Nghiên cứu chế tạo màng oxit nhôm al2o3 trên bề mặt thủy tinh

Đại Học Quốc Gia Tp Hồ Chí Minh TRƯỊNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA - ĐỒN MẠNH TUẤN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG OXIT NHƠM AL2O3 TRÊN BỀ MẶT THỦY TINH Chuyên nghành: CÔNG NGHỆ VẬT LIỆU LUẬN VĂN THẠC SĨ TP.HỒ CHÍ MINH, tháng 12 năm 2008 TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA PHÒNG ĐÀO TẠO SĐH CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM ĐỘC LẬP – TỰ DO – HẠNH PHÚC Tp HCM, ngày tháng năm 200 NHIỆM VỤ LUẬN VĂN THẠC SĨ Họ tên học viên: ĐOÀN MẠNH TUẤN Phái: Nam Ngày, tháng, năm sinh: 22/12/1958 Nơi sinh: TP.Nam Định Chuyên ngành: Vật liệu vô MSHV: 00306047 I- TÊN ĐỀ TÀI: Nghiên cứu chế tạo màng Oxit nhôm Al2O3 bề mặt thủy tinh II- NHIỆM VỤ VÀ NỘI DUNG: III- NGÀY GIAO NHIỆM VỤ (Ngày bắt đầu thực LV ghi Quyết định giao đề tài): IV- NGÀY HOÀN THÀNH NHIỆM VỤ: V- CÁN BỘ HƯỚNG DẪN (Ghi rõ học hàm, học vị, họ, tên): CÁN BỘ HƯỚNG DẪN (Học hàm, học vị, họ tên chữ ký) CN BỘ MÔN QL CHUYÊN NGÀNH Nội dung đề cương luận văn thạc sĩ Hội đồng chun ngành thơng qua TRƯỞNG PHỊNG ĐT – SĐH Ngày tháng năm TRƯỞNG KHOA QL NGÀNH CƠNG TRÌNH ĐƯỢC HỒN THÀNH TẠI TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH Cán hướng dẫn khoa học: PGS.TS ĐỖ QUANG MINH ( Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị chữ ký) Cán chấm nhận xét 1: TS ĐỖ MINH ĐẠO ( Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị chữ ký) Cán chấm nhận xét 2: TS HUỲNH KỲ PHƯƠNG HẠ ( Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị chữ ký) Luận văn thạc sỹ bảo vệ HỘI ĐỒNG CHẤM BẢO VỆ LUẬN VĂN THẠC SỸ TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA, ngày ….tháng 12 năm 2008 LỜI CẢM ƠN Em xin chân thành cảm ơn thày Đỗ Quang Minh tận tình dẫn cho em suốt trình luận văn Tôi xin chân thành cảm ơn tất người than, bạn cộng giúp đỡ động viên vật chất tinh thần cho tơi giai đoạn khó khă thực đề tài Tôi xin chân thành cảm ơn tập thể cán công tác phịng thí nghiệm trường đại học bách khoa trương đại học công nghiệp tạo điều kiện để tơi hồn thành luận văn Tóm tắt Phương pháp tạo màng thấm bề mặt tạo khả tăng cường chống trầy xước bề mặt thủy tinh Các phương pháp tạo màng bề mặt dùng là: bay bốc nhiệt chân khơng, phún xạ catốt, lắng đọng hóa học(CVD), Epitaxy chùm phân tử, lắng đọng chùm laser xung phương pháp so-gel Báo cáo giới thiệu phương pháp tạo màng thấm nano - Al2O3 từ Resinat nhôm nung 630oC điều kiện áp suất khơng khí Các kết thí nghiệm qua thơng số đo độ cứng tế vi HV theo thang đo Vickers độ cứng thủy tinh sở tăng 12÷15%, qua phổ XRay tán xạ góc nhỏ, kính hiển vi điện tử xuyên TEM hay hiển vi điện tử bề mặt SEM cho ta nhóm hạt có kích thước từ ÷ 15 mm Ngồi phổ hấp thụ cho ta thấy rõ độ thủy tinh sau phủ lớp màng nhôm Einleitung Die Al2O3-haltige Diffusionsschicht auf Steigerung der mechanischen Erzeugungsmethoden Gasphasenabscheidung, dieser Glasoberfläche ermöglicht die Kratzbeständigkeit dünnen Schicht Sol-Gel-Verfahren, vom sind thermische Glas Die Chemische in Vakum Verdampfung, Moleküle – Epitaxy In diesem Thema wird eine Erzeugungsmethode von nano-dünner Schicht angezeigt Aluminium Rezinat wird auf Glasoberfläche in normaler Lufdruck in 630oC angebrannt Durch die Annalysenmethoden: kleinwinkel Röntgenannalyse, TEM, SEM und Absorptionspektra erfolgen die Ergebnisse: Diese Diffusionsschicht hat die Teilchen von nanometern, meisten von 6-13nm Ausßedem ist diese Schicht farblos tranferenz Mục lục CHƯƠNG I : TỔNG QUAN 1.1 Khái niệm sở lý thuyết đế thủy tinh : 1.1.1 Khái niệm định nghĩa thủy tinh : 1.1.2 Cấu trúc thủy tinh: 1.1.3 Khả tạo thủy tinh: 1.1.4 Giải thích số tính chất theo cấu trúc thủy tinh: 1.2 Khái niệm tính chất màng phương pháp tạo màng mỏng: 10 1.2.1 Tính chất bề mặt màng 11 1.2.2 Các phương pháp tạo màng 11 1.2.2.1 Phương pháp bay bốc nhiệt: 12 1.2.2.2 Phún xạ catod (Cathode Sputtering) 12 1.2.2.3 Phương pháp lắng đọng hóa học (CVD) 13 1.2.2.4 Epitaxy chùm phân tử Error! Bookmark not defined 1.2.2.5 Phương pháp tạo màng laser xung Error! Bookmark not defined 1.2.2.6 Công nghệ tạo màng phương pháp Sol – Gel : Error! Bookmark not defined 1.3 Những thành tựu lĩnh vực sử dụng mang nhôm : 14 CHƯƠNG 2: CƠ SỞ LÝ THUYẾT QUÁ TRÌNH SOL-GEL 15 2.1 Giới thiệu khái quát: 15 2.2 Các khái niệm 16 2.2.1 Precursor: 16 2.2.2 Sol 17 2.2.3 Gel 17 2.2.4 Alkoxit 17 2.2.5 Muối kim loại: 19 2.3 Định nghĩa trình sol-gel: 21 2.4 Quá trình động học thông số 21 CHƯƠNG 3: NGUYÊN LIỆU VÀ CƠ SỞ TẠO MÀNG BẰNG RESINAT 22 3.1 Nguyên liệu cấp Resin 22 3.1.1 Tinh dầu thông 22 3.1.2 Nhựa thông: 24 3.1.3 Colofan thông: 24 3.2 Nhóm cung cấp Al+3: 28 3.2.1 Hydrat nhôm : Al2O3.nH2O 28 3.2.2 Nhôm clorua: 29 3.2.3 Nhôm Nitrat: 29 3.3 Cơ sở tạo màng Al2O3 từ Resinat kim loại: 29 CHƯƠNG 4: CÁC PHƯƠNG PHÁP PHỦ MÀNG TỪ DUNG DỊCH SOLGel 33 4.1 Kỹ thuật phủ quay ( spin coating ) 33 4.2 Kỹ thuật nhúng ( dip coating ) 35 CHƯƠNG 5: CÁC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU: 37 5.1 Xác định nhóm chức Resinat Al phổ hồng ngoại: 38 5.2 Xác định q trình biến đổi hóa lý mẫu phân tích nhiệt DTA: 40 5.3 Phân tích cấu trúc tinh thể màng Al2O3 phương pháp nhiễu xạ tia X, tán xạ góc nhỏ : 42 3.5.1.Phân tích cấu trúc tia X-ray : 42 3.5.2 Xác định kích thước hạt Nano tán xạ góc nhỏ (SAXS) 43 5.4 Xác định kích thước hạt ảnh kính hiển vi điện tử xuyên (TEM) kính hiển vi điện tử bề mặt (SEM): 45 5.5 Quang phổ hấp thụ : 46 5.6 Đo độ cứng tế vi màng Al2O3 : 48 CHƯƠNG 6: THỰC NGHIỆM VÀ KẾT QUẢ 51 6.1 Điều chế Resinat Nhôm: ( C19H29COO)3Al 52 6.1.1 Kiểm tra chất lượng nhựa thông : 52 6.1.2 Điều chế Resinat Natri (RCOO)Na 55 6.1.3.