Phát triển cảm biến siêu âm điện dung polyme làm giảm tần số cộng hưởng tự nhiên

Mục đích của nghiên cứu này là làm giảm chiều cao của thành và độ dày của màng rung để giảm tần số cộng hưởng tự nhiên của cảm biến siêu âm điện dung. Do tần số cộng hưởng tự nhiên giảm, khoảng cách truyền sóng sẽ được cải thiện, làm giảm tiêu hao năng lượng và tăng hiệu suất truyền sóng.

PHÁT TRIỂN CẢM BIẾN SIÊU ÂM ĐIỆN DUNG POLYME LÀM GIẢM TẦN SỐ CỘNG HƯỞNG TỰ NHIÊN Bùi Gia Thịnh Khoa Điện Cơ Email:thinhbg@dhhp.edu.vn Ngày nhận bài: 07/10/2019 Ngày PB đánh giá: 25/10/2019 Ngày duyệt đăng: 28/10/2019 TÓM TẮT: Mục đích nghiên cứu làm giảm chiều cao thành độ dày màng rung để giảm tần số cộng hưởng tự nhiên cảm biến siêu âm điện dung Do tần số cộng hưởng tự nhiên giảm, khoảng cách truyền sóng cải thiện, làm giảm tiêu hao lượng tăng hiệu suất truyền sóng Cảm biến thiết kế theo kiểu mảng 4x2, cảm biến thành phần có 16 màng dao động với chiều cao thành bên 1µm, màng dao động có đường kính độ dày 600µm 3µm Với thiết kế dạng mảng vậy, cảm biến tạo thành cảm biến bốn góc phần tư sử dụng để phát vị trí ba chiều Trong tương lai, cảm biến tiếp tục nghiên cứu sâu để ứng dụng hệ thống phát 3D Từ khóa: cảm biến siêu âm điện dung, tần số cộng hưởng tự nhiên, phát 3D DEVELOPMENT OF REDUCING NATURAL RESONANT FREQUENCY OF POLYMER BASED CAPACITIVE ULTRASONIC TRANSDUCER ABSTRACT: The purpose of this study is to reduce the height of the side wall and the thickness of the vibrating membrane to reduce the natural resonant frequency of the capacitive ultrasonic sensor As the natural resonance frequency decreases, the transmission distance will be improved, reducing energy consumption and increasing transmission efficiency The sensor is designed in a 4x2 array, each component has 16 membranes with a side wall height of µm, membrane with a diameter and thickness of 600µm and 3µm With such an array design, the sensor can form a quadrant sensor and is used to detect three-dimensional position In the future, the sensor will continue to further research to be applied in 3D detection system Keywords: capacitive ultrasonic transducer, natural resonant frequency, threedimensional position detection GIỚI THIỆU Sóng siêu âm sử dụng rộng rãi ứng dụng đại ngày sóng siêu âm có đặc tính vượt trội sóng 136 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHỊNG ánh sáng sóng điện từ chất rắn chất lỏng Nếu mật độ cao độ dẫn cao nên thường sử dụng phát nước, kiểm tra không phá hủy chất rắn thường sử dụng ứng dụng y tế Nguyên lý truyền sóng thay đổi điện trường hai điện cực làm cho màng phim rung biến dạng, sau sử dụng tốc độ dao động cao để tạo sóng siêu âm Ngược lại, nhận sóng siêu âm làm màng phim rung bắt đầu dao động, tạo thay đổi điện dung hai điện cực tín hiệu thay đổi thơng qua mạch thích hợp để phân tích sóng siêu âm So với cảm biến áp điện, cảm biến siêu âm điện dung có độ nhạy, tỷ lệ nhận tín hiệu dải rộng tần số cao, đặc biệt không gây trùng trở kháng phận truyền dẫn khác Những năm 1990, nhóm Khuri-Yakub Đại học Stanford Hoa Kỳ [1] lần phát triển đầu dò siêu âm điện dung dựa công nghệ MEMS (Micro Electro Mechanical System), chứng minh cảm biến siêu âm điện dung đo trở kháng tương tự nước khơng khí cách không tiếp xúc Năm 1996, Haller cộng [2] lần sản xuất đầu dò siêu âm điện dung có hiệu suất tần số cao sử dụng quy trình cơng nghệ lớp đệm Năm 2006, Chang [3] lần chế tạo thành công tế bào đầu dò siêu âm sử dụng vật liệu polyme Năm 2007, nhóm Chen [4] đề xuất giải pháp cải thiện ứng suất dư màng dao động thay đổi thiết kế màng dao động để làm tăng độ nhạy Năm 2008, Shu cộng [5] sử dụng kỹ thuật chuyển wafer mạ vi mơ để tạo đường kính màng độ dày màng cách lắng đọng hóa học áp suất thấp để oxy hóa độ dày Năm 2014, Nhóm nghiên cứu Y.Kuang làm tăng hiệu suất cao cảm biến đạt theo dõi thời gian thực [6] Bằng cách thay đổi tần số cộng hưởng biến đổi trở kháng điện, cảm biến siêu âm cơng suất cao sử dụng phẫu thuật siêu âm tập trung cắt lớp Bài viết Shengbo EbenLi [7] năm 2018 trình bày cách tiếp cận hiệu chi phí để theo dõi vật thể chuyển động xung quanh phương tiện sử dụng cảm biến siêu âm xếp theo tuyến tính Nghiên cứu khuyến khích việc áp dụng cảm biến siêu âm giảm chi phí môi trường hiệu ứng dụng hệ thống lái xe tự động Năm 2019, nhóm Morita [8] đề xuất tạo thành môđun cấu trúc cảm biến siêu âm để phù hợp với đối tượng đo có hình dạng kích cỡ khác Các mô-đun kết nối giao tiếp nối tiếp với đầu nối linh hoạt uốn cong Bằng cách thu thập tài liệu nhóm nghiên cứu trước số vấn đề mà lab nghiên cứu trước (trình bày bảng 1), nghiên cứu phát triển để cải thiện cảm biến siêu âm điện dung làm polime Tác giả đưa mục đích nghiên cứu giảm chiều cao thành bên độ dày màng rung để cải thiện tần số cộng hưởng tự nhiên cảm biến Bảng 1: Các loại cảm biến nghiên cứu phát triển Lab Năm Sản phẩm Thực Kiểm tra Lớp đệm dựa Samarium 2005 Lớp đệm Tấm silicon Lớp đệm dựa Samarium 2008 Lớp đệm Độ dội xung Chất linh hoạt Độ dội xung TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 137 Kết hợp chất silicon Kết hợp chất silicon Kết hợp chất silicon Kết hợp chất silicon Kết hợp chất silicon 2010 Công nghệ chế tạo dung cho silicon Độ dội xung Chất silicon 2010 Công nghệ chế tạo Độ dội xung dung cho silicon Hiệu ứng Doppler Chất silicon 2012 2013 2014 1.Công nghệ cán Chất silicon Độ dội xung Đo đạc mảng Đo tốc độ gió Đo độ nhám Công nghệ cán Chất silicon Độ dội xung Điều chỉnh tốc độ khoảng cách Kiểm tra điều kiện làm việc thay đổi nguồn cấp AC DC khác Kiểm tra thời gian làm việc Công nghệ cán Chất silicon Độ dội xung Điều chỉnh tốc độ khoảng cách Kiểm tra điều kiện làm việc thay đổi nguồn cấp AC DC khác Kiểm tra thời gian làm việc Phát vị trí 3D Trong nghiên cứu có bốn bước triển khai chính, thiết kế phân tích cảm biến siêu âm điện dung dựa chất liệu polyme cải tiến, so sánh đặc tính đo lường, kiểm sốt đưa ứng dụng để phát vị trí ba chiều Ảnh hưởng độ cao thành độ dày màng rung khác tần số cộng hưởng tự nhiên phân tích phần mềm ANSYS THIẾT KẾ VÀ PHÂN TÍCH CẢM BIẾN SIÊU ÂM ĐIỆN DUNG DỰA TRÊN CHẤT LIỆU POLYME 138 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG Để làm giảm ảnh hưởng tần số dao động tự nhiên trước tiên kích thước hình học cảm biến cần xác định Thứ hai, tần số cộng hưởng tự nhiên cảm biến lấy theo cơng thức mơ hình 3D cảm biến thiết lập Cuối cùng, sử dụng phần mềm ANSYS để xác minh giảm hiệu tần số cộng hưởng tự nhiên 2.1 Kích thước hình học cảm biến siêu âm điện dung Cảm biến siêu âm điện dung đề xuất nghiên cứu với hai dạng hình học Mẫu đề xuất thứ gồm 96 màng dao động với đường kính tròn 600µm, kích thước cảm biến 3mm x 3mm tần số cộng hưởng tự nhiên 46kHz, Hình 1(a) Mẫu cảm biến siêu âm hình lục giác mảng 2×2 có kích thước màng dao động tần số cộng hưởng, bao gồm 84 màng dao động, kích thước cảm biến đơn 3mm x 3mm, tần số cộng hưởng tự nhiên 43kHz Hình 1(b) (a) (b) Hình (a) cMUT màng dao động hình tròn, (b) cMUT màng dao động hình lục giác 2.1.1 Cơng thức tính tần số dao động tự nhiên cảm biến siêu âm điện dung (mô đàn hồi dạng kéo) vật liệu (kg/cm2), h độ dày (cm), η mật độ vật liệu (kg-sec2/cm4) Trong nghiên cứu này, công thức tần số cộng hưởng tự nhiên Blevins [9] áp dụng mỏng hình tròn giả sử màng dao động cảm biến, Công thức (1) 2 f 2a Công thức tần số tự nhiên Blevins rút gọn, thể Công thức (2)  h  E f    a 12     12  Eh  ,   9.869   12       12  (2) Nghiên cứu sử dụng chất phát quang SU-8 2002, chất phát quang có ưu điểm mơ đun Young, kháng hóa chất tỷ lệ khung hình cao Do đó, chất phát quang âm SU-8 2002 sử dụng ngoại trừ điện cực chất Các đặc điểm thể Bảng  (1) Trong đó, f tần số cộng hưởng tự nhiên (Hz), π pi, a bán kính tròn (cm), γ khối lượng đơn vị diện tích (kgsec2/cm3), ν hệ số Poison, E mơ đun Young Bảng Các tính chất vật liệu chất quang dẫn SU-8 2002 Mô đun đàn hồi dạn kéo ( E ) Mật độ khối (  ) Tỷ lệ Poisson (  ) 4.48104 Kg/cm2 1.4310-6 kg-sec2 /cm4 0.22 a  300  104 cm  ; Với:   1.43  10 6 h   104 cm  ;  kg  sec / cm  ;     h  4.29 10 kg  sec / cm  10  E  4.48  10 kg / cm ;   0.22 ;   3.14 ; TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 139 Áp dụng cơng thức (2), ta có kết sau:  3.14 3  104   4.48  104 9.42  10  4.48  10  f   4  6  2300  10  12  1.43  10  1  0.22  1.8  10 1.633  10  12 4 3 12 5  0.52  52377.6  27.4kHz 2.1.2 Phân tích cảm biến siêu âm điện dung hình tròn ANSYS Phần mềm SolidWorks dùng để tạo mơ hình 3D cảm biến, tần số cộng hưởng tự nhiên phần tử phân tích phần mềm phần tử hữu hạn Màng dao động cảm biến hình tròn lục giác có đường kính 600µm, độ dày màng dao động 3µm chiều cao thành bên 1µm a Mơ hình tế bào cảm biến siêu âm điện dung Cảm biến siêu âm điện dung thiết kế hình tròn hình lục giác, bao gồm thành bên, màng dao động điện cực Cấu trúc tổng thể thể Hình Bảng Hình Cấu trúc mặt cắt cảm biến siêu âm điện dung hình trơn hình lục giác (a) Bảng Kích thước hình học cảm biến siêu âm điện dung Ký hiệu Kích thước (µm) Đường kính màng rung A 600 Đường kính điện cực B 480 Chiều rộng thành bên C 70 Độ dày điện cực D 0.05 Độ dày màng E Chiều cao thành bên F b Phân tích tần số cộng hưởng tự nhiên màng dao động hình tròn Phân tích phần tử hữu hạn thực mơ hình cảm biến hình tròn hình lục giác, với kích thước hình học Bảng Kết phân tích cho thấy tần số cộng hưởng tự nhiên sử dụng phần mềm hữu hạn 46kHz với hình tròn 43kHz với hình lục giác (b) Hình Kết phân tích màng dao động hình tròn có độ dày 3µm 140 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG 2.2 Biến siêu âm điện dung Cảm biến siêu âm điện dung hình tròn hình lục giác thiết kế có kích thước 3mm × 3mm, hình tròn gồm 16 màng dao động hình lục giác gồm 14 màng dao động Độ dày màng dao động 3µm, chiều cao thành 1µm chiều rộng thành 10µm Điện cực điện cực có độ dày 50nm chiều rộng dây nối điện cực 50µm Kích thước cảm biến siêu âm điện dung hình tròn hình lục giác hiển thị Hình Bảng (a) (b) Hình Kích thước cảm biến siêu âm điện dung Bảng Kích thước hình học cảm biến siêu âm điện dung hình tròn hình lục giác Kích thước (µm) Đường kính màng rung 600 Kích thước (µm) Đường kính điện cực 480 Độ dày màng rung Độ dày điện cực 0.05 Chiều rộng thành bên 70 Chiều cao thành bên Cảm biến siêu âm điện dung thiết kế mảng 2×3 với thành phần có kích thước 3mm × 3mm khoảng cách thành phần 0,1mm Thiết kế mặt lưới cảm biến mảng 2×3 hình tròn hình lục giác thể Hình 5, thiết kế thