Chúng tôi sử dụng hệ phún xạ chân không ở phòng thí nghiệm Quang - Quang Phổ, bộ môn Vật lý Ứng dụng thuộc Đại học Khoa Học Tự Nhiên TP. HCM để tạo màng.
Hình 3.1. Hệ chân không dùng để tạo màng
Trong quá trình thiết kế, chúng tôi đã chú ý đến những vấn đề sau: phát huy tối
đa các phương cơ động có thể, góc nghiêng tối thiểu cần có của hệ magnetron, kích thước của hệ magnetron và kích thước buồng chân không.
Những vật liệu chúng tôi dùng toàn bộ là inox 304, được đúc theo những dạng khuôn mẫu có sẵn như: LAP 3.0mm, ống 5mm - 8mm, ty 6mm. Quá trình được thực hiện theo các bước sau:
Hình 3.3. Sơ đồ tiến hành xây dựng giá đỡ.
Thiết kế mô hình tổng quát
Đo đạc lấysố liệu
Cắt LAP và ống theo số liệu kích thước đã đo đạc Hàn nối các bộ phận theo mô
hình vẽ sẵn
Lắp ráp hệ hoàn chỉnh
Đế được đặt trong vùng plasma phủ lên nhau, do TiO2 đóng vai trò thành phần chính nên đế được đặt lệch về phía bia TiO2, bia V nghiêng về phía bia TiO2 và pháp tuyến của 2 mặt bia phải hợp với nhau một góc lệch θo nào đó. Trong đề tài này, chúng tôi lần lượt thay đổi góc nghiêng θo để tìm ra góc nghiêng tốt nhất cho việc tạo màng. Mức độ vùng plasma của 2 bia phủ lên nhau còn tùy thuộc vào độ cao đặt đế và bản chất của từng loại bia phún xạ. Thí nghiệm được bố trí như hình 3.5:
Hình 3.5: Sơ đồ bố trí bia - đế của hệ đồng phún xạ.
Đồng phún xạ phản ứng là một phương pháp tạo màng tương đối mới trên thế giới cũng như đối với nước ta. Chính vì vậy mà những cơ sở lý thuyết cho phương pháp này còn rất hạn chế. Ở đây chúng tôi chỉ có thể đưa ra một số điểm cần lưu ý trong cách tiến hành mà chúng tôi rút ra được trong quá trình thực nghiệm cùng với điều kiện vật chất mà hiện chúng tôi đang có.