H máy nhi u x tia X X’Pert Pro do hƣng Panalytical ậ Hà Lan s n xu t năm 2005 r t thích h p cho vi c nghiên c u v t li u v i nhi u ng d ng nh sauμ xác đnh c u trúc tinh th , phơn tích hƠm l ng nguyên t , xác đ nh kích th c vƠ đ bi n d ng c a m ng tinh th ... h máy đ c s d ng trong phân tích c u trúc v t r n bằng tia X. H máy bao g m các b ph n chính sau:
ng phát tia X trong h th ng nhi u x k là b ph n quan tr ng c a h máy, dùng đ t o ra chùm tia X song song, có c ng đ cao vƠ năng l ng l n. ng đ c n i v i ngu n đi n th cao tần đ gia t c chùm electron đ p vào bia anôt làm phát sinh tia X.
Hình 5. 1: ng phát tia X
H th ng làm mát ng phát tia X: M t h th ng b m n c trong bình ch a luân chuy n đ lƠm mát anode. Đ làm mát ng phát tia X ng i ta s d ng n c c t pha v i natricacbonat và natrihidrocacbonat theo m t t l thích h p, nhi t đ
n c bên trong h th ng duy trì trong kho ng 170 ÷ 210C. Khi nhi t đ c a n c lên đ n 210C, h th ng làm mát b t qu t đ gi m nhi t đ c a n c trong bình ch a.
H giác k (Goniometer) đ c c khí chính xác vƠ đi u khi n b i phần m m đo nhi u x X’Pert Collector Data. Ng i dùng có th tùy ch n góc quét, th i gian quét vƠ b c quét (step size) trên máy tính k t n i v i h máy.
Hình 5. 2: H giác kế của máy X’Pert Pro.
H th ng thu nh n chùm tia nhi u x (Detector) là thi t b đ m s photon tia X b nhi u x trên m u. Dectector là m t bu ng hình tr bên trong ch a hỗn h p xenon và mêtan, c a s beryllium c a detector có kích th c 20 mm x 24mm. Detector và ng phát tia X cùng nằm trên vòng tròn đ ng tâm trong h giác k .
Toàn b thi t b (ngo i trừ h th ng b m lƠm mát) đ c thi t k trong v b c bằng thép và chì ,v i c a lùa đ c lót chì đ h th ng an toàn v mặt b c x . Di n tích bên trong r ng rãi v i h th ng chi u sáng cho phép quan sát d dàng ho t đ ng c a h th ng. C a s quan sát đ c làm bằng kính pha chì đặc bi t, ngăn không cho tia X thoát ra ngoài mà v n quan sát rõ bên trong máy.
X’Pert Pro lƠ thi t b nhi u x tia X hi n đ i dùng đ nghiên c u v t li u hi u qu vƠ an toƠn. Đ an toàn cho thi t b , sau khi m máy tăng dần hi u đi n th và dòng, mỗi b c tăng ta ph i ch kho ng γphút, tr c khi t t máy ta ph i h dòng
đi n và hi u đi n th , mỗi b c h ta ph i ch trong kho ng 3phút. H máy ho t đ ng hi u đi n th 45 KV và dòng 40 mA.
5.2 Máy t o m i. 5.2.1 C u t o chính.