Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí co và co2 trên cơ sở vật liệu dây nano sno2

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ ĐĂNG TRUNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ CO VÀ CO2 TRÊN CƠ SỞ VẬT LIỆU DÂY NANO SnO2 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội – 2014 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ ĐĂNG TRUNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ CO VÀ CO2 TRÊN CƠ SỞ VẬT LIỆU DÂY NANO SnO2 Chuyên ngành: VẬT LIỆU ĐIỆN TỬ Mã số: 62440123 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS.TS NGUYỄN VĂN HIẾU Hà Nội - 2014 MỤC LỤC DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT vi DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU vii DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ vii MỞ ĐẦU CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN 1.1 Mở đầu 1.2 Phân loại cấu trúc nano chiều 1.3 Phương pháp chế tạo vật liệu có cấu trúc nano chiều 1.3.1 Phương pháp chế tạo từ xuống (top-down) 1.3.2 Phương pháp từ lên (bottom-up) 1.4 Một số ứng dụng quan trọng vật liệu nano chiều 1.4.1 Ứng dụng làm laser 1.4.2 Ứng dụng chế tạo pin mặt trời 1.4.3 Ứng dụng linh kiện phát xạ trường 1.4.4 Ứng dụng cảm biến khí 1.5 Cơ chế nhạy khí cấu trúc nano chiều 10 1.5.1 Cảm biến khí sở dây nano SnO2 10 1.5.2 Cơ chế nhạy khí vật liệu cấu trúc nano chiều 13 1.5.2.1 Cơ chế nhạy khí chung vật liệu oxit kim loại bán dẫn 13 1.5.2.2 Cơ chế nhạy khí vật liệu cấu trúc nano chiều (dây nano) 15 1.6 Tổng quan vật liệu dây nano SnO2 16 i 1.6.1 Cấu trúc vật liệu dây nano SnO2 16 1.6.2 Tính chất quang dây nano SnO2 18 1.6.3 Tính chất điện dây nano SnO2 19 1.6.4 Một số phương pháp chế tạo dây nano SnO2 20 1.6.4.1 Phương pháp bốc bay nhiệt theo chế lỏng rắn (VLS) 20 1.6.4.2 Phương pháp bốc bay chùm điện tử 24 1.6.4.3 Phương pháp mọc dung dịch 26 1.6.4.4 Phương pháp sử dụng khuôn 27 1.7 Dây nano SnO2 ứng dụng cảm biến khí 29 1.7.1 Các đại lượng đặc trưng cảm biến khí 29 1.7.1.1 Độ đáp ứng - độ nhạy 29 1.7.1.2 Độ chọn lọc 30 1.7.1.3 Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục 30 1.7.1.4 Độ ổn định – độ bền 30 1.7.2 Một số phương pháp chế tạo cảm biến dây nano SnO2 30 1.7.2.1 Phương pháp chế tạo gián tiếp (post-synthesis) 30 1.7.2.2 Phương pháp chế tạo mọc trực tiếp (on-chip growth) 32 1.7.3 Biến tính bề mặt dây nano SnO2 33 1.8 Kết luận chương 35 CHƯƠNG 2: CHẾ TẠO VÀ TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ CỦA DÂY NANO SnO2 36 2.1 Giới thiệu 36 2.2 Chế tạo dây nano SnO2 phương pháp bốc bay nhiệt 37 2.2.1 Thiết bị hóa chất 37 ii 2.2.2 Quy trình thực nghiệm chế tạo dây nano SnO2 38 2.2.3 Kết nghiên cứu hình thái cấu trúc vật liệu 41 2.2.3.1 Kết chế tạo dây nano SnO2 sử dụng bột Sn 41 2.2.3.2 Kết chế tạo dây nano SnO2 sử dụng bột SnO 46 2.2.4 Khảo sát số yếu tố ảnh hưởng tới trình chế tạo dây nano 48 2.2.4.1 Ảnh hưởng tốc độ tăng nhiệt 48 2.2.4.2 Ảnh hưởng thời gian mọc 50 2.2.4.3 Ảnh hưởng chiều dày lớp xúc tác 51 2.3 Chế tạo tính chất nhạy khí cảm biến dây nano SnO2 52 2.3.1 Hệ khảo sát tính chất nhạy khí vật liệu 52 2.3.2 Cảm biến chế tạo phương pháp cạo-phủ (Paste-coating) 54 2.3.3 Cảm biến chế tạo phương pháp nhỏ-phủ (Drop-coating) 55 2.3.4 Cảm biến chế tạo phương pháp mọc trực tiếp kiểu bắc cầu (Junctionnanowires) 58 2.3.5 Cảm biến chế tạo phương pháp mọc trực tiếp kiểu mạng lưới (Networknanowires) 66 2.4 Kết luận chương 71 CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN KHÍ CO2 TRÊN CƠ SỞ DÂY NANO SnO2 BIẾN TÍNH LaOCl 72 3.1 Mở đầu 72 3.1.1 Giới thiệu khí CO2 72 3.1.2 Tình hình nghiên cứu cảm biến khí CO2 73 3.2 Kết nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO2 75 3.2.1 Thực nghiệm 75 iii 3.2.2 Kết chế tạo khảo sát tính chất vật liệu 76 3.2.3 Kết khảo sát tính chất nhạy khí CO2 cảm biến 79 3.2.3.1 Ảnh hưởng nhiệt độ ủ 79 3.2.3.2 Ảnh hưởng nồng độ dung dịch biến tính 82 3.2.3.3 Thời gian đáp ứng hồi phục cảm biến 84 3.2.3.4 Độ chọn lọc cảm biến 86 3.2.3.5 Cơ chế nhạy khí cảm biến 88 3.3 Hoàn thiện sản phẩm cảm biến khí CO2 cơng nghệ vi điện tử (MEMS) 91 3.3.1 Quy trình chế tạo cảm biến sử dụng công nghệ MEMS 92 3.3.2 Kết khảo sát tính chất nhạy khí cảm biến 96 3.4 Kết luận chương 97 CHƯƠNG 4: CẢM BIẾN KHÍ CO TRÊN CƠ SỞ DÂY NANO SnO2 BIẾN TÍNH Pd 99 4.1 Mở đầu 99 4.1.1 Giới thiệu khí CO 99 4.1.2 Tình hình nghiên cứu cảm biến khí CO 101 4.2 Kết nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO 103 4.2.1 Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd phương pháp nhỏ phủ 103 4.2.1.1 Quy trình chế tạo cảm biến biến tính Pd phương pháp nhỏ phủ 103 4.2.1.2 Kết chế tạo cảm biến khảo sát tính chất nhạy khí 103 4.2.2 Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd phương pháp khử trực tiếp 105 4.2.2.1 Quy trình biến tính Pd phương pháp khử trực tiếp 105 4.2.2.2 Kết chế tạo cảm biến khảo sát tính chất nhạy khí 106 4.2.3 Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd điện cực thương phẩm 110 iv 4.2.3.1 Quy trình chế tạo cảm biến điện cực thương phẩm 110 4.2.3.2 Kết chế tạo cảm biến hình thái vật liệu 111 4.2.3.3 Kết khảo sát tính chất nhạy khí CO 115 4.3 Hoàn thiện sản phẩm cảm biến khí CO chế tạo cơng nghệ MEMS 120 4.3.1 Quy trình chế tạo cảm biến sử dụng công nghệ MEMS 120 4.3.2 Đặc trưng nhạy khí CO cảm biến 121 4.4 Kết luận chương 122 KẾT LUẬN CHUNG VÀ KIẾN NGHỊ 124 DANH MỤC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ 126 TÀI LIỆU THAM KHẢO 128 v DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT TT Ký hiệu, viết tắt Tên tiếng Anh Nghĩa tiếng Việt CVD Chemical Vapour Deposition Lắng đọng hóa học pha VLS Vapour Liquid Solid Hơi-lỏng-rắn VS Vapour Solid Hơi-rắn UV Ultraviolet Tia cực tím MFC Mass Flow Controllers Bộ điều khiển lưu lượng khí ppb Parts per billion Một phần tỷ ppm Parts per million Một phần triệu SEM Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử quét TEM Transmission Electron Microscope Kính hiển vi điện tử truyền qua 10 XRD X-Ray Diffraction Nhiễu xạ tia X 11 FESEM Field Emission Scanning Electron Microsope Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường 12 HRTEM High Resolution Transmission Electron Microsope Hiển vi điện tử truyền qua phân giải cao 13 EDS/EDX Energy Dispersive X-ray Spectroscopy Phổ nhiễu xạ điện tử tia X 14 ITIMS International Training Institute for Materials Science Viện Đào tạo Quốc tế Khoa học Vật liệu 15 MEMS Micro-Electro Mechanical Systems Hệ thống vi điện tử 16 SMO Semiconducting Metal Oxides Oxit kim loại bán dẫn 17 JCPDS Joint Committee on Powder Diffraction Standards Ủy ban chung tiêu chuẩn nhiễu xạ vật liệu bột 18 Ra Rair Điện trở đo khơng khí 19 Rg Rgas Điện trở đo khí thử 20 S Sensitivity Độ hồi đáp/Độ đáp ứng 21 Donors Các tâm cho điện tử 22 Acceptors Các tâm nhận điện tử vi DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU Bảng 1.1 Thống kê số cơng trình cơng bố cảm biến khí sở dây nano SnO2 ……………………………………………………………………………………… 10 Bảng 2.1 Dải nồng độ khí NO2 (sử dụng khí chuẩn NO2 0,1 %) …………………….53 Bảng 3.1 Sản phẩm cháy số loại chất cháy [31] …………………………… 72 Bảng 3.2 Ảnh hưởng khí CO2 đến sức khỏe người [42] …………………… 73 Bảng 3.3 So sánh độ đáp ứng khí CO2 (2000 ppm) loại cảm biến……………81 Bảng 4.1 Ảnh hưởng nồng độ khí CO đến sức khỏe người [42] …………….99 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1 Thống kê số lượng cơng trình cơng bố liên quan đến vật liệu ZnO, SnO2, TiO2, In2O3 WO3 10 năm (2004-2013) [Nguồn ScienceDirect] …………………… Hình 1.2 Các cấu trúc chiều: (a) sợi nano; (b) cấu trúc lõi-vỏ; (c) ống nano; (d) cấu trúc dị thể; (e), (f) đai/thanh nano; (g) cấu trúc hình cây; (h) cấu trúc nhánh; (i) dạng nano cầu kết hợp; (j) dạng lị xo [162] ………………………………………………………………7 Hình 1.3 Cấu trúc lược (a); Ảnh quang học trường xa phát xạ ánh sáng từ dây nano ZnO (b) phổ phát xạ phụ thuộc vào lượng kích thích (c) [149]……….……… Hình 1.4 Đặc trưng đáp ứng khí cảm biến sử dụng hạt nano dây nano SnO2 11 Hình 1.5 So sánh độ đáp ứng khí cảm biến sở hạt dây nano SnO2 trước (a,c) sau 46 ngày (b,d)………………………………………………………………… …12 Hình 1.6 Cảm biến khí sở transistor hiệu ứng trường dây nano SnO2: mơ hình linh kiện FET dây nano (a), linh kiện FET dây nano (b) đặc trưng nhạy khí O2 đo dịng nguồn máng IDS lúc có khơng có O2……………………………………………………….13 Hình 1.7 Cảm biến sử dụng hiệu ứng tự đốt nóng sở đơn dây nano SnO2: (a) phụ thuộc nhiệt độ đốt nóng vào dịng điện, (b) đặc trưng nhạy khí NO2 cảm biến áp dòng điện 0,1 nA 10 nA…………………………………………………………… …13 vii Hình 1.8 Sơ đồ biểu diễn thay đổi điện trở cảm biến bán dẫn loại n p … 14 Hình 1.9 Mơ hình giải thích thay đổi rào vật liệu oxit kim loại bán dẫn khí khử ………………………………………………………………………….…… …15 Hình 1.10 Mơ hình giải thích chế nhạy khí dây nano ……………….……… 16 Hình 1.11 Mơ hình cấu trúc ô sở vật liệu SnO2 [28] ………………………….17 Hình 1.12 Giản đồ nhiễu xạ điện tử (XRD) vật liệu SnO2 [28] ………………… 17 Hình 1.13 Phổ huỳnh quang dây nano SnO2 mọc 750-950 oC (a) sơ đồ vùng lượng dây nano SnO2 (b) [120] ……………………………………………………18 Hình 1.14 Sơ đồ khảo sát tính chất điện dây nano SnO2 (a) đường đặc trưng I-V tiếp xúc kim loại bán dẫn (b) [12] ………………………………………………….…… 19 Hình 1.15 Cơ chế mọc dây nano SnO2 sử dụng vật liệu nguồn màng Sn [59] … 22 Hình 1.16 Sơ đồ nguyên lý hệ bốc bay chùm điện tử [111] ………………………….25 Hình 1.17 Ảnh FE-SEM dây nano SnO2 chế tạo phương pháp sol-gel từ vật liệu nguồn SnCl2.2H2O [17] ………………………………………………………… 26 Hình 1.18 Các loại khuôn dùng để chế tạo dây nano: (A) màng xốp oxit nhôm, (B) khuôn đồng trùng hợp (copolymer) (C) khn mềm [74] …………………… …………28 Hình 1.19 Quy trình chế tạo cảm biến dây nano sử dụng khn PDMS [61]…….….31 Hình 1.20 Ảnh SEM với độ phóng đại thấp (a) cao (b) cảm biến dây nano SnO2 mọc điện cực lược (c) hình thái dây nano (d) ảnh TEM phân giải cao dây nano SnO2 [22] ………………….…………………………………………………………….32 Hình 1.21 Ảnh TEM dây nano SnO2 (a), nm Ag-SnO2 (b), 10 nm Ag-SnO2 (c), 50 nm Ag-SnO2 (d) độ chọn lọc cảm biến với 100 ppm khí C2H5OH, NH3, H2, CO 450 oC (e) [62] ……………….……………….……………………………………………34 Hình 1.22 Mơ hình giải thích chế nhạy khí dây nano biến tính Pd (a): (1) hấp phụ ion oxy bề mặt dây nano, (2) phân tách phân tử oxy thành ion tác dụng hạt Pd, (3) hấp phụ oxy dây nano bề mặt dây nano có biến tính Pd; giản đồ vùng lượng dây nano SnO2 Pd-SnO2 (b) [4]…………………………………35 viii TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] A Umar and Y.B Hahn (2010-11), Metal oxide nanostructures and their applications, Volume 3: Applications of metal oxide nanostructures, pp 31-52, published by American Scientific Publishers, USA [2] A Javey, S.W Nam, R.S Friedman, H Yan, C.M Lieber (2007), Layer-by-layer assembly of nanowires for three-dimensional, multifunctional electronics, Nano Letters 7, pp 773-777 [3] A Kolmakov, M Moskovits (2004), Chemical sensing and catalysis by onedimensional metal-oxide