Nghiên cứu các tính chất của màng pzt nhằm chế tạo cảm biến áp điện định hướng ứng dụng trong y sinh

159 62 1
Nghiên cứu các tính chất của màng pzt nhằm chế tạo cảm biến áp điện định hướng ứng dụng trong y sinh

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

... ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN THỊ QUỲNH CHI NGHIÊN CỨU CÁC TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PZT NHẰM CHẾ TẠO CẢM BIẾN ÁP ĐIỆN ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG Y SINH Chuyên ngành: Mãsố: Vật liệu điện. .. Chương 3: Nghiên cứu tính chất màng sol-gel PZT Chương 4: Nghiên cứu ảnh hưởng pha tạp Fe3+ Nb5+ đến tính chất màng PZT Chương 5: Nghiên cứu chế tạo linh kiện piezoMEMS sử dụng màng áp điện PZT Phần... quy trình chế tạo màng áp điện PZT với chất lượng cao phương pháp quay phủ sol-gel o Tích hợp màng PZT vào rung silic nhằm chế tạo linh kiện cảm biến với kích thước micro-mét o Định hướng ứng

Ngày đăng: 22/01/2021, 13:16

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • MỞ ĐẦU

  • CHƯƠNG 1

  • CHƯƠNG 2

  • CHƯƠNG 3

  • CHƯƠNG 4

  • KẾT LUẬN

  • CÔNG TRÌNH CÔNG BỐ

  • I LIỆU THAM KHẢO

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan