và nhiều thông số liên quan khác của mẫu đo. Trong đồ án này, phương pháp nhiễu xạ tia X đã được sử dụng để kiểm tra cấu trúc và thành phần pha của màng mỏng.
Cấu trúc Si Cấu trúc SRO
Hình 2.9: Sơ đồ hình học tụ tiêu để thu các cực đại nhiễu xạ tia X trong trường hợp mẫu màng mỏng, α = 0 ÷ 50.
Do mẫu là màng mỏng nên để chùm tia X đi sâu hơn vào thể tích màng, làm tăng cường độ nhiễu xạ, người ta thường thực hiện phép nhiễu xạ góc nhỏ với sơđồ tiêu tụ như được trình bày ở hình 2.9. Trong sơđồ này, chùm tia X được chiếu lên bề mặt mẫu dưới một góc α cố định rất thấp, thường α < 50, còn đầu dò quay trên vòng tròn nhiễu xạ kế theo góc 2θ. Từ các số liệu ghi được trên giản đồ nhiễu xạ tia X (góc 2θ của các cực đại nhiễu xạ, khoảng cách d của các mặt nguyên tử), có thể xác định được cấu trúc tinh thể (kiểu ô mạng, hằng số mạng, v.v...) và thành phần pha của mẫu trên cơ sởđối chiếu với các thẻ PDF tương ứng. Đối với mỗi một chất hay một hợp chất đã biết đều có một thẻ riêng trong đó có các số liệu XRD, như tập hợp các giá trị d (và 2θ), quy luật cường độ, các chỉ số Miller và các hằng số mạng tinh thể cũng nhưđối xứng tinh thể.