Bài giảng Đo lường và cảm biến - Chương 4: Cảm biến vị trí và dịch chuyển giúp các bạn nắm vững nội dung về điện thế kế điện trở, điện thế kế dùng con trỏ quang, đo dịch chuyển bằng encoder thẳng, cảm biến điện cảm, cảm biến điện dung, cảm biến điện từ, biến áp vi sai lvdt (linear variable differential transformer), máy đo góc tuyệt đối resolver, cảm biến tiệm cận (proximity sensor), cảm biến laser và siêu âm.
Chương CẢM BIẾN VỊ TRÍ VÀ DỊCH CHUYỂN 4.1 ĐIỆN THẾ KẾ ĐIỆN TRỞ 4.1.1 Cấu tạo Gồm điện trở cố định R, có tiếp xúc điện di chuyển gọi chạy Giá trị điện trở đo chạy đầu điện trở R hàm phụ thuộc vị trí chạy thân điện trở R Nếu điện trở chế tạo đồng R tỉ lệ tuyến tính với vị trí chạy Có hai dạng cảm biến vị trí điện trở: cảm biến điện trở dịch chuyển thẳng hình 4.1a; cảm biến điện trở tròn tròn xoắn hình 4.1b-c Hình 4.1 Điện trở dịch chuyển thẳng: R(l ) = Điện trở dịch chuyển tròn: R(a) = R La am R Đối với điện trở tròn: αM < 360° Đối với điện trở xoắn: αM > 360° Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 42 Hợp kim thường dùng làm điện trở Ni–Cr, Ni–Cu, Ni–G–Fe, Ag–Pd Dây điện trở lõi cách điện dây cách điện emay R nằm khoảng từ 1K – 100KΩ, đạt đến vài MΩ Con chạy phải tiếp xúc tốt, không tạo suất điện động tiếp xúc, điện trở tiếp xúc nhỏ ổn định Các tiêu chuẩn phải đảm bảo điều kiện dao động tốc độ dịch chuyển lớn 4.1.2 Đặc điểm Hình 4.2 Khoảng cách có ích chạy Giá trị R(x)/R thường không ổn định cuối đường chạy trỏ chỗ nối mạch điện hình 4.2 Khoảng cách có ích khoảng mà R(x) hàm tuyến tính dịch chuyển Độ phân giải Các cảm biến dây cho ta phát biến thiên điện trở vòng dây, tương ứng với dịch chuyển hai vòng dây Nếu điện trở tồn phần R0, số vòng dây W, điện R trở nhỏ phát rn = ; rn- ngưỡng nhạy cảm biến W Thời gian sống Thời gian sống điện kế số lần sử dụng điện kế Nguyên nhân gây hư hỏng hạn chế thời gian sống điện kế mài mòn chạy dây điện trở trình làm việc Thường thời gian sống điện kế dạng dây dẫn vào cỡ 106 lần, điện kế dạng băng dẫn vào cỡ 5.107 - 108 lần Một số đặc điểm cảm biến thông dụng Thông số -dải đo -độ phân dải -công suất -hệ số nhiệt độ -tần số -độ bền Bài giảng Đo lường cảm biến Di chuyển thẳng 2mm->8m 50 mm 0.1-50W 20-1000phần / 10 / o C 3Hz Đến 4x10 chu kì dòch chuyển Di chuyển vuông góc 10 O -60 vòng o - o Trang 43 4.1.3 Mạch đo Mạch phân áp Ta có: R3 E = U o R2 + R3 Mạch kiể u cầ u phân áp Ta coù: 4.2 Uo R2 R4 = E R + R1 R + R3 ĐIỆN THẾ KẾ DÙNG CON TRỎ QUANG Để khắc phục nhược điểm điện kế dùng chạy học, người ta sử dụng điện kế liên kết quang từ Hình 4.3 trình bày sơ đồ nguyên lý điện kế dùng trỏ quang Điện kế tròn dùng trỏ quang gồm điot phát quang (1), băng đo (2), băng tiếp xúc (3) băng quang dẫn (4) Băng điện trở đo phân cách với băng tiếp xúc băng quang dẫn mảnh làm CdSe có trỏ quang dịch chuyển trục điện kế quay Điện trở vùng quang dẫn giảm đáng kể vùng chiếu sáng tạo nên liên kết băng đo băng tiếp xúc Hình 4.3 Điện kế quay dùng trỏ quang Thời gian hồi đáp vật liệu quang dẫn cỡ vài chục ms Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 44 4.3 ĐO DỊCH CHUYỂN BẰNG ENCODER THẲNG Các cảm biến đo vị trí dịch chuyển theo phương pháp quang học gồm nguồn phát ánh sáng kết hợp với đầu thu quang (thường tế bào quang điện) Hình 4.4 đo dịch chuyển thước khắc vạch (encoder tăng) cấu tạo gồm: 1- thước khắc vạch, 2- nguồn sáng; 3,4,5,7- thấu kính, 6- chắn ánh sánh; 8- tế bào quang điện Nguyên lý hoat động tương tự giống cảm biến quang phản xạ, thước khắc vạch khắc vạch trắng đen xen nhau, ánh sáng bị hấp thụ gặp vạch đen phản xạ gặp vạch trắng, lần ánh sáng chuyển qua vạch tế bào quang điện nhận xung ánh sáng xung điện tạo ra, đếm số xung ta suy di chuyển: Ta có: Dx=Nd Trong đó: Dx khoảng dịch chuyển, N số xung đếm được; d giá trị mạch chia độ Hình 4.4 Người ta thực 200 vạch/mm 4.4 CẢM BIẾN ĐIỆN CẢM Cảm biến điện cảm nhóm cảm biến làm việc dựa nguyên lý cảm ứng điện từ Vật cần đo vị trí dịch chuyển gắn vào phần tử mạch từ gây nên biến thiên từ thông qua cuộn đo Cảm biến điện cảm chia ra: cảm biến tự cảm hỗ cảm 4.4.1 Cảm biến tự cảm có khe từ biến thiên Cảm biến tự cảm đơn Trên hình trình bày sơ đồ nguyên lý cấu tạo số loại cảm biến tự cảm đơn Hình 4.5 Cảm biến tự cảm Cấu tạo gồm cuộn dây quấn lõi thép cố định (phần tĩnh) lõi thép di động tác động đại lượng đo (phần động), phần tĩnh phần động có khe hở khơng khí tạo nên mạch từ hở Dưới tác động đại lượng đo Xv, phần ứng cảm biến di chuyển, khe hở khơng khí d mạch từ thay đổi, làm cho từ trở mạch từ biến thiên, hệ số tự cảm tổng trở cuộn dây thay đổi theo Khi phần ứng quay, tiết diện khe hở khơng khí thay đổi, làm cho từ trở mạch từ biến thiên, hệ số tự cảm tổng trở cuộn dây thay đổi theo Hệ số tự cảm cuộn dây thay đổi thay đổi tổn hao sinh dòng điện xoáy sắt từ dịch chuyển tác động đại lượng đo Xv Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 45 Nếu bỏ qua điện trở cuộn dây từ trở lõi thép ta có: W Wm s L= = Rd d Trong đó: W- số vòng dây d Rd = - từ trở khe hở khơng khí m0 s d - chiều dài khe hở khơng khí s - tiết diện thực khe hở khơng khí ¶L ¶L Trường hợp W = const ta có: dL = ds + dd ¶s ¶d Với lượng thay đổi hữu hạn ∆d ∆s ta có: W m0 W m s0 DL = Ds Dd d0 (d + Dd )2 Độ nhạy cảm biến tự cảm khe hở khơng khí thay đổi (s=const): DL L0 Sd = =2 Dd é ỉ Dd ứ ÷÷ú d ờ1 + ỗỗ ố d ứỷ nhy cảm biến tự cảm thay đổi tiết diện khơng khí (d = const) : DL L0 Sd = = Ds s Tổng trở cảm biến : wW m s Z = wL = d Ta thấy tổng trở Z cảm biến hàm tuyến tính với tiết diện khe hở khơng khí s phi tuyến với chiều dài khe hở khơng khí δ Hình 4.6 Sự phụ thuộc L, Z với chiều dày khe hở khơng khí δ Đặc tính cảm biến tự cảm đơn Z = f(∆δ) hàm phi tuyến phụ thuộc tần số nguồn kích thích, tần số nguồn kích thích cao độ nhạy cảm biến cao Cảm biến tự cảm kép lắp theo kiểu vi sai Để tăng độ nhạy cảm biến tăng đoạn đặc tính tuyến tính người ta thường dùng cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai (hình 4.7) Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 46 Hình 4.7: Cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai Đặc tính cảm biến tự cảm kép vi sai có dạng hình sau: Hình 4.8: Đặc tính cảm biến tự cảm kép lắp vi sai 4.4.2 Cảm biến tự cảm có lõi từ di động Cảm biến gồm cuộn dây bên có lõi từ di động (hình 4.9) Hình 4.9 Dưới tác động đại lượng đo Xv, lõi từ dịch chuyển làm cho độ dài lf lõi từ nằm cuộn dây thay đổi, kéo theo thay đổi hệ số tự cảm L cuộn dây Sự phụ thuộc L vào lf hàm khơng tuyến tính, nhiên cải thiện cách ghép hai cuộn dây đồng dạng vào hai nhánh kề sát cầu điện trở có chung lõi sắt 4.5 CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG Cảm biến tụ điện đơn Các cảm biến tụ điện đơn tụ điện phẳng hình trụ có cực gắn cố định (bản cực tĩnh) cực di chuyển (bản cực động) liên kết với vật cần đo Khi cực động di chuyển kéo theo thay đổi điện dung tụ điện 4.5.1 Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 47 Đối với cảm biến hình 4.10a tác động đại lượng đo Xv, cực động di chuyển, khoảng cực thay đổi, kéo theo điện dung tụ điện biến thiên ee s C= d ε - số điện môi môi trường ε0 - số điện môi chân không s - diện tích nằm hai điện cực δ - khoảng cách hai cực Hình 4.10:Cảm biến tụ điện đơn Đối với cảm biến hình 4.10b: tác động đại lượng đo Xv, cực động di chuyển quay, diện tích cực thay đổi, kéo theo thay đổi điện dung tụ điện a - góc ứng với phần hai cực đối diện Xét trường hợp tụ điện phẳng, ta có: Đưa dạng sai phân ta có: Khi khoảng cách hai cực thay đổi (e = const s=const), độ nhạy cảm biến: Khi diện tích cực thay đổi ( e = const d = const), độ nhạy cảm biến: Khi số điện môi thay đổi ( s = const d = const), độ nhạy cảm biến: Nếu xét đến dung kháng: Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 48 Đưa dạng sai phân: Tương tự ta có độ nhạy cảm biến theo dung kháng: Từ biểu thức rút ra: § § § 4.5.2 Biến thiên điện dung cảm biến tụ điện hàm tuyến tính diện tích cực số điện môi thay đổi phi tuyến khoảng cách hai cực thay đổi Biến thiên dung kháng cảm biến tụ điện hàm tuyến tính khoảng cách hai cực thay đổi phi tuyến diện tích cực số điện mơi thay đổi Ngồi hai cực có điện áp đặt vào phát sinh lực hút, lực cần phải nhỏ đại lượng đo Cảm biến tụ kép vi sai Hình 4.11 Cảm biến tụ kép vi sai Tụ kép vi sai có khoảng cách cực biến thiên dịch chuyển thẳng (hình a) có diện tích cực biến thiên dịch chuyển quay (hình b) dịch chuyển thẳng (hình c) gồm ba cực Bản cực động A1 dịch chuyển hai cực cố định A2 A3 tạo thành với hai cực hai tụ điện có điện dung C21 C31 biến thiên ngược chiều Độ nhạy độ tuyến tính tụ kép vi sai cao tụ đơn lực tương hỗ cực triệt tiêu lẫn ngược chiều Mạch đo Thông thường mạch đo dùng với cảm biến điện dung mạch cầu không cân cung cấp dòng xoay chiều Mạch đo cần thoả mãn yêu cầu sau: § Tổng trở đầu vào tức tổng trở đường chéo cầu phải thật lớn § Các dây dẫn phải bọc kim loại để tránh ảnh hưởng điện trường § Không mắc điện trở song song với cảm biến § Chống ẩm tốt Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 49 Hình 4.12 Hình 4.12a sơ đồ mạch cầu dùng cho cảm biến tụ kép vi sai với hai điện trở Cung cấp cho mạch cầu máy phát tần số cao Hình 4.12b sơ đồ mạch mặch cầu biến áp với hai nhánh tụ điện 4.6 CẢM BIẾN ĐIỆN TỪ Khi đo vận tốc dài, với độ dịch chuyển lớn vật khảo sát (> 1m) thường chuyển thành đo vận tốc góc Trường hợp đo vận tốc dịch chuyển thẳng nhỏ dùng cảm biến vận tốc dài gồm hai phần tử bản: nam châm cuộn dây Khi đo, phần tử giữ cố định, phần tử thứ hai liên kết với vật chuyển động Chuyển động tương đối cuộn dây nam châm làm xuất cuộn dây suất điện động tỉ lệ với vận tốc cần đo Sơ đồ cảm biến có cuộn dây di động biểu diễn hình 4.13 Suất điện động xuất cuộn dây có dạng: N - số vòng dây r - bán kính vòng dây B - giá trị cảm ứng từ v - tốc độ dịch chuyển vòng dây l - tổng chiều dài dây Tốc độ kế loại đo độ dịch chuyển vài mm với độ nhạy ~ 1V/m.s Khi độ dịch chuyển lớn (tới 0,5 m) người ta dùng tốc độ kế có nam châm di động (hình 4.14) Cảm biến gồm nam châm di chuyển dọc trục hai cuộn dây quấn ngược chiều mắc nối tiếp Khi nam châm di chuyển, suất điện động xuất cuộn dây tỉ lệ với tốc độ nam châm ngược chiều Hai cuộn dây mắc nối tiếp quấn ngược chiều nên nhận suất điện động đầu khác không Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 50 Tốc độ kế từ dùng phương pháp đếm xung hình 4.15 Cấu tạo cảm biến từ trở biến thiên gồm cuộn dây có lõi sắt từ chịu tác động nam châm vĩnh cửu đặt đối diện với đĩa quay làm vật liệu sắt từ có khía Khi đĩa quay, từ trở mạch từ biến thiên cách tuần hồn làm cho từ thơng qua cuộn dây biên thiên, cuộn dây xuất suất điện động cảm ứng có tần số tỉ lệ với tốc độ quay Tần số suất điện động cuộn dây xác định biểu thức: f = pn p - số lượng đĩa n - số vòng quay đĩa giây Biên độ E suất điện động cuộn dây phụ thuộc hai yếu tố: - Khoảng cách cuộn dây đĩa quay: khoảng cách lớn E nhỏ - Tốc độ quay: Tốc độ quay lớn, E lớn Khi tốc độ quay nhỏ, biên độ E bé khó phát hiện, tồn vùng tốc độ quay đo được, người ta gọi vùng vùng chết Dải đo cảm biến phụ thuộc vào số đĩa Khi p lớn, tốc độ nmin đo có giá trị bé Khi p nhỏ, tốc độ nmax đo lớn Thí dụ với p = 60 răng, dải tốc độ đo n = 50 - 500 vòng/phút, với p =15 dải tốc độ đo 500 - 10.000 vòng/phút Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 51 4.7 BIẾN ÁP VI SAI LVDT (linear variable differential transformer) Biến áp vi sai gồm cuộn sơ cấp hai cuộn thứ cấp quấn lõi hình trụ, lõi có nòng ferrite di chuyển tự Cuộn sơ cấp cung cấp áp kích thích xoay chiều, hai cuộn thứ cấp đấu nối tiếp ngược chiều cung cấp điện áp ra, biên độ pha tùy thuộc khoảng di chuyển nòng Hình 4.16 Điện áp xoay chiều vo có biên độ tỷ lệ với khoảng dịch chuyển x góc pha phụ thuộc hướng lệch so với vị trí cân Thơng số cảm biến: Mã hiệu: D5M-10 Tầm đo: 10mm Hình 4.17 Tầm di chuyển cơ: khoảng 12mm Vận tốc tối đa cho phép: 0,3m/s Tầm chỉnh offset: ± 0,05mm Lực tác động lực tối đa: 600 gf (8,34oz-inch) Tín hiệu ra: 4¸20mA (tổng trở tải tối đa: 300W max.) Độ lặp lại tối thiểu: 10mm Độ tuyến tính tối đa: ± 0,5%FS Hình 4.18: Cảm biến LVDT 5M khuếch đại Trong khoảng hoạt động tuyến tính viết: vo = kvi = axvi với: a - hệ số tỷ lệ; x - độ dịch chuyển so với vị trí cân Điện áp xoay chiều cấp cho cuộn sơ cấp khoảng ¸ 15V, tần số 50Hz¸20kHz Điện áp vo đổi thành tín hiệu chiều nhờ nhân lọc thấp qua Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 52 Hình 4.19 Ta có: v1 = k1 vovi = kk1 vi2 với: vi = Vsinwt v1 = kk1 v2 sin wt = kk1 V - cos wt Sau lọc thấp qua ta điện áp chiều Vdc tỷ lệ với độ dịch chuyển Biến áp vi sai thường dùng để đổi dịch chuyển điện áp độ phi tuyến 0,2% tầm, không bị ảnh hưởng nhiệt độ, điện áp lớn, tầm đo rộng ( ± 70 cm) Khuyết điểm trọng khối nòng ảnh hưởng đến độ xác đo 4.8 MÁY ĐO GĨC TUYỆT ĐỐI RESOLVER Máy đo góc tuyệt đối gồm hai phần: phần động gắn liền với trục quay chứa cuộn sơ cấp kích thích sóng mang có tần số - 10 kHz qua máy biến áp quay (hình 4.20) Phần tĩnh có hai dây quấn thứ cấp (cuộn sin cuộn cos) đặt lệch 900 Khi trục quay, đầu hai dây quấn thứ cấp ta thu hai tín hiệu điều biên UU0sinωtsinθ UU0sinωtcosθ Đường bao biên độ kênh tín hiệu chứa thơng tin vị trí tuyệt đối (góc θ) roto máy đo tức vị trí tuyệt đối trục quay Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 53 Có hai cách xử lý thơng tin thu Cách thứ hiệu chỉnh sửa sai góc thu sở so sánh góc với số vi mạch sẵn có Các vi mạch cho tín hiệu góc dạng số với độ phân giải 10 - 16 bit/1vòng tốc độ quay dạng tương tự Độ phân giải phương pháp phụ thuộc vào thông số mạch điều chỉnh Cách thứ hai, có chất lượng cao hơn, dùng hai chuyển đổi tương tự - số để lấy mẫu trực tiếp từ đỉnh tín hiệu điều chế Trong trường hợp cần đồng chặt chẽ thời điểm lấy mẫu khâu tạo tín hiệu kích thích 2-10kHz sau dùng lọc để chuyển xung hình chữ nhật thành tín hiệu kích thích hình sin Độ phân giải phép đo dùng máy đo góc tuyệt đối hồn tồn phụ thuộc vào độ phân giải chuyển đổi tương tự số Khi biết góc quay tuyệt đối θ, lấy đạo hàm ta nhận tốc độ góc ω cần đo 4.9 CẢM BIẾN TIỆM CẬN (proximity sensor) Cảm biến tiệm cận hay gọi cảm biến gần dùng để phát giác không tiếp xúc diện vật, thường dùng để thay contact hành trình khí Có hai loại cảm biến tiệm cận: tiệm cận điện cảm tiệm cận điện dung Cảm biến gần điện cảm (CBGĐC) dùng cho kim loại có sắt hay khơng sắt (nhôm, đồng, thép không rỉ, thiếc, kẽm ) Nguyên lý hoạt động thay đổi điện cảm cuộn dây mạch dao động LC đặt cuộn dây gần vật kim loại Sự thay đổi tần số phát mạch so sánh tần số làm đóng mở transistor loại NPN hay PNP Khoảng cách cảm nhận phụ thuộc vật liệu kích thước vật, từ 2mm đến 20mm Hình 4.21 Nguyên lý hoạt động cảm biến gần Cảm biến gần điện dung (CBGĐD) dùng cho vật kim loại không kim loại thủy tinh, giấy, gỗ, nước, dầu…Tần số thay đổi vật lại gần làm thay đổi điện dung mạch dao động Cảm biến gần điện dung có kích thước lớn cảm biến gần điện cảm Khoảng cách cảm nhận từ 3mm đến 25mm Hình 4.22: Hình dạng CBGĐCE2E-X CBGĐD E2K-C25M CBG có loại hai dây ba dây, thường hở thường đóng, nguồn cung cấp 24VDC 220VAC Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 54 Hình 4.23: Sơ đồ nối dây CBG Hình 4.24: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước vật liệu vật CBGĐC Hình 4.25: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước vật liệu vật CBGĐD Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 55 Ngoài cảm biến gần On/Off có loại cảm biến gần cho dòng hay áp tỷ lệ với khoảng cách vật cảm biến dựa nguyên tắc cảm ứng Hãng Keyence có loại khuếch đại EX-510 dùng với cảm biến EX-022 cho tín hiệu điện áp hay dòng tỷ lệ khoảng cách từ vật đến cảm biến, khoảng cách tối đa 10mm, điện áp 5V, dòng 20mA, độ tuyến tính 0.3%FS, độ phân giải 0.03%FS Nguyên lý hoạt động dựa tính thay đổi biên độ, tần số pha dao động có vật di chuyển gần cảm biến, từ suy khoảng cách tuyến tính hóa để đạt độ xác cao Loại E2C OMRON có đặc tính tương tự Các loại cảm biến dùng cho vật kim loại 4.10 CẢM BIẾN LASER VÀ SIÊU ÂM Cảm biến laser dùng để đo độ dịch chuyển phạm vi vài cm khoảng cách từ vật đến cảm biến tương đối lớn 4cm đến 10cm Tia laser (hồng ngoại hay nhìn thấy) chiếu lên vật phản xạ lại, sau qua hệ thống thấu kính tác dụng lên cảm biến vị trí (PSD Position Sensor Detector); sử dụng phép tính tam giác dựa vị trí tia phản xạ tác dụng lên PSD, vi xử lý tính khoảng cách từ vật đến cảm biến xuất dòng hay áp tỷ lệ Độ phân giải đạt đến 1.5mm Sai số đo tùy thuộc hướng mặt phản xạ tia Hình 4.26: Cảm biến đo dịch chuyển không tiếp xúc Cảm biến siêu âm đo khoảng cách dựa thời gian T từ phát chùm siêu âm đến nhận chùm sóng phản xạ, T = 2d , d: khoảng cách, v: vận tốc âm v Độ xác phương pháp không cao, độ phân giải khoảng 0.2mm với khoảng cách 30mm 50mm (cảm biến EZ4D OMRON) 4.11 ĐỔI HƯỚNG KẾ Đổi hướng kế gắn vào vật chuyển động để đo tốc độ góc vật Hai dạng đổi hướng kế thường dùng là: đổi hướng kế học dùng quay hồi chuyển, đổi hướng kế quang dùng laze cáp quang dựa tượng truyền sóng ánh sáng 4.11.1 Đổi hướng kế dùng quay hồi chuyển Con quay hồi chuyển gồm roto lắp khung động quay quanh trục Y’Y với tốc độ lớn (~104vòng/phút) nhờ động Bài giảng Đo lường cảm biến Trang 56 Tốc độ quay ω cần đo theo trục Z’Z vng góc với trục Y’Y làm xuất ngẫu lực Cg tỉ lệ với ω theo hướng X’X vng góc với hai trục Y’Y Z’Z có xu hướng làm cho khung động quay hồi chuyển quay theo Ngẫu lực Cg cân ngẫu lực đàn hồi Cr hai lò xo gây nên có giá trị tỉ lệ với góc quay α khung trạng thái cân bằng: Cg = Cr với Cr = kα (k hệ số đàn hồi lò xo) Cg = ωH ( H mômen động học rôto) Thay giá trị vào công thức (7.4) ta có cơng thức xác định góc α: Góc quay α khung động quay hồi chuyển tỉ lệ với vận tốc góc ω cần đo Để tiện cho xử lý, góc quay α chuyển đổi thành tín hiệu điện nhờ điện kế Các thông số máy đo sau: § Dải đo từ ± 7o/s đến ± 360o/s § Sai lệch khỏi độ tuyến tính