nanostructures, Annual Review of Materials Research 34, pp 151–180 [4] A Kolmakov, D.O Klenov, Y Lilach, S Stemmer and M Moskovits (2005), Enhanced gas sensing by individual SnO2 nanowires and nanobelts functionalized with Pd catalyst particles, Nano Letters 5, pp 667-673 [5] A Kar, M.A Stroscio, M Dutta, J Kumari, M Meyyappan (2009), Observation of ultraviolet emission and effect of surface states on the luminescence from tin oxide nanowires, Applied Physics Letters 94, pp 101905-101907 [6] A Kolmakov, Y Zhang, G Cheng, M Moskovits (2003), Detection of CO and O2 using tin oxide nanowire sensors, Advanced Materials 15, pp 997-1000 [7] A Friedberger, P Kreisl, E Rose, G Muller, G Kuhner, J Wollenstein, H Bottner (2003), Micromechanical fabrication of robust low-power metal oxide gas sensors, Sensors and Actuators B 93, pp 345-349 [8] A Marsal, G Dezanneau, A Cornet, J.R Morante (2003), A new CO2 gas sensing materials, Sensors and Actuators B 95, pp 266-270 [9] A Marsal, A Cornet, J.R Morante (2003), Study of the CO and humidity interference in La doped tin oxide CO2 gas sensor, Sensors and Actuators B 94, pp 324-329 [10] A Marsal, M.A Centeno, J.A Odriozola, A Cornet, J.R Morante (2005), DRIFTS analysis of the CO2 detection mechanism using LaOCl sensing material, Sensors and Actuators B 108, pp 484-489 [11] A Ponzoni, Elisabetta, I Concina, M Ferroni, M Falasconi, E Gobbi, V Sberveglieri and G Sberveglieri (2012), Nanostructured metal oxide gas sensor, a survey of application carried out at SENSOR Lab, Bresscia (Italy) in the security and food quality fields, Sensors 12, pp 17023-17045 [12] A Nie, J Liu, C Dong and H Wang (2011), Electrical failure behaviors of 128 semiconductor oxide nanowires, Nanotechnology 22, pp 405703-405710 [13] A.L Daltin, A Addad, J.P Chopart (2013), Elaboration and high resolution TEM characterization of SnO2 nanowires, Microelectronic Engineering 108, pp 204-208 [14] A Tischner, T Maier, C Stepper, A Köck (2008), Ultrathin SnO2 gas sensors fabricated by spray pyrolysis for the detection of humidity and carbon monoxide, Sensors and Actuators B, 134, pp 796–802 [15] A Wolfsteller, N Geyer, T.K.N Duc, P.D Kanungo, N.D Zakharov, M Reiche, W Erfurth, H Blumtritt, S Kalem, P Werner, U Gosele (2010), Comparison of the topdown and bottom-up approach to fabricate nanowire-based silicon/germanium heterostructures, Thin Solid Films 518, pp 2555-2561 [16] A Y El-Etre, S M Reda (2010), Characterization of nanocrystalline SnO2 thin film fabricated by electrodeposition method for dye-sensitized solar cell application, Applied Surface Science 256, pp 6601-6606 [17] B Cheng, C Xie, L Fang, Y Xiao, S Lei (2011), Growth and lattice dynamics of single-crystaline SnO2 nanowires prepared by annealing a gel precursor, Materials Chemistry and Physics 129, pp 713-717 [18] B D Yao, Y F Chan, N Wang (2002), Formation of ZnO nanostructures by a simple way of thermal evaporation, Applied Physics Letters 81, pp 757-759 [19] B.G Kim, D.G Lim, J.H Park, Y.J Choi, J.G Park (2011), In-situ bridging of SnO2 nanowires between the electrodes and their NO2 gas sensing characteristics, Applied Surface Science 257, pp 4715-4718 [20] B.Y Wei, M.C Hsu, P.G Su, H.M Lin, R.J Wu, H.J Lai (2004), A novel SnO2 gas sensor doped with carbon nanotubes operating at room temperature, Sensors and Actuators B 101, pp 81-89 [21] B.P Timko, T.C Karni, G Yu, Q Qing, B Tian, C.M Lieber (2009), Electrical recording from hearts with flexible nanowire device arrays, Nano Letters 9, pp 914918 [22] B Wang, L.F Zhu, Y.H Yang, N.S Xu, G.W Yang (2008), Fabrication of a SnO2 nanowire gas sensor and sensor performance for hydrogen, Journal of Physical Chemistry C 112, pp 6643-6647 [23] C Canevali, C.M Mari, M Mattoni, F Morazzoni, R Ruffo, R Scotti, U Russo, L Nodari (2004), Mechanism of sensing NO in argon by nanocrystalline SnO2: electron paramagnetic resonance and electrical study, Sensors and Actuators B 100, pp 228235 129 [24] C.C Runyan, C Johnson, J Yang, A Waller, D Perkis, S Marshall (2005), Risk and protective factors for fires, burns, and carbon monoxide poisoning in U.S households, American Journal of Preventive Medicine 28, pp 102-108 [25] C.G Levins, C.E Schafmeister (2005), The synthesis of curved and linear structures from a minimal set of monomers, The Journal of Organic Chemistry 70, pp 90029008 [26] C Lim, W Wang, S Yang, K Lee (2011), Development of SAW-based multi-gas sensor for simultaneous detection of CO2 and NO2, Sensors and Actuators B 154, pp 9-16 [27] C.M Chang, M.H Hon and I.C Leu (2012), Improvement in CO sensing characteristics by decorating ZnO nanorod arrays with Pd nanoparticles and the related mechanisms, Royal Society of Chemistry Advances 2, pp 2469-2475 [28] C.J Arbioli (2001), Metal additive distribution in TiO2 and SnO2 semiconductors as sensor nanostructured materials, PhD Thesis, Departament d’Electronica, Universitat de Barcelona, Spain [29] Code of Federal Regulations; The superintendent of Documents, U.S Government Printing Office: Washington DC, USA, 1994 [30] C Zhu, J Zeng, P Lu, J Liu, Z Gu, Y Zia (2013), Aqueous-phase synthesis of single-crystal Pd seeds nm in diameter and their use for the growth of Pd nanocrystals with different shapes, Chemistry-A European Journal 19, pp 5127-5133 [31] D Gutmacher, U Hoefer, J Wöllenstein (2012), Gas sensor technologies for fire detection, Sensors and Actuators B 175, pp 40-45 [32] D.H Kim, J.Y Yoon, H.C Park, K.H Kim (2000), CO2-sensing characteristics of SnO2 thick film by coating lanthanum oxide, Sensors and Actuators B 62, pp 61-66 [33] D Reefman, E Cantatore, S Mukherjee, E Arts, R Roovers, F Widdershoven, M Ouwerkerk (2006), Power management options for AMI applications in AmIware Hardware Technology Drivers of Ambient Intelligence, Springer, Dordrecht, pp 285– 313 [34] E Comini, G Faglia, G Sberveglieri, Z Pan, Z.L Wang (2002), Stable and highly sensitive gas sensors based on semiconducting oxide nanobelts, Applied Physics Letters 81, pp 1869-1871 [35] E Comini, G Sberveglieri, C Baratto, G Faglia, M Ferroni, A Ponzoni and A Vomiero (2007), Synthesis and characterization of semiconducting nanowires for gas sensing, Sensors and Actuators B 121, pp 208–213 130 [36] E.H.A Diagne, M Lumbreras (2001), Elaboration and characterization of tin oxidelanthanum oxide mixed layers prepared by the electrostatic spray pyrolysis technique, Sensors and Actuators B 78, pp 98-105 [37] E.M.A Duraia, Z.A Mansorov, S Tokmolden (2009), Synthesis, characterization and photoluminescence of tin oxide nanoribbons and nanowires, Physica B 404, pp 3952-3956 [38] E.M El-Maghraby, A Qurashi, T Yamazaki (2013), Synthesis of SnO2 nanowires their structural and H2 gas sensing properties, Ceramics International 39, pp 84758480 [39] F Chasvez, G.F.P.Sanchez, O Goiz, P.Z Moran, R.P Sierra, A.M Acevedo, C Felipe, M.S Priego (2013), Sensing performance of palladium-functionalized WO3 nanowires by a drop-casting method, Applied Surface Science 275, pp 28-35 [40] F.H Ramirez, A Tarancon, O Casals, J Arbiol, A R Rodriguez, J.R Morante (2007), High response and stability in CO and humidity measures using a single SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B 121, pp 3-17 [41] G.B Barbi, J.P Santos, P Serrini, P.N Gibson, M.C Horrillo, L Manes (1995), Ultrafine grain-size tin-oxide films for carbon monoxide monitoring in urban environments, Sensors and Actuators B 25, pp 559-563 [42] G.F Fine, L.M Cavanagh, A Afonja and R Binions (2010), Metal oxide semiconductor gas sensors in environmental monitoring, Sensors 10, pp 5469-5502 [43] G Kiss, V.K Josepovits, K Kovacs, B Ostrick, M Fleischer, H Meixner, F Resti (2003), CO sensitivity of the PtO/SnO2 and PdO/SnO2 layer structures: Kelvin probe and XPS analysis, Thin Solid Films 436, pp 115-118 [44] G Satishkumar, L Titelman, M.V Landau (2009), Mechanism for the formation of tin oxide nanoparticles and nanowires inside the mesopores of SBA-15, Journal of Solid State Chemistry 182, pp 2822-2828 [45] G Shen, P.C Chen, K Ryu, C Zhou (2009), Devices and chemical sensing applications of metal oxide nanowires, Journal of Materials Chemistry19, pp 828839 [46] G Wiegleb, J Heitbaum (1994), Semiconductor gas sensor for detecting NO and CO traces in ambient air of road traffic, Sensors and Actuators B 17, pp 93-99 [47] H.B.R Lee, S.H Baeck, T.F Jaramillo, and S.F Ben (2013), Growth of Pt nanowires by atomic layer deposition on highly ordered pyrolytic graphite, Nano Letters 13, pp 457-463 131 [48] H.T Giang, H.T Duy, P.Q Ngan, G.H Thai, D.T.A Thu, D.T Thu, N.N Toan (2011), Hydrocarbons gas sensing of nano-crystalline peroskite oxides LnFeO3 (Ln = La, Nd and Sm), Sensors and Actuators B 158, pp 246-251 [49] H.T Giang, H.T Duy, P.Q Ngan, G.H Thai, D.T.A Thu, N.N Toan (2011), Nanosized peroskite oxide NdFeO3 as material for a carbon-monoxide catalytic gas sensor, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 2, pp 015012 [50] http://www.air-quality.org.uk/08.php [51] http://www.epa.gov/climatechange/ghgemissions/gases/co2.html [52] H.M Huang, S Mao, H Feick, H Yan, Y Yu, H Kind, E Weber, R Russo, P Yang (2001), Room-temperature ultraviolet nanowire nanolasers, Science 292, pp 1897-1899 [53] H Li, J Xu, Y Zhu, X Chen, Q Xiang (2010), Enhanced gas sensing by assembling Pd nanoparticles onto the surface of SnO2 nanowires, Talanta 82, pp 458463 [54] H.J Lee, J.H Song, Y.S Yoon, T.S Kim, K.J Kim, W.K Choi (2001), Enhancement of CO sensitivity of indium oxide-based semiconductor gas sensor through ultra-thin cobalt adsorption, Sensors and Actuators B 79, pp.200-205 [55] H Kim and J Cho (2008), Hard templating synthesis of mesoporous and nanowire SnO2 lithium battery anode materials, Journal of Materials Chemistry 18, pp 771775 [56] H.W Kim, S.H Shim, J.W Lee, J.Y Park, S.S Kim (2008), Bi2Sn2O7 nanoparticles attached to SnO2 nanowires and used as catalysts, Chemical Physics Letters 456, pp 193-197 [57] H Wendy, J.J Dittmer, A.P Alivisatos (2002), Hybrid nanorod-polymer solar cells, Science 295, pp 2425-2427 [58] H Wang, B Kang, F Ren, P Sadik, D Norton, S Pearton, J Lin (2005), Hydrogenselective sensing at room temperature with ZnO nanorod, Applied Physics Letters 86, pp 243503-243505 [59] I.C Hurtado, J Herran, G.G Mandayo, E Castafio (2012), SnO2-nanowires grown by catalytic oxidation of tin sputtered thin films for formaldehyde detection, Thin Solid Films 520, pp 4792-4796 132 [60] I Sayago, J Gutierrez, L Ares, J.I Robla, M.C Horrillo, J Getino, J Rino, J.A Agapito (1995), The effect of additives in tin oxide on the sensititvity and selectivity to NOx and CO, Sensors and Actuators B 26, pp 19-23 [61] I.S Hwang, Y.S Kim, S.J Kim, B.K Ju, J.H Lee (2009), A facile fabrication of semiconductor nanowires