Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 159 trang
Thông tin tài liệu
... ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN THỊ QUỲNH CHI NGHIÊN CỨU CÁC TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PZT NHẰM CHẾ TẠO CẢM BIẾN ÁP ĐIỆN ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG Y SINH Chuyên ngành: Mãsố: Vật liệu điện. .. Chương 3: Nghiên cứu tính chất màng sol-gel PZT Chương 4: Nghiên cứu ảnh hưởng pha tạp Fe3+ Nb5+ đến tính chất màng PZT Chương 5: Nghiên cứu chế tạo linh kiện piezoMEMS sử dụng màng áp điện PZT Phần... quy trình chế tạo màng áp điện PZT với chất lượng cao phương pháp quay phủ sol-gel o Tích hợp màng PZT vào rung silic nhằm chế tạo linh kiện cảm biến với kích thước micro-mét o Định hướng ứng