Trong phần thực nghiệm này, chúng tôi giữ nguyên khoảng cách giữa bia - đế là 5cm, công suất phún xạ là 100W, tỉ lệ khí O2:Ar là 10%, thời gian phún xạ 30 phút, áp suất ~ 3.10-3 torr. Chúng tôi chỉ lần lượt thay đổi nhiệt độ đế. Các màng được chế tạo trên đế thủy tinh thông thường.
Bảng 4.3.Các mẫu TiO2 thuần khảo sát theo sự thay đổi nhiệt độ đế.
Mẫu p(torr) Ts (oC) T(phút) O2:Ar(%) h(cm) I1(A) V1(V) P1(W)
M18 3x10-3 200 30 10 5 0.200 500 100 M20 3x10-3 Nhiệt độ phòng 30 10 5 0.200 500 100 M21 3x10-3 100 30 10 5 0.200 500 100 M22 3x10-3 300 30 10 5 0.200 500 100
*Bàn luận:
Cũng như việc tăng công suất phún xạ, khi ta gia tăng nhiệt độ đế thì các hạt được cung cấp thêm một lượng năng lượng lắng đọng rất lớn làm tăng khả năng kết tinh tinh thể nhưng đồng thời cũng làm giảm độ xốp và độ ghồ ghề bề mặt của màng, do vậy cần phải xác định được nhiệt độ thích hợp, vừa đủ để hài hòa giữa 2 yếu tố và có cho sản phẩm màng có tính chất quang xúc tác lớn nhất.
Qua kết quả đo MB ở hình 4.3, chúng tôi nhận thấy màng có tính năng quang xúc tác lớn nhất khi được chế tạo với nhiệt độ đế Ts = 200oC, kết quả này tương đồng với nhiều công trình về TiO2 khác. Kết quả cho thấy, lượng hữu cơ MB bị phân hủy trong 10ml dd 1ppm sau 30 phút chiếu ánh sáng UV đạt đến 54% và lên đến 93% sau 150 phút chiếu ánh sáng UV.