Điều chế Resinat nhôm ( C19H29COO)3Al : 58 6.2 Phân tích xác định cấu trúc Resinat Al phương pháp phổ IR 59 6.3.Xác định q trình biến đổi hóa lý phân tích nhiệt DTA 61 6.4 Tạo dung dịch phủ màng Resinat nhôm lên bề mặt thủy tinh : 64 6.4.1 Tạo dung dịch phủ màng: 64 6.4.2 phủ màng 65 6.4.3 Giai đoạn nung mẫu : 66 CHƯƠNG 7: KẾT QUẢ VÀ ĐÁNH GIÁ KẾT QUẢ 67 7.1 Khảo sát trình khuếch tán hạt oxid nhôm vào thủy tinh: 67 7.2 Khảo sát độ cứng tế vi bề mặt thủy tinh sau phủ màng: 69 7.3 Chụp mẫu màng X – ray : 71 7.4 Chụp X-ray tán xạ góc nhỏ : 72 7.5 Quan sát hạt oxid nhôm thông qua ảnh TEM ảnh SEM 76 7.6 Quang phổ hấp thụ: 79 7.7 Đo độ trầy xước màng: 80 7.8 Kết luận: 85 CHƯƠNG I : TỔNG QUAN Mục tiêu đề luận văn : Nghiên cứu áp dụng trình sol-gel từ resinat Nhôm để tạo lớp màng mỏng Al2O3 mặt thủy tinh nhằm cải thiện độ cứng cho bề mặt thủy tinh Trên sở mục tiêu, phần đầu luận văn trình bày tồn sở lý thuyết việc tạo màng đế thủy tinh gồm: - Cơ sở lý thuyết thủy tinh (Vật liệu để phủ lớp màng lên) - Giới thiệu chung phương pháp tạo màng mỏng Sau luận văn sâu vào trình chế tạo lớp màng phủ : Đó q trình Sol – Gel phương pháp phủ Luận văn đưa phương pháp nghiên cứu cuối tiến hành thí nghiệm, đánh giá kết 1.1 Khái niệm sở lý thuyết đế thủy tinh : 1.1.1 Khái niệm định nghĩa thủy tinh : “Thủy tinh chất vơ nóng chảy bị làm q lạnh trạng thái rắn mà không kết tinh” [29]: Trạng thái lạnh trạng thái hệ chất vô nóng chảy nhiệt độ thấp nhiệt độ kết tinh (Tkt) Hệ nhanh chóng trở lại trạng thái cân bằng, bền vững nhiệt động, nghĩa kết tinh nhiệt độ Tkt Cũng nhiệt độ hệ tiếp tục giảm, hệ trạng thái đóng rắn mà khơng kết tinh Ta nói hệ trạng thái thủy tinh Thủy tinh trạng thái rắn không bền nhiệt động, nghĩa thủy tinh có xu chuyển từ trạng thái thủy tinh sang trạng thái tinh thể 1.1.2 Cấu trúc thủy tinh: 0.49 910 0.008552 6.81344 0.00007314 0.50 746 0.008727 6.61473 0.00007615 0.51 675 0.008901 6.51471 0.00007923 0.52 570 0.009076 6.34564 0.00008237 0.53 550 0.009250 6.30992 0.00008557 0.54 600 0.009425 6.39693 0.00008883 0.55 620 0.009599 6.42972 0.00009215 0.56 640 0.009774 6.46147 0.00009553 0.57 658 0.009948 6.48920 0.00009897 0.58 625 0.010123 6.43775 0.00010247 0.59 590 0.010297 6.38012 0.00010604 0.60 525 0.010472 6.26340 0.00010966 0.61 475 0.010647 6.16331 0.00011335 0.62 420 0.010821 6.04025 0.00011709 0.63 350 0.010996 5.85793 0.00012090 0.64 330 0.011170 5.79909 0.00012477 0.65 300 0.011345 5.70378 0.00012870 0.66 220 0.011519 5.39363 0.00013269 0.67 155 0.011694 5.04343 0.00013674 0.68 100 0.011868 4.60517 0.00014086 0.69 50 0.012043 3.91202 0.00014503 0.70 40 0.012217 3.68888 0.00014926 Để xác kích thước hạt, ta tiến hành vẽ đồ thị trục tung ln(I) trục hoành ε2 74 Sau Hình 7.6.: Đồ thị tính kích thước hạt nano Từ đồ thị trên,ta nhận thấy đường biểu diễn khơng tuyến tính lý hạt có kích thước khác Từ đường cong gấp khúc khác đồ thị, ta có nhiều nhóm hạt kích thước gần Do đó, ta chọn tiêu biểu nhóm hạt đồ thị để xác định kích thước Dựng đường thẳng phương pháp tuyến tính - Đường thứ qua hai điểm: A1B1 có độ dốc tgγ1 A1(0.00007923; 6.51471), B1(0.00005879;7.64969) | tg1|= Ro = (7.64969  6.51471)   55.5274 ,397 → tg1 = 55.527,397 (0.00005879  0.00007923)   0.15406   4    55527,397 = 10,00747 nm  R1 = Ro / 0.77 = 10,00747 / 0.77 = 13.00388 nm 75 - Đường thứ qua hai điểm: A2B2 có độ dốc tgγ2 A2(0.00012870; 5.70378), B2(0.00013674;5.04343) A3B3 có độ dốc tgγ3 - Đường thứ qua hai điểm: A3(0.00012090; 5.85793), B3(0.00010247;6.43775) - Đường thứ qua hai điểm: A4B4 có độ dốc tgγ4 A4(0.00008557; 6.30992), B4(0.00009897; 6.48920) Tính Excel ta có bảng: Điểm Điểm x tgθ Ro Rn x y Đường 0.00007923 6.51471 5.879E-05 7.64979 55532.29 10.01298734 13.00388 Đường 0.0001287 5.70378 0.0001367 5.04343 82133.085 12.17727023 15.81464 Đường 0.0001209 5.85793 0.0001025 6.43775 31460.662 7.536588535 9.787777 Đường 0.00008557 6.30992 6.48920 13379.104 4.914783592 6.382836 0.00009897 y Như có kích cỡ hạt R1= 13,00388nm; R2= 15,81464nm ; R3= 9,787777 nm; R4= 6,382836 nm Nhận xét: phương pháp chụp tán xạ góc nhỏ vả áp dụng cơng thức tính tốn, ta tính kích thước số nhóm hạt Al2O3 tiêu biểu mẫu, ta kích thước nanomet: nhóm có R113 nm, nhóm có R215.8 nm, nhóm có R3 9.7 nm nhóm có R4 6.3 nm Từ điều ta chứng tỏ khả việc dùng phương pháp sol-gel với tiền chất resinat Al tạo hạt có kích thước nanomet 7.5 Quan sát hạt oxid nhơm thơng qua ảnh TEM ảnh SEM Hình 7.7: Ảnh kính hiển vi điện tử đâm xuyên TEM 76 77 Hình 7.8: Ảnh kính hiển vi điện tử đâm xun TEM 78 Nhận xét: Qua ảnh TEM chụp nhiều góc độ khác nhau, ta thấy hạt Al2O3 bị thấm vào thủy tinh, hạt có kích thước khơng đồng gồm nhiều nhóm hạt phân tán từ vài chục nanomet, so với kết tính tốn phổ tán xạ góc nhỏ ta thấy số phù hợp với kích thước hạt chụp qua ảnh TEM - Quan sát bề mặt thủy tinh sau phủ SEM: Hình 7.9: Ảnh kính hiển vi điện tử quét bề mặt SEM Quan sát SEM ta thấy có hạt với kích thước khác Tuy không nhiều song nhận chúng Vì màng phủ có Resinat nhơm chất hữu cơ, nên ta kết luận hạt oxid nhơm cịn tồn bề mặt thủy tinh Kết hợp với ảnh TEM ta khẳng định chắn tồn hạt oxid nhơm với kích thước nanomet 7.6 Quang phổ hấp thụ: 79 a/ Mẫu chưa phủ màng b/ Mẫu phủ màng Nhận xét: So sánh hai đồ thị mẫu chưa phủ phủ ta nhận thấy mẫu màng cho ánh sáng truyền qua không bị hấp thụ, độ truyền qua mẫu phủ gần tương đương với mẫu thủy tinh chưa phủ Cùng với việc so với kết mẫu màng phân tích phần tổng quan đề cập ta kết luận màng phủ Al2O3 cho ánh sáng truyền qua dãy rộng λ= 300-800 nm nung nhiệt độ 630oC 7.7 Đo độ trầy xước màng: Để kiểm tra, khẳng định lại lần độ cứng màng ta sử dụng phương pháp so sánh Phương pháp sử dụng đề tài phương pháp mài Mô tả thực nghiệm: Đầu tiên, ta chọn hai mẫu thủy tinh, mẫu (mẫu không phủ màng nhôm) mẫu 1(mẫu phủ màng nhôm) Hai mẫu trước tiên lau sạch, diện tích bề mặt mẫu cân khối lương mẫu thật xác Bảng số liệu có sau đo mẫu Bảng 7.6: Số liệu mẫu đem thử độ trầy xước TB a (cm) Mẫu 3.1750 TB b(cm) 3.0030 S(cm2) 9.5345 m(g) 9.8471 80 Mẫu 3.0700 3.0600 9.3942 9.5893 TB a, TB b : độ dài trung bình cạnh mẫu đo (cm) S: diện tích bề mặt mẫu (cm2) m: khối lượng mẫu (g) Sau cân đo mẫu kỹ càng, ta cho hai bề mặt mẫu phủ màng nhôm chưa phủ tiếp xúc nhau, sau ta mài lên đồng thời bấm thời gian Cứ sau hai phút, ta ngưng mài lấy hai mẫu lâu thật đem cân lại, ghi lại khối lượng hai mẫu Tiếp tục lập lại q trình nhiều lần ta có kết sau Bảng 7.7 số liệu tính tốn độ trầy xước: 81 Mẫu Mẫu ∆m1 ∆m2 m1 x10-5 m2 x10-5 (g) (g) (g) (g) (g/cm2) (g/cm2 ) 9,8471 9,5893 - - - - 9,8469 9,5887 0,0002 0,0006 2,0976 6,3869 9,8468 9,5884 0,0001 0,0003 1,0488 3,1935 9,8466 9,5877 0,0002 0,0007 2,0976 7,4514 9,8464 9,5874 0,0002 0,0003 2,0976 3,1935 10 9,8462 9,5874 0,0002 0,0000 2,0976 0,0000 12 9,8460 9,5874 0,0002 0,0000 2,0976 0,0000 14 9,8460 9,5872 0,0000 0,0002 0,0000 2,1290 16 9,8459 9,5868 0,0001 0,0004 1,0488 4,2580 18 9,8458 9,5864 0,0001 0,0004 1,0488 4,2580 20 9,8458 9,5863 0,0000 0,0001 0,0000 1,0645 22 9,8458 9,5861 0,0000 0,0002 0,0000 2,1290 24 9,8457 9,5858 0,0001 0,0003 1,0488 3,1935 26 9,8457 9,5855 0,0000 0,0003 0,0000 3,1935 0,0014 0,0038 14,6832 40,4508 Thời gian (phút)  ∆m1 , ∆m2 : độ giảm khối lượng sau thời gian mài (g) m1 , m2 : độ giảm khối lượng đơn vị diện tích (g/cm2) Tuy nhiên, để xác hơn, ta đưa hai mẫu đơn vị diện tích bề mặt, từ ta nhận thấy dễ dàng so sánh độ hao hụt khối lượng hai mẫu diện tích bề mặt Bảng 7.9: Mức giảm khối lượng theo thời gian theo đơn vị diện tích 82 Thời gian m1 (g/cm2) m0 (g/cm2) (phút) 10 12 14 16 18 20 22 24 26 0 0.00021 0.000639 0.000315 0.000958 0.000524 0.001703 0.000734 0.002023 0.000944 0.002023 0.001154 0.002023 0.001154 0.002235 0.001259 0.002661 0.001363 0.003087 0.001363 0.003193 0.001363 0.003406 0.001468 0.003726 0.001468 0.004045 Từ bảng ta có đị thị sau: 83 0.0045 Độ ăn mòn (g) 0.004 0.0035 0.003 Mẫu Series1 0.0025 Series2 Linear (Series2) 0.002 Linear (Series1) 0.0015 Mẫu 0.001 0.0005 0 10 12 14 16 18 20 22 24 Thời gian (h) Hình 7.12 Độ giảm khối lượng theo thời gian mẫu thử Nhận xét: Từ đồ thị trên, ta nhận thấy độ giảm khối lượng theo thời gian hai mẫu chênh lệch rõ ràng Đối với mẫu 1(Series 1) (mẫu có phủ màng Al2O3 ) có độ giảm khối lượng sau 26 phút mài so với mẫu (Series 2) (mẫu không phủ màng) Theo số liệu quy theo diện tích bề mặt, sau 26 phút mẫu có tổng khối lượng hao hụt xấp xỉ 0.00147g khoảng 2.75 lần so với tổng khối lượng hao hụt mẫu 0.00404g Vậy, qua kết thể số liệu đồ thị trên, ta đánh giá bề mặt thủy tinh có phủ màng Al2O3 phương pháp sol-gel từ resinat Al có độ chống trầy cao bề mặt thủy tinh thông thường 84 7.8 Kết luận: Trong luận văn này, màng Al2O3 thủy tinh tạo phương pháp Sol-gel từ resinat Al Các tính chất màng Al2O3 thủy tinh định qua phương pháp phân tích đánh giá sau: Tạo hạt nano: Phương pháp Sol-gel từ resinat nhôm tạo màng Al2O3 thủy tinh kỹ thuật phủ quay sau nung nhiệt độ 630oC tạo hạt có kích thước nano, kích thước hạt xác định phân tích sau: - Ảnh TEM: qua vài ảnh chụp góc độ khác nhau, ta thấy hạt phân tán thủy tinh có kích thước thay đổi khoảng từ – 21 nm - Ảnh SEM: Cho ta kết khẳng định tồn hạt Al2O3 bề mặt thủy tinh - Phổ tán xạ góc nhỏ: số liệu sau chụp phổ ta tính kích thước hạt vài nhóm hạt tiêu biểu với kết sau R1  13,0 nm, R2 15.8nm, R3  9,7 nm R4  6,3 nm - Từ hai phương pháp phân tích ảnh TEM,SEM phổ tán xạ góc nhị, kết có phù hợp nhau, điều ta khẳng định khả tạo hạt kích thước nano từ phương pháp Sol-gel từ Resinat Al 2.Màng Al2O3 suốt : Với đồ thị quang phổ hấp thu hai mẫu thủy tinh mẫu thủy tinh phủ màng Al2O3 Sau so sánh, ta kết luận màng Al2O3 cho ánh sáng có dãy bước sóng  = 300 – 800nm truyền qua 85 3.Màng Al2O3 làm tăng độ cứng bề mặt thủy tinh: Bằng phương pháp đo độ cứng tế vi cho ta thấy rõ số cụ thể độ cứng tế vi bề mặt thủy tinh sau phủ màng Độ cứng tăng chí đến tận 100 HV theo chuẩn Vickers so với mẫu không phủ Để kiểm chứng lại lần ta dùng phương pháp so sánh: phương pháp mài hai bề mặt mẫu phủ mẫu không phủ màng với nhau, với số liệu đồ thị có cho ta thấy rõ khả chống mài xước mẫu thủy tinh phủ màng Al2O3 gia tăng rõ rệt so với mẫu không phủ Trên sở có tăng lên khoảng 10 – 19% độ cứng bề mặt mà đảm bảo độ suốt, bước đầu ứng dụng lĩnh vực kính xây dựng Sau phủ lớp oxit nhơm kính có độ cứng tăng lên mà ta đặt tên chúng kính chống chày xước Nó ứng dụng cho kính cửa vào hay nơi có nhiều va quệt 86 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Đỗ Quang