Phản Ứng.
Về nguyên tắc, để tạo được màng bằng phương pháp phún xạ mang vật liệu nào thì ta cần có bia đươc chế tạo từ vật liệu đó. Tùy theo ý muốn mà bia có thể được chế tạo từ một loại vật liệu thuần khiết, ví dụ Ti, Al, ZnO, Ag,…hay vật liệu có pha tạp nhiều thành phần theo những tỉ lệ phần trăm khác nhau về khối lượng, ví dụ ZnO
Hình 2.6. Hiện tượng khuyếch tán lưỡng cực trong hệ phún xạ magnetron.
(thành phần chính) pha tạp indium, nhôm ,… với tỉ lệ 1% , 2% , 3%... Bên cạnh đó, giữa thành phần chính và thành phần pha tạp cần thiết phải có mối tương quan về mặt lý-hóa thỏa mãn điều kiện liên kết để các thành phần có thể dung kết với nhau và cùng tồn tại trong một khối vật chất. Chẳng hạn ta muốn chế tạo bia TiO2 pha tạp ZnO hay SnO2 thì tương đối là dễ dàng, xác suất thành công rất cao, nhưng đối với TiO2 pha tạp vanadium là vô cùng khó khăn.
Như vậy, ta có thể thấy rằng việc chế tạo bia phún xạ TiO2 pha tạp là có giới hạn. Để khắc phục khó khăn, các nhà khoa học trên thế giới đã mở rộng thêm phương pháp đồng phún xạ phản ứng. Đây là phương pháp tạo màng mới mà ta phải sử dụng nhiều hơn một hệ magnetron, mỗi hệ magnetron được nối với một nguồn cấp thế độc lập nhau và ta phải sử dụng nhiều bia để thực hiện phún xạ đồng thời trên cùng một đế. Mỗi bia tham gia trong hệ được chế tạo từ những vật liệu khác nhau tùy theo yêu cầu về tính chất và vật liệu của màng.
Trong luận văn này, chúng tôi tạo màng TiO2:V bằng phương pháp đồng phún xạ từ hai bia: bia kim loại Ti và V, khí sử dụng là Ar pha O2. Hai bia được đặt trên hai hệ magnetron riêng biệt bố trí như hình 2.7.