gas sensor using PDMS patterning and solution, Sensors and Actuators B 136, pp 224-229 [62] I.S Hwang, J.K Choi, H.S Woo, S.J Kim, S.Y Jung T.Y Seong, I.D Kim, and J.H Lee (2011), Facile control of C2H5OH sensing characteristics by decorating discrete Ag nanoclusters on SnO2 nanowires network, ACS Applied Materials & Interfaces 3, pp 3140-3145 [63] J.K Shon, S.S Kong, Y.S Kim, J.H Lee, W.K Park, S.C Park, J.M Kim (2009), Solvent-free infiltration method for mesoporous SnO2 using mesoporous silica template, Microporous and Mesoporous Materials 120, pp 441-446 [64] J.M Baik, M Zielke, M.H Kim, K.L Turner, A.M Wodtke and M Moskovits (2010), Tin-oxide-nanowire-based electronic nose using heterogeneous catalysis as a functionalization strategy, ACS Nano 4, pp 3117-3122 [65] J.H Yu, G.M Choi (2001), Selective CO gas detection of CuO- and ZnO-doped SnO2 gas sensor, Sensors and Actuators B 75, pp 56-61 [66] J Moon, J.A Park, S.J Lee, T Zyung, I.D Kim (2010), Pd-doped TiO2 nanofiber networks for gas sensor applications, Sensors and Actuators B 149, pp 301-305 [67] J Arbiol, E Comini, G Faglia, G Sberveglieri, J.R Morante (2008), Orthorhombic Pbcn SnO2 nanowires for gas sensing applications, Journal of Crystal Growth 310, pp 253-260 [68] J.Q Hu, Y Bando, Q.L Liu and D Golberg (2003), Laser-ablation growth and optical properties of wide and long single-crystal SnO2 ribbons, Advanced Functional Materials 13, pp 493-496 [69] J Varon, P.E Marik, R.E Fromm, A Gueler (1999), Carbon monoxide poisoning: A review for clinicians, Journal of Emergency Medicine 17, pp 87-93 [70] J.Y Park, S Choi, S.S Kim (2011), Junction-tuned SnO2 nanowires and their sensing properties, Journal of Physical Chemistry C, pp 12774-12781 [71] K Shimanoe, K Goto, K Obata, S Nakata, G Sakai, N Yamazoe (2004), Development of FET-type CO2 sensor operative at room temperature, Sensors and Actuators B 102, pp 14-19 133 [72] K.Y Wei, M.C Hsu, P.G Su, H.M Lin, R.J Wu, H.J Lai (2004), A novel SnO2 gas sensor doped with carbon nanotubes operating at room temperature, Sensors and Actuators B 101, pp 81-89 [73] K Steiner, U Hoefer, G Kuhner, G Sulz, E Wagner (1995), Ca- and Pt-catalysed thin-film SnO2 gas sensors for CO and CO2 detection, Sensors and Actuators B 24-25, pp 529-531 [74] K.S Shankar, A K Raychaudhuri (2005), Fabrication of nanowires of multicomponent oxides: Review of recent advances, Materials Science and Engineering C 25, pp 738-751 [75] K.J Choi and H.W Jang (2010), One-dimensional oxide nanostructures as gassensing materials: Review and Issues, Sensors 10, pp 4083-4099 [76] Lee C J, T.J Lee, S.C Lyu, Y Zhang, H Ruh, H.J Lee (2002), Field emission from well-aligned zinc oxide nanowires grown at low temperature, Applied Physics Letters 81, pp 3648-3650 [77] L Mazeina, Y.N Picard, J.D Caldwell, E.R Glaser, S.M Prokes (2009), Growth and photoluminescence properties of vertically aligned SnO2 nanowires, Journal of Crystal Growth 311, pp 3158-3162 [78] L.V Thong, L.T.N Loan, N.V Hieu (2010), Comparative study of gas sensor performance of SnO2 nanowires and their hierarchical nanostructures, Sensors and Actuators B 112, pp 112-119 [79] L.H Qian, K Wang, Y Li, H.T Fang, Q.H Lu, X.L Ma (2006), CO sensor based on Au-decorated SnO2 nanobelt, Materials Chemistry and Physics 100, pp 82-84 [80] L Leontie, M Caraman, A Visinoiu, G Rusu (2005), On the optical properties of bismuth oxide thin films prepared by pulsed laser deposition, Thin solid film 473, pp 230-235 [81] L Tien, H Wang, B Kang, F Ren, P Sadik, D Norton, S Pearton, J Lin (2005), Room-temperature hydrogen-selective sensing using single Pt-coated ZnO nanowires at microwatt power levels, Electrochemical and Solid-State Letters 8, pp 230 [82] L.V Thong, N.D Hoa, D.T.T Le, D.T Viet, P.D Tam, A.T Le and N.V Hieu (2010), On-chip fabrication of SnO2 nanowire gas sensor: The effect of growth time on sensor performance, Sensors and Actuators B 146, pp 361-367 [83] M.C.P Wang, B.D Gates (2009), Directed assembly of nanowires, Materials Today 12, pp 34-43 [84] M.J Madou, S.R Morrison (1989), Chemical sensing with solid state devices, 134 Academic Press, New York [85] M Zhuo, Y Chen, J Sun, H Zang, D Guo, H Zhang, Q Li, T Wang, Q Wan (2013), Humidity sensing properties of a single Sb doped SnO2 nanowire field effect transitor, Sensors and Actuators B 186, pp 78-83 [86] M.S Lee, J.U Meyer (2000), A new process for fabricating CO2-sensing layers based on BaTiO3 and additives, Sensors and Actuators B 68, pp 293-299 [87] M W Ahn, K S Park, J H Heo, D W Kim, K J Choi, J G Park (2009), On-chip fabrication of ZnO-nanowire gas sensor with high gas sensitivity, Sensors and Actuators B 138, pp 168-173 [88] M Yuasa, T Kida and K Shimanoe (2012), Preparation of a stable sol suspension of Pd-loaded SnO2 nanocrystals by a photochemical deposition method for highly sensitive semiconductor gas sensors, ACS Applied Materials & Interfaces 4, pp 4231-4236 [89] N.G Patel, K.K Makhija, C.J Panchal (1994), Fabrication of carbon dioxide gas sensor and its alarm system using indium tin oxide (ITO) thin films, Sensors and Actuators B 21, pp 193-197 [90] N.V Hieu, H.R Kim, B.K Ju, J.H Lee (2008), Enhanced performance of SnO2 nanowires ethanol sensor by functionalizing with La2O3, Sensors and Actuators B 133, pp 228-234 [91] N.V Hieu, P.T.H Van, L.T Nhan, N.V Duy and N.D Hoa (2012), Giant enhancement of H2S gas response by decorating n-type SnO2 nanowires with p-type NiO nanoparticles, Applied Physics Letters 101, pp 253106-253109 [92] N.M Shaalan, T Yamazaki, T Kikuta (2012), NO2 response enhancement and anomalous behavior of n-type SnO2 nanowires functionalized by Pd nanodots, Sensors and Actuators B 166-167, pp 671-677 [93] N Izu, S Nishizaki, T Itoh, M Nishibori, I Matsubara (2009), Gas response, response time and selectivity of a resistive CO sensor based on two connected CeO2 thick films with various particle sizes, Sensors and Actuators B 136, pp 364-370 [94] N Mizuno, T Yoshioka, K Kato, M Iwamoto (1993), CO2 sensing characteristics of SnO2 element modified by La2O3, Sensors and Actuators B 13-14, pp 473-475 [95] NOAA ESRL Data http://www.esrl.noaa.gov/gmd/ [96] N.S Ramgir, I.S Mulla, K.P Vijayamohanan (2005), A room temperature nitric oxide sensor actualized from Ru-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B 107, pp 708-715 135 [97] N.V Hieu, N.D Khoang, D.D Trung, L.D Toan, N.V Duy, N.D Hoa (2013), Comparative study on CO2 and CO sensing performance of LaOCl-coated ZnO nanowires, Journal of Hazardous Materials 244-245, pp 209-216 [98] N Yamazoe (2005), Toward innovations of gas sensor technology, Sensors and Actuators B 108, pp 2-14 [99] O Mekasuwandumrong, J Panpranot (2009), Preparation of nano-Pd/SiO2 by onestep flame spray pyrolysis and its hydrogenation activities: comparison to the conventional impregnation method, Industrial & Engineering Chemistry Research 48, pp 2819-2825 [100] O.V Manoilova, S.G Podkolzin, B Tope, J Lercher, E.E Stangland, J.M Goupil, B.M Weckhuysen (2004), Surface acidity and basicity of La2O3, LaOCl and LaCl3 characterized by IR spectroscopy, TPD and DFT calculation, Journal of Physical Chemistry 108, pp 15770-15781 [101] O.V Safonova, G Delabouglise, B Chenevier, A.M Gaskov, M Labeau (2002), CO and NO2 gas sensitivity of nanocrystalline tin dioxide thin films doped with Pd, Ru and Rh, Materials Science and Engineering C 21, pp 105-111 [102] P.G Li, X Guo, X.F Wang, W.H Tang (2009), Synthesis, photoluminescence and dielectric properties of O-deficient SnO2 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 479, pp 74-77 [103] P Manjula, S Arunkumar, Sunkara V Manorama (2011), Au/SnO2 an excellent material for room temperature carbon monoxide sensing, Sensors and Actuators B 152, pp 168-175 [104] P Yang, R Yan, M Fardy (2010), Semiconductor nanowire: what’s next? Nano Letters 10, pp 1529-1536 [105] Q Kuang, C.S Lao, Z Li, Y.Z Liu, Z.X Xie, L.S Zheng and Z.L Wang (2008), Enhancing the photon-and gas-sensing properties of a single SnO2 nanowires based nanodevice by nanoparticle surface functionalization, Journal of Physical Chemistry C 112, pp 11539-11544 [106] Q.T Khuc, X.H Vu, D.V Dang and D.C Nguyen (2010), Influence of hydrothermal temperature on SnO2 nanorods formation, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 1, pp 025010 [107] Q Zhao, X Y Xu, X F Song (2006), Enhaned field emission from ZnO nanorods via thermal annealing in oxygen, Applied Physics Letters 88, pp 102-105 [108] R.K Sharma, P.C.H Chan, Z Tang, G Yan, I.M Hsing, J.K.O Sin (2001), 136 Investigation of stability and reliability of tin oxide thin-film for integrated micromachined gas sensor devices, Sensors and Actuators B 81, pp 9-16 [109] R.K Joshi, Q Hu, F Alvi, N Joshi, and A Kumar (2009), Au decorated zinc oxide nanowires for CO sensing, Journal of Physical Chemistry C 113, pp 16199-16202 [110] R.R Kumar, K.N Rao, A.R Phani (2013), Self catalytic growth of SnO2 branched nanowires by thermal evaporation, Materials Letters 92, pp 243-246 [111] R.R Kumar, K.N Rao, K Rajanna, A.R Phani (2013), Low temperature growth of SnO2 nanowires by electron beam evaporation and their application in UV light detection, Materials Research Bulletin 48, pp 1545-1552 [112] R Wang, H He, L.C Liu, H.X Dai and Z Zhao (2012), Shape-dependent catalytic activity of palladium nanocrystals for the oxidation of carbon monoxide, Catalysis Science & Technology 2, pp 575-580 [113] S Banerjee, A Dan, D Chakravorty (2002), Review synthesis of conducting nanowires, Journal of Materials Science 37, pp 4261-4271 [114] S Dmitriev, Y Lilach, B Button, M Moskovits, A Kolmakov (2007), Nanoengineered chemiresistors: the interplay between electron transport and chemisorption properties of morphologically encoded SnO2 nanowires, Nanotechnology 18, pp 055707 (6pp) [115] S.V Kalinin, J Shin, S Jesse, D Geohegan, A P Baddorf, Y Lilach, M Moskovits and A Kolmakov (2005), Electronic transport imaging in a multiwires SnO2 chemical field-effect transistor device, Journal of Applied Physics 98, pp 44503-44511 [116] S Wei, Y Yu, M Zhou (2010), CO gas sensing of Pd-doped ZnO nanofibers synthesized by electrospinning method, Materials Letters 64, pp 2284-2286 [117] S.H Hahn, N Barsan, U Weimar, S.G Ejakov, J.H Visser, R.E Soltis (2003), CO sensing with SnO2 thick film sensors: role of oxygen and water vapour, Thin Solid Films 436, pp 17-24 [118] S Luo, P.K Chu, W Liu, M Zhang, C Lin (2006), Origin of low-temperature photoluminescence from SnO2 nanowires fabricated by thermal evaporation and annealed in different ambients, Applied Physics Letters 88, pp 183112-183113 [119] S Phadungdhitidhada, S Thanasanvorakun, P Mangkorntong, S Choopun, N Mangkorntong, D Wongratanaphisan (2011), SnO2 nanowires mixed nanodendrites for high ethanol sensor response, Current Applied Physics 11, pp 1368-1373 [120] S.P Mondal, S.K Ray, J Ravichandran and I Manna (2010), Temperature 137 dependent growth and optical properties of SnO2 nanowires and nanobelts, Bulletin of Materials Science 33, pp 357-364 [121] S.S Kim, J.Y Park, S.W Choi, H.G Na, J.C Yang, H.W Kim (2011), Enhanced NO2 sensing characteristics of Pd-functionalized networked In2O3 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 509, pp 9171-9177 [122] S.R Morrison (1997), The chemical physics of surface, Plenum Press, New York [123] S Park, H Kim, C Jin, S.W Choi, S.S Kim, C.Lee (2012), Enhanced CO gas sensing properties of Pt-functionalized WO3 nanorods, Thermochimica Acta 542, pp 69-73 [124] S Choopun, N Hongsith and E Wongrat (2012), Nanowires-Recent Advances, Chapter 1-Metal Oxide Nanowires for Gas Sensors, book edited by Xihong Peng, ISBN 978-953-51-0898-6, pp 1-22 [125] S Phadungdhitidhada, S Thanasanvorakun, P Mangkorntong, S Choopun, N Mangkorntong, D Wongratanaphisan (2011), SnO2 nanowires mixed nanodendrites for high ethanol sensor response, Current Applied Physics 11, pp 1368-1373 [126] S.W Choi, S.S Kim (2012), Room temperature CO sensing of selectivity grown networked ZnO nanowires by Pd nanodot functionalization, Sensors and Actuators B 168, pp 8-13 [127] S Mulmi, A Hassan, P P Almao, V Thangadurai (2013), Detecting CO2 at ppm level in synthetic air using mixied conducting double perovskite-type metal oxides, Sensors and Actuators B 178, pp 598-605 [128] S.Y Lee, Y.H Shin, Y Kim, S Kim, S Ju (2011), Emission characteristics of diameter controlled SnO2 nanowires, Journal of Luminescence 131, pp 2565-2568 [129] T Tao, Q Chen, H Hu, Y Chen (2011), Tree-like SnO2 nanowires and optical properties, Materials Chemistry and Physics 126, pp 128-132 [130] T Krishnakumar, R Jayaprakash, T Prakash, D Sathyaraj, N Donato, S Licoccia, M Latino, A Stassi and G Neri (2011), CdO-based nanostructures as novel CO2 gas sensors, Nanotechnology 22, pp 325501(8pp) [131] T Zhang, L Liu, Q Qi, S Li, G Lu (2009), Development of microstructure In/Pddoped SnO2 sensor for low-level CO detection, Sensors and Actuators B 139, pp 287-291 [132] Trends in Atmospheric Carbon Dioxide, http://www.esrl.noaa.gov/gmd/ccgg/trends/ [133] T Seiyama, A Kato, K Fulishi, M Nagatami (1962), A new detector for gaseous components using semiconductive thin films, Analytical Chemistry 34, pp 1502138 1503 [134] T Zhanga, L Liu, Q Qi, S Li, G Lu (2009), Development of microstructure In/Pddoped SnO2 sensor for low-level CO detection, Sensors and Actuators B 139, pp 287291 [135] U Hoefer, G Kulner, W Schweizer, G Sulz, K Steiner (1994), CO and CO2 thinfilm SnO2 gas sensors on Si substrates, Sensors and Actuators B 22, pp 115-119 [136] V Sysoev, J Goschnick, T Schneider, E Strelcov, A Kolmakov (2007), A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements, Nano Letters 7, pp 3182-3188 [137] W Yin, B Wei, C Hu (2009), In situ growth of SnO2 nanowires on the surface of Au-coated Sn grains using water-assisted chemical vapor deposition, Chemical Physics Letters 471, pp 11-16 [138] X Xu, J Zhuang, X Wang (2008), SnO2 quantum dots and quantum wires: controllable synthesis, self-assembled 2D architectures, and gas-sensing properties, J Am Chem Soc 130, pp 12527–35 [139] W.S Kim, D Kim, K.J Choi, J.G Park and S.H Hong (2010), Epitaxial Directional Growth of Tin Oxide (101) Nanowires on Titania (101) substrate, Crystal Growth & Design 10, pp 4746-4751 [140] X Chen, C.K.Y Wong, C.A Yuan, G Zhang (2013), Nanowire-based gas sensors: Review, Sensors and Actuators B 177, pp 178-195 [141] X Li, J.H Cho, P Kurup, Z Gu (2012), Novel sensor array based on doped tin oxide nanowires for organic vapor detection, Sensors and Actuators B 162, pp 251258 [142] X Xie, Z Shao, Q Yang, X Shen, W Zhu, X Hong, G Wang (2012), Controllable synthesis of SnO2 nanowires and nanobelts by Ga catalysts, Journal of Solid State Chemistry 191, pp 46-50 [143] X Li, R Ramasamy, P.K Dutta (2009), Study of the resistance behavior of anatase and rutile thick films towards carbon monoxide and oxygen at high temperatures and possibilities for sensing applications, Sensors and Actuators B 143, pp 308-315 [144] X.T Zhou, F Heigl, M.W Murphy, T.K Sham, T Regier, I Coulthard and R.I.R Blyth (2006), Time-resolved X-ray excited optical luminescence from SnO2 nanoribbons: Direct evidence for the origin of the blue luminescence and the role of surface states, Applied Physics Letters 89, pp 213109-213111 139 [145] X.H Vu, T.H.A Ly, Q.T Khuc, D.V Dang, D.C Nguyen (2010), Properties of SnO2 nanoparticles doped with several metal oxides by hydrothermal treatment, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 1, pp 025014 [146] X.Y Xue, Y.J Chen, Y.G Liu, S.L Shi, Y.G Wang, T.H Wang (2006), Synthesis and ethanol sensing properties of indium-doped tin oxide nanowires, Applied Physics Letters 88, pp 201907-201910 [147] Y Shen, T Yamazaki, Z Liu, D Meng, T Kikuta (2009), Hydrogen sensors made of undoped and Pt-doped SnO2 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 488, pp L21-L25 [148] A.C Yanes, J.D Castillo, M Torres, J Peraza, V.D Rodriguez, J Mendez-Ramos (2004), Nanocrystal-size selective spectroscopy in SnO2: Eu3+ semiconductor quantum dots, Applied Physics Letters 85, pp 2343-2345 [149] Y Haoquan, R He, J Johnson, M Law, R.J Saykally and P Yang (2003), Dendritic nanowire ultraviolet laser array, Journal of American Chemical Society 125, pp 4728-4729 [150] Y Fang, S Guo, C Zhu, S Dong, E Wang (2010), One-dimensional carbon nanotube/SnO2/noble metal nanoparticle hybrid nanostructure: synthesis, characterization, and electrochemical sensing, Chemistry-An Asian Journal 2, pp 1838-1845 [151] Y Cheng, P Xiong, C.S Yun, G.F Strouse, J.P Zheng, R Yang and Z.L Wang (2008), Mechanism and optimization of pH sensing using SnO2 nanobelt field effect transistors, Nano Letters 8, pp 4179-4184 [152] Y.J Li, K.M Li, C.Y Wang, C.I Kuo, L.J Chen (2012), Low-temperature electrodeposited Co-doped ZnO nanorods with enhanced ethanol and CO sensing properties, Sensors and Actuators B 161, pp 734-739 [153] Y.J Choi, I.S Hwang, J.G Park, K.J Choi, J.H Park, J.H Lee (2008), Novel fabrication of an SnO2 nanowire gas sensor with high sensitivity, Nanotechnology 19, pp 095508-095512 [154] Y Liu, W Zhu, O.K Tan, X Yao, Y Shen (1996), Structure and gas-sensing properties of nanometer tin oxide prepared by PECVD, Journal of Materials Science: Materials in Electronics 7, pp 279-282 [155] Y Wang, X Jiang and Y Xia (2003), A solution-phase, precursor route to polycrystalline SnO2 nanowires that can be used for gas sensing under ambient 140 conditions, Journal of America Chemical Society 125, pp 16176-16177 [156] Y.S He, J.C Campell, R.C Murphy, M F Arendt and J.S Swinnea (1993), Electrical and optical characterization of Sb-SnO2, Journal of Materials Research 8, pp 3131-3134 [157] Y Wu, J Xiang, C Yang, W Lu, C.M Lieber (2004), Single-crystal metallic nanowires and metal/semiconductor nanowire heterostructures, Nature 430, pp 6165 [158] Y Zhang, J Xu, Y Zhu, X Chen and W Yu (2010), Decoration of ZnO nanowires with Pt nanoparticles and their improved gas sensing and photocatalytic performance, Nanotechnology 21, pp 285501-7 [159] Z Fan, J.C Ho, T Takahashi, R Yerushalmi, K Takei, A.C Ford (2009), Toward the development of printable nanowire electronics and sensors, Advanced Materials 21, pp 3730-3743 [160] Z.W Pan, Z.R Dai, Z.L Wang (2001), Nanobelts of semiconducting oxides, Science 291, pp 1947–1949 [161] Z Cai, J Li (2013), Facile synthesis of single crystalline SnO2 nanowires, Ceramics International 39, pp 377-382 [162] Z R Dai, J L Gole, J.D Stout, Z L Zang (2002), Tin oxide nanowires, nanoribbons and nanotubes, Journal of Physical Chemistry B 106, pp 1274-1279 [163] V Kumar, S Sen, K.P Muthe, N.K Gaur, S.K Gupta, J.V Yakhmi (2009), Copper doped SnO2 nanowires as highly sensitive H2S gas sensor, Sensors and Actuators B 138, pp 587–590 [164] N.S Ramgir, I.S Mulla, K.P Vijayamohanan (2005), A room temperature nitric oxide sensor actualized from Ru-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B 107, pp 708–715 [165] L.L Fields, J.P Zheng, Y Cheng, P Xiong (2006), Room-temperature low-power hydrogen sensor based on a single tin dioxide nanobelt, Applied Physics Letters 88, pp 263102 [166] Q Kuang, C Lao, Z.L Wang, Z Xie, L Zheng (2007), High-sensitivity humidity sensor based on a single SnO2 nanowire, Journal of the American Chemical Society 129, pp 6070–6071 [167] X Han, B Zhang, S Guan, J Liu, X Zhang, R Chen (2008), Gas-sensing properties of SnO2 nanobelts synthesized by thermal evaporation of Sn foil, Journal of Alloys and Compound 461, pp L26–L28 141 [168] Y Shen, T Yamazaki, Z Liu, D Meng, T Kikuta, N Nakatani, M Saito and M Mori (2009), Microstructure and H2 gas sensing properties of undoped and Pd-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B 135, pp 524–529 [169] I.S Hwang, J.K Choi, S.J Kim, K.Y Dong, J.H Kwon, B.K Ju, J.H Lee (2009), Enhanced H2S sensing characteristics of SnO2 nanowires functionalized with CuO, Sensors and Actuators B 142, pp 105–110 [170] M.S Arnold, P Avouris, Z.W Pan, Z.L Wang (2003), Field-Effect Transistors Based on Single Semiconducting Oxide Nanobelts, Journal of Physical Chemistry B 107, pp 659–663 [171] E Strelcov, S Dmitriev, B Button, J Cothren, V Sysoev, A Kolmakov (2008), Evidence of the self-heating effect on surface reactivity and gas sensing of metal oxide nanowire chemiresistors, Nanotechnology 19, pp 355502-355507 [172] J.D Prades, R Jimenez-Diaz, F Hernandez-Ramirez, S Barth, A Cirera, A Romano-Rodriguez, S Mathur, J.R Morante (2008), Ultralow power consumption gas sensors based on self-heated individual nanowires, Applied Physics Letters 93, pp 123110-123112 [173] V.V Sysoev, T Schneider, J Goschnick, I Kiselev, W Habitcht, H Hahn, E Strelcov, A Kolmakov (2009), Percolating SnO2 nanowire network as a stable gas sensor: Direct comparison of long-term performance versus SnO2 nanoparticle films, Sensors and Actuators B 139, pp 699-703 142 ... nano SnO2RuO2 Dây nano SnO2 Đai nano SnO2- Au Dây nano SnO2 10 250400 400 Dây nano SnO2 Dây nano SnO2 Đai nano SnO2 Dây nano SnO2 Dây nano SnO2- CuO Dây nano SnO2- Pt Dây nano SnO2- Pd 50-300 - Độ... biến khí thực nhóm nghiên cứu nước hạn chế Trên sở phân tích trên, chúng tơi chọn đề tài nghiên cứu luận án ? ?Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO CO2 sở vật liệu dây nano SnO2? ?? Đề tài thực với hai...BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ ĐĂNG TRUNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ CO VÀ CO2 TRÊN CƠ SỞ VẬT LIỆU DÂY NANO SnO2 Chuyên ngành: VẬT LIỆU ĐIỆN TỬ Mã số: