Nguồn cấp electron Vật kính Tr−ờng quét Mẫu Phản xạ Thực hiện quá trình quét đồng bộ ảnh ống tia catôt Chuyển thành tín hiệu điện và khuyếch đại
Detector
Hỡnh 2.7. Sơđồ nguyờn lý của kớnh hiển vi điện tử quột
Phương phỏp hiển vi điện tử quột là phương phỏp sử dụng chựm tia điện tử để tạo ảnh mẫu nghiờn cứu. Ảnh đú đến màu huỳnh quang cú thể đạt độ phúng đại theo yờu cầu. Phương phỏp SEM thường được dựng để nghiờn cứu bề mặt, kớch thước và hỡnh dạng tinh thể của vật liệu. Phương phỏp SEM cú thể thu được những bức ảnh cú chất lượng ba chiều cao, rừ nột và khụng đũi hỏi phức tạp trong khõu chuẩn bị mẫu. Phương phỏp SEM đặc biệt hữu dụng bởi vỡ nú cho độ phúng đại cú thể thay đổi từ 10 đến 100.000 lần với hỡnh ảnh rừ nột, hiển thị ba chiều phự hợp cho việc phõn tớch hỡnh dạng và cấu trỳc bề mặt.
Hỡnh 2.7 là sơ đồ đơn giản của thiết bị SEM, chựm electron từ ống phúng được đi qua một vật kớnh và được lọc thành một dũng hẹp. Vật kớnh chứa một số cuộn dõy (cuộn lỏi electron) được cung cấp với điện thế thay đổi, cuộn dõy tạo nờn
Trần Văn Chi Lớp: Cao học cụng nghệ hữu cơ hoỏ dầu 2008-2010
65
một trường điện từ tỏc động lờn chựm electron, từđú chựm electron sẽ quột lờn bề mặt mẫu tạo thành trường quột. Tớn hiệu của cuộn lỏi cũng được chuyển đến ống catụt để điều khiển quỏ trỡnh quột ảnh trờn màn hỡnh đồng bộ với quỏ trỡnh quột chựm electron trờn bề mặt mẫu. Khi chựm electron đập vào bề mặt mẫu tạo thành một tập hợp cỏc hạt thứ cấp đi tới detector, tại đõy nú được chuyển thành tớn hiệu điện và được khuyếch đại. Tớn hiệu điện được gửi tới ống tia catụt và được quột lờn màn hỡnh tạo nờn ảnh. Độ nột của ảnh được xỏc định bởi số hạt thứ cấp đập vào ống tia catụt, số hạt này lại phụ thuộc vào gúc bắn ra của electron khỏi bề mặt mẫu, tức là phụ thuộc vào mức độ lồi lừm bề mặt. Vỡ thếảnh thu được sẽ phản ỏnh diện mạo bề mặt của vật liệu.
Trần Văn Chi Lớp: Cao học cụng nghệ hữu cơ hoỏ dầu 2008-2010
66
Chương 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN