NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO MÀNG MỎNG OXÍT NIKEN BẰNG KỸ THUẬT PHÚN XẠ TỪ TRƯỜNG SỬ DỤNG NGUỒN XUNG CÔNG SUẤT LỚN

Trong nghiên cứu này, bán dẫn ôxít niken được lắng đọng trên nền ôxít thiếc pha tạp indium bằng phương pháp Phún xạ từ trường trong môi trường chân không, sử dụng nguồ[r]