Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở

NGUYỄN VĂN TOÁN BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIỆN ĐÀO TẠO QUỐC TẾ VỀ KHOA HỌC VẬT LIỆU - NGUYỄN VĂN TOÁN KHOA HỌC VẬT LIỆU THIẾT KẾ CHẾ TẠO CẢM BIẾN GIA TỐC KIỂU ÁP TRỞ LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU KHOÁ 2009 NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS.TS VŨ NGỌC HÙNG HÀ NỘI - 2011 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI VIỆN ĐÀO TẠO QUỐC TẾ VỀ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGUYỄN VĂN TOÁN THIẾT KẾ CHẾ TẠO CẢM BIẾN GIA TỐC KIỂU ÁP TRỞ LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS.TS VŨ NGỌC HÙNG Hà Nội - Năm 2011 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan kết nghiên cứu thân tôi, hướng dẫn PGS.TS Vũ Ngọc Hùng tơi xin hồn tồn chịu trách nhiệm lời cam đoan Học viên LỜI CẢM ƠN Qua trình học tập làm việc Viện Đào tạo Quốc tế Khoa học Vật liệu (ITIMS), Trường Đại học Bách khoa Hà Nội hồn thành luận văn Trước hết tơi xin gửi lời cảm ơn chân thành tới PGS.TS Vũ Ngọc Hùng, người thầy ln tận tình hướng dẫn, giúp đỡ, tạo điều kiện tốt cho suốt thời gian học làm việc Viện ITIMS Cảm ơn thầy, cô đồng nghiệp Viện ITIMS giúp đỡ bảo tơi suốt q trình học Cảm ơn bạn tập thể lớp Hưng Yên 2009, Cán phòng đào tạo, Khoa Điện - Điện tử Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên giúp đỡ thời gian học tập Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên Với vợ Cảm ơn em nhiều em cho anh, giúp đỡ cho anh Anh yêu mẹ em nhiều Cuối xin gửi lời cảm ơn tới gia đình, người thân, ban bè tơi, người động viên giúp đỡ nhiều thời gian qua Học viên DANH MỤC CÁC BẢNG Trang Bảng 1.1 Hệ số áp điện trở không phụ thuộc đơn tinh thể Silic …… Error! Bookmark not defined Bảng 1.2 Bảng hệ số áp trở song song vng góc theo hướng khác nhau…………………………………………………………………………… E rror! Bookmark not defined Bảng 1.3 Điện trở suất đoạn nhiệt hệ số áp điện trở nhiệt độ phòng ……………………………………………………………………….Er ror! Bookmark not defined Bảng 1.4.Hệ số áp điện trở hệ các……………………Error! Bookmark not defined trục tọa độ Đê Bảng 2.1.Bảng thông số ảnh hưởng tốc độ ăn mòn………………………………… Error! Bookmark not defined DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ Trang Hình 1.1 Sơ đồ khối thành phần MEMS (a), sơ đồ cấu tạo thiết bị MEMS hoàn chỉnh Error! Bookmark not defined Hình 1.2.Hình minh họa kích thước vi cấu trúc MEMS Error! Bookmark not defined Hình 1.3.Quy trình chế tạo cấu trúc MEMS dạng mẻ Error! Bookmark not defined Hình 1.4.Mơ hình tốn học cấu trúc cảm biến gia tốc Error! Bookmark not defined Hình 1.5.Một số cấu trúc cảm biến gia tốc Error! Bookmark not defined Hình 1.6.Một cấu trúc cảm biến gia tốc Error! Bookmark not defined Hình 1.7.Cấu trúc cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở Error! Bookmark not defined Hình 1.8 (a) Hình vẽ cấu trúc cảm biến áp điện màng dày, (b) ảnh SEM cấu trúc cảm biến gia tốc áp điện Error! Bookmark not defined Hình 1.9 Nguyên lý hoạt động gia tốc kiểu tụ (a) Thay đổi khoảng cách hai tụ (b) Thay đổi diện tích hai tụ Error! Bookmark not defined Hình 1.10.Quy ước hệ trục tọa độ Đê phiến Silic Error! Bookmark not defined Hình 1.11 Hiệu ứng áp điện trở song song (a) hiệu ứng áp điện trở dọc (b) Error! Bookmark not defined Hình 1.12.Các hệ số áp điện trở silic loại p mặt (111)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hình 1.13.Các hệ số áp điện trở silic loại p mặt (100)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hình 1.14.Các hệ số áp điện trở silic loại p mặt (110)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hình 2.1 Ba phương pháp quang khắc: (a): Phương pháp tiếp xúc; (b): Phương pháp trường gần; (c): Phương pháp chiếu - Error! Bookmark not defined Hình 2.2 Thiết bị quang khắc hai mặt Viện ITIMS Error! Bookmark not defined Hình 2.3 Phân loại phương pháp ăn mịn khơ - Error! Bookmark not defined Hình 2.4 Các chế ăn mòn - Error! Bookmark not defined Hình 2.5 Cấu trúc hệ thống ăn mịn khơ Error! Bookmark not defined Hình 2.6 Vai trị plasma - Error! Bookmark not defined Hình 2.7 Quy trình ăn mịn khơ Error! Bookmark not defined Hình 2.8 Hệ ăn mịn khơ RIE 10iP ITIMS - Error! Bookmark not defined Hình 2.9 Mặt nạ PR - Error! Bookmark not defined Hình 2.10 Mặt nạ BF - Error! Bookmark not defined Hình 2.11 Mặt nạ MG Error! Bookmark not defined Hình 2.12 Mặt nạ CH - Error! Bookmark not defined Hình 2.13 Mặt nạ IC Error! Bookmark not defined Hình 2.14 Mặt nạ MB Error! Bookmark not defined Hình 2.15 Bộ dấu so mặt nạ - Error! Bookmark not defined Hình 2.16 Các bước quy trình cơng nghệ chế tạo cảm biến Error! Bookmark not defined Hình 2.17 Hình ảnh điện trở: sau quang khắc (a), sau khuếch tán tạp Bohr (b) …………………………………………………………………………… Er ror! Bookmark not defined Hình 2.18 Hốc tiếp xúc tạo thành sau ăn mịn lớp ơxít Error! Bookmark not defined Hình 2.19 Hình dạng dây dẫn sau ăn mịn nhơm - Error! Bookmark not defined Hình 2.20 Đặc trưng I-V áp điện trở trước ủ Error! Bookmark not defined Hình 2.21 Đặc trưng I-V áp điện trở sau ủ - Error! Bookmark not defined Hình 2.22 Hình ảnh mặt trước cảm biến sau bước chế tạo dầm - Error! Bookmark not defined Hình 2.23 Ảnh quang học mặt sau sau ăn mòn tạo khe dao động Error! Bookmark not defined Hình 2.24 Ảnh quang học mặt sau sau ăn mịn khơ Error! Bookmark not defined Hình 2.25 Cấu trúc cảm biến sau chế tạo - Error! Bookmark not defined Hình 2.26 Phiến silic chế tạo cảm biến gia tốc- Error! Bookmark not defined Hình 2.27 Các loại vỏ chân cắm phổ biến: kim loại, gốm nhựa - Error! Bookmark not defined Hình 2.28 Cấu trúc vỏ cảm biến tự thiết kế chế tạo - Error! Bookmark not defined Hình 2.29 Kỹ thuật hàn dây siêu âm (a, b), hình ảnh mối hàn (c) Error! Bookmark not defined Hình 2.30 Máy hàn dây Westbond 7400C - Error! Bookmark not defined Hình 2.31 Hình ảnh cảm biến hàn dây gắn vào đế - Error! Bookmark not defined Hình 3.1 Sơ đồ khối hệ đo gia tốc tổng quát - Error! Bookmark not defined Hình 3.2 Các thiết bị hệ đo gia tốc Error! Bookmark not defined Hình 3.3 Sơ đồ khối hệ chuẩn hoá cảm biến gia tốc Error! Bookmark not defined Hình 3.4 Sơ đồ hệ đo Error! Bookmark not defined Hình 3.5 Sơ đồ nguyên lý mạch khuếch đại tín hiệu cảm biến gia tốc - Error! Bookmark not defined Hình 3.6 CARD thu thập tín hiệu NI USB-6009 Error! Bookmark not defined Hình 3.7 Máy đo gia tốc chuẩn AVT-CZ Mitutyo Error! Bookmark not defined Hình 3.8 Sơ đồ chương trình Labview Error! Bookmark not defined Hình 3.9 Giao diện chương trình ghép nối - Error! Bookmark not defined Hình 3.10 Nhiễu cầu điện trở az - Error! Bookmark not defined Hình 3.11 Tín hiệu điện áp cầu az 2.5g tần số 20Hz Error! Bookmark not defined Hình 3.12 Tín hiệu điện áp cầu az 3g tần số 50Hz - Error! Bookmark not defined Hình 3.13 Tín hiệu điện áp cầu az 2.5g tần số 80Hz Error! Bookmark not defined Hình 3.14 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 20Hz Error! Bookmark not defined Hình 3.15 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 50Hz Error! Bookmark not defined Hình 3.16 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 80Hz Error! Bookmark not defined Hình 3.17 Nhiễu cầu điện trở Az cảm biến 2x2 - Error! Bookmark not defined Hình 3.18 Tín hiệu gia tốc 1g 50Hz - Error! Bookmark not defined Hình 3.19 Tín hiệu theo dải gia tốc từ đến 3g Error! Bookmark not defined Hình 3.20 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 1g Error! Bookmark not defined Hình 3.21 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 2g Error! Bookmark not defined Hình 3.22 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 3g Error! Bookmark not defined Hình 3.23 Đặc trưng tần số cảm biến 2x2 theo phương z Error! Bookmark not defined MỞ ĐẦU Công nghệ MEMS ngành khoa học công nghệ ứng dụng dựa công nghệ mạch tổ hợp với giao thoa lĩnh vực khoa học kỹ thuật khác cơ, quang, nhiệt, điện, điện tử, hóa, sinh Để thực việc thu nhỏ linh kiện, công nghệ MEMS phát triển từ công nghệ vi khối ướt đến công nghệ vi khối khô, tới công nghệ LIGA, công nghệ vi bề mặt Lĩnh vực MEMS phát triển ngày mạnh giới với 6000 Trung tâm nghiên cứu phát triển MEMS Trường đại học, Viện nghiên cứu hãng công nghiệp với số tiền đầu tư hàng năm lên tới tỷ USD cho việc nghiên cứu chế tạo thử nghiệm Các ứng dụng MEMS đa dạng, có mặt hầu hết lĩnh vực sống, quan trọng chủng loại linh kiện tích hợp cảm biến áp suất ngành công nghiệp ôtô, đầu phun mực ứng dụng máy in, cảm biến quán tính (bao gồm cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc cảm biến vận tốc góc) ứng dụng máy bay tên lửa Các cảm biến gia tốc MEMS có ưu điểm trội độ nhạy cao, ổn định, kích thước nhỏ nhẹ ứng dụng nhiều thiết bị y tế robot Để ứng dụng cảm biến gia tốc thực tiễn, việc nghên cứu hồn thiện cơng nghệ nhằm nâng cao độ nhạy tính ổn định như thu nhỏ kích thước vấn đề quan tâm nghiên cứu Trong kuôn khổ luận văn vấn đề thiết kế chế tạo cảm biến giảm tốc sở công nghệ MEMS triển khai nghiên cứu Bìa Luận văn chia làm chương Chương giới thiệu vấn đề liên quan tới công nghệ MEMS Trong chương cảm biến gia tốc với tính chất điện tính chất điện đặc trưng đề cập Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Chương trình bày quy trình cơng nghệ chế tạo đóng gói cảm biến gia tốc Chương đề cập cấu trúc nguyên lý hoạt động cảm biến gia tốc sở phương pháp rung Các kết khảo sát đặc trưng điện áp - gia tốc đặc trưng tần số cảm biến trình bày Nguyễn Văn Toán 2  ITIMS-2009 Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Phần mềm điều khiển hệ đo Để điều khiển ghi lại liệu q trình đo, chương trình máy tính nhỏ xây dựng sử dụng phần mềm ghép nối LABview LABview sở hữu ngơn ngữ lập trình đồ hoạ sử dụng rộng rãi công nghiệp, học thuật phịng thí nghiệm phần mềm chuẩn cho thu thập xử lý số liệu điều khiển, bao gồm tất thư viện công cụ cần thiết cho thu thập liệu, phân tích số liệu biểu diễn kết Với ngơn ngữ lập trình đồ hoạ này, lập trình cách sử dụng giản đồ khối đồ hoạ (graphical block diagram) để biên dịch lệnh thành mã máy tạo block thu thập, xử lý tín hiệu từ cảm biến hiển thị kết đo thơng số cần thiết (Hình 3.7) Hình 3.8 Sơ đồ chương trình Labview Nguyễn Văn Tốn ITIMS-2009   68  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Trong sơ đồ gồm có nhiều mơđun ghép nối với bao gồm: khối thu tín hiệu, lọc tín hiệu, khối sử lý liệu(vẽ đồ thị), chia tín hiệu Quan trọng thu tín hiệu lọc tín hiệu Bộ lọc tín hiệu lọc tín hiệu theo dải tần ta quy định để tín hiệu thu tốt Giao diện chương trình Hình 3.9 Giao diện chương trình ghép nối 3.2 Khảo sát đặc trưng cảm biến gia tốc Với hệ đo giới thiệu trên, ta tiến hành khảo sát đặc trưng cảm biến gia tốc Trong khuôn khổ đồ án khảo sát đặc trưng độ nhạy đặc trưng tần số hai loại cảm biến gia tốc kích thước 1x1 mm2 2x2 mm2 Đối với loại cảm biến gia tốc 1x1 mm2 ta khảo sát đặc trưng độ nhạy đặt gia tốc theo Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   69  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở phương z Với loại cảm biến 2x2 mm2 , mục đích sử dụng chủ yếu để ứng dụng đo độ rung cầu nên khảo sát độ nhạy đặt gia tốc theo phương z Cả hai loại cảm biến khảo sát đặc trưng tần số 3.2.1 Đặc trưng độ nhạy cảm biến 3.2.1.1 Cảm biến loại 1x1 Để đánh giá khả hoạt động cảm biến, đặc trưng điện áp phụ thuộc vào gia tốc khảo sát Phương pháp đo đặc trưng tần số sở thiết bị rung hoạt động tần số 20Hz, 50 Hz 80Hz Gia tốc thay đổi cách thay đổi biên độ dao động rung Điện áp nguồn cung cấp cho cầu Wheaston cảm biến 3V Hệ số khuếch đại điện áp 10000 Kết đo đặc trưng cho thấy điện áp nhiễu cầu điện trở az vào khong 250 mV (Hỡnh 3.10) Nhiễu trê n cầu điện trở a z 0.10 Điện p (V) 0.05 0.00 -0.05 -0.10 -0.15 0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 Thêi gian (s) Hình 3.10 Nguyễn Văn Tốn Nhiễu cầu điện trở az ITIMS-2009   70  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Ở gia tốc 2.5g tần số 20Hz tín hiệu điện áp biểu diễn (Hình 3.11) Hình 3.11 Tín hiệu điện áp cầu az 2.5g tần số 20Hz Ở gia tốc 3g tần số 50Hz tín hiệu điện áp biểu diễn (Hình 3.12) Hình 3.12 Nguyễn Văn Tốn Tín hiệu điện áp cầu az 3g tần số 50Hz ITIMS-2009   71  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Ở gia tốc 2.5g tần số 80Hz tín hiệu điện áp biểu diễn (Hình 3.13) Hình 3.13 Tín hiệu điện áp cầu az 2.5g tần số 80Hz Giữ nguyên tần số dao động, thay đổi gia tốc dải 1g đến 3g Kết qủa đo biên độ điện áp theo biên độ gia tốc biểu diễn (Hình 3.14, Hình 3.15 Hình 3.16) Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   72  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Hình 3.14 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 20Hz Hình 3.15 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 50Hz Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   73  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Hình 3.16 Tín hiệu theo dải gia tốc tần số 80Hz Độ nhạy theo phương z tính theo cơng thức : Sz = Vz az (3.3) Trong đó, Vz điện áp cầu điện trở az, az gia tốc theo phương z Kết thu cho thấy điện áp cảm biến phụ thuộc tuyến tính vào gia tốc az dải giá trị từ 1g đến 3g giải tần số 20Hz, 50Hz 80Hz Độ nhạy gia tốc thành phần gia tốc az Tần số (Hz) 20 50 80 Nguyễn Văn Tốn Độ nhạy (µV/g) 60 50 40 ITIMS-2009   74  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở 3.2.1.2 Cảm biến loại 2x2 Khi khảo sát độ nhạy cảm biến loại 2x2, ta tiến hành bước hoàn toàn tương tự cảm biến loại 1x1 nhiên khác kích thước khối gia trọng dầm để sử dụng cho mục đích ứng dụng khác nên cảm biến loại 2x2 khảo sát theo dải gia tốc từ 0g đến 3g với tần số 50Hz Như trình bày mục tiêu ứng dụng loại cảm biến 2x2 chủ yếu để xác định độ rung cầu khảo sát độ nhạy cảm biến chịu tác dụng gia tốc theo phương z Nhiễu cầu điện trở az đo khoảng 0.13V vi h s khuch i 1000 ln Nhiễu cầu điện trở a z 0.04 0.02 Điện p (V) 0.00 -0.02 -0.04 -0.06 0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 Thêi gian (s) Hình 3.17 Nguyễn Văn Tốn Nhiễu cầu điện trở Az cảm biến 2x2 ITIMS-2009   75  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Tín hiệu cảm biến gia tốc 1g tần số 50Hz thể (Hình 3.18) Giữ nguyên tần số 50Hz , với cảm biến loại 2x2 ta khảo sát đến gia tốc 3g cho kt qu nh (Hỡnh 3.19) 0.4 Điện p (V) 0.2 0.0 -0.2 -0.4 -0.01 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 Thêi gian (s) Hình 3.18 Nguyễn Văn Tốn Tín hiệu gia tốc 1g 50Hz ITIMS-2009   76  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tc kiu ỏp tr 3.0 2.5 Điện p (V) 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 Gia tèc (g) Hình 3.19 Tín hiệu theo dải gia tốc từ đến 3g Kết cho thấy cảm biến loại 2x2mm độ nhạy theo phương z 0,86 mV/g gần với kết mô 0,98 mV/g Sự sai lệch xảy q trình đóng vỏ cảm biến cịn chưa tốt, bên cạnh mạch đo chưa hoàn thiện tối ưu 3.2.2 Đặc trưng tần số của cảm biến 3.2.2.1 Cảm biến loại 1x1  Đặc trưng tần số cảm biến có vai trị quan trọng cho phép xác định độ rộng dải tần làm việc linh kiện Đặc trưng tần số mode dao động vng góc (az) trình bày (Hình 3.20, Hình 3.21 Hình 3.22) tương ứng với gia tốc 1g, 2g 3g Kết cho thấy độ rộng dải tần cảm biến gia tốc chế tạo có giá trị cỡ 100 Hz Biên độ giảm tần số cao suy hao lớn gây hiệu ứng trượt lớp khí dọc bề mặt cảm biến Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   77  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Hình 3.20 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 1g Hình 3.21 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 2g Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   78  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Hình 3.22 Đặc trưng tần số theo phương z gia tốc 3g 3.2.2.2 Cảm biến loại 2x2  Tương tự cảm biến loại 1x1 ta khảo sát đặc trưng tần số loại cảm biến 2x2 theo phương z kết cho thấy cảm biến loại 2x2 có độ rộng dải tần hoạt động 80Hz Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   79  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 100 200 TÇn sè (Hz) Hình 3.23 Đặc trưng tần số cảm biến 2x2 theo phương z Như vậy, cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở chế tạo sở công nghệ vi khối khô Kết thu cho thấy điện áp cảm biến phụ thuộc tuyến tính vào tải gia tốc az dải giá trị từ 1g đến 3g Tương ứng độ nhạy cảm biến gia tốc thành phần gia tốc az đạt giá trị tương ứng 40µV/g, 50µV/g 60 µV/g cảm biến loại 1x1 Mặt khác, kết khảo sát cho thấy đo phụ thuộc tín hiệu vào thành phần gia tốc theo phương z, độ lớn tín hiệu thành phần vng góc tương ứng z nhỏ Dải thông cảm biến khoảng 100 Hz Đối với loại cảm biến 2x2 độ nhạy theo phương z 0.86 mV/g, dải thơng 80Hz Nguyễn Văn Tốn ITIMS-2009   80  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ Luận án “Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở” hoàn thành, phát triển tiếp nghiên cứu trước nhóm MEMS, thuộc Viện ITIMS, cảm biến gia tốc nói riêng cảm biến MEMS nói chung Trong khn khổ luận văn này, vấn đề thực bao gồm: Đã tìm hiểu lý thuyết cơng nghệ MEMS nói chung lý thuyết cảm biến gia tốc kiểu áp trở Trong đó, tốn phân tích ứng suất giúp thiết kế cấu trúc thiết kế cầu điện trở để xác định ba thành phần ứng suất cách độc lập Bài toán điện thực để tính tốn độ nhạy cảm biến tối ưu hố cấu trúc cảm biến, phụ thuộc độ nhạy vào kích thước dầm khối gia trọng khảo sát Đã tiến hành chế tạo cảm biến công nghệ vi khối khơ tiến hành đóng vỏ cảm biến gia tốc sử dụng loại vỏ thiết kế chế tạo Đã tiến hành khảo sát độ nhạy đặc trưng tần số cảm biến gia tốc ba bậc tự kiểu áp điện trở Kết đo độ nhạy cảm biến phù hợp với kết qủa thu từ tốn mơ Tuy nhiên, khn khổ luận văn này, nhiều vấn đề chưa giải Để hoàn thiện hơn, tương lai, cần giải tiếp số vấn đề sau: Về vấn đề ăn mịn khơ: cần khảo sát thêm ảnh hưởng công suất bias; công suất ICP; thời gian bước ăn mòn lắng đọng; nhằm đạt tốc độ ăn mịn lớn mà khơng bị tượng vi cỏ điều khiển góc nghiêng vách ăn mịn Nguyễn Văn Tốn ITIMS-2009   81  Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Về vấn đề mô phỏng: cần khảo sát mô đặc trưng động cảm biến, có vấn đề damping (do ảnh hưởng lớp khơng khí xung quanh khối gia trọng) Về thiết kế cảm biến: cần tiến hành phân tích hoạt động học cảm biến sở lý thuyết đàn hồi cổ điển, đó, chủ yếu liên quan tới biến dạng thành dầm chịu tác dụng ứng suất Trên sở kết lý thuyết này, ta chủ động việc thiết kế cảm biến Nguyễn Văn Toán ITIMS-2009   82  ... trúc cảm biến gia tốc 1.2.2 Cảm biến gia tốc áp điện trở Cảm biến gia tốc áp điện trở cảm biến gia tốc chất rắn chế tạo Đối với loại cảm biến gia tốc này, phần tử áp điện trở đặt hệ dầm Khi cảm biến. .. Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở Nguyễn Văn Toán 27  ITIMS-2009 Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở CHƯƠNG NGHIÊN CỨU XÂY DỰNG QUY TRÌNH CƠNG NGHỆ CHẾ TẠO CẢM BIẾN GIA TỐC... cảm biến gia tốc kiểu áp trở 1.2.1 Phân loại cảm biến gia tốc Hình 1.5 Một số cấu trúc cảm biến gia tốc Về mặt công nghệ, cảm biến gia tốc chia thành hai loại cảm biến gia tốc vi bề mặt cảm biến