Minh (2000) Kỹ thuật sản xuất vật liệu gốm sứ ĐHBK TPHCM [2] A.R.Phani, S.Stantucci (2006) Evaluation of structural and mechanical properties of aluminum oxit thin films deposited by a sol-gel process: Comparison og microwave to conventional anneal Journal of NonCrystalline Solids, 352,4093-4100 [3] Y.Kobayashi, T.Ishizaka, Y.Kurokawa (2005).Preparation of alumina films by the sol-gel method Journal of materials science, 40,263-283 [4] GS.TS Đỗ Tất Lợi (1985) Tinh dầu Việt nam Nàh xuất Y học [5] Trịnh Vân Anh Luân văn tốt nghiệp 2005 [6] Nguyễn Ngọc Việt luận văn thạc sĩ 2006 [7] Đỗ Quang Minh (2005) Hóa học chất rắn NXB ĐH quốc gia TP HCM [8] GS Phan Trường Thị Đá quý Nhà xuất trẻ [9] Tạp chí cơng nghiệp hóa chất số năm 2002 [10] http://vnexpress.net/Khoa-hoc/2002/02/3B9B9482/ [11]http://en.wikipedia.org/wiki/aluminium_oxit [12] Nguyễn Bá Tài Cơ sở khoa học vật liệu [13] IU.V.Kariakin, I.I.Angelov (1990) Hóa chất tinh khiết nhà xuất khoa học kỹ thuật [14] http://www.chemat.com/html/solgel.html [15]www.chemgeo.uni-hd.de/AC/huttner/heinze/katja/seminar/aerogele.pdf [16] http://vi.wikipedia.org/wiki/Ancoxit [17] www.chemgeo.uni-hd.de/AC/huttner/heinze/katja/seminar/aerogele.pdf [19] http://www.psrc.usm.edu/mauritz/solgel.html 87 [20] www.unimuenster.de/imperia/md/content/physikalische_chemie/praktikum/skript_sc_ neu.pdf [21] IWT Stiftung Institut für Werkstofftechnik Web.: http://www.iwt-bremen.de/wt/wb/solgel/verfahren.php [22]www.chemgeo.uni-hd.de/AC/huttner/heinze/katja/seminar/aerogele.pdf [23] http://vi.wikipedia.org/wiki/Ancoxit [24]http://dictionary.bachkhoatoanthu.gov.vn/default.aspx?param=14F2aWQ 9Mjk2NzkmZ3JvdXBpZD0yOSZraW5kPSZrZXl3b3JkPQ=lk,=&page=2 [25] http://www.solgel.com/articles/Nov00/mennig.htm [26] http://de.wikipedia.org/wiki/Chemische_Gasphasenabscheidung [27] Chemische Gasphasenabscheidung - H Kück, 17.12.02- Universität Stuttgart [28] K L Choy: Chemical vapour deposition of coatings In: Progress in Materials Science 48, Nr 2, 2003, S 57-170 Đỗ Quang Minh Đỗ Minh Đạo Trần Kỳ Phương Hạ Lương Hồng Đức Nguyễn Thanh Lộc 88 ... resinat Nhôm để tạo lớp màng mỏng Al2O3 mặt thủy tinh nhằm cải thiện độ cứng cho bề mặt thủy tinh Trên sở mục tiêu, phần đầu luận văn trình bày toàn sở lý thuyết việc tạo màng đế thủy tinh gồm:... mạng vừa không tạo mạng Ở cấu trúc thủy tinh trên, Al+3 đóng vai trị chất tạo mạng 1.1.3 Khả tạo thủy tinh: a/ Khả tạo thủy tinh đơn oxit Các đơn oxit Me2O3, MeO2 Me2O5 tạo thủy tinh Me có số... kết tinh Ta nói hệ trạng thái thủy tinh Thủy tinh trạng thái rắn không bền nhiệt động, nghĩa thủy tinh có xu chuyển từ trạng thái thủy tinh sang trạng thái tinh thể 1.1.2 Cấu trúc thủy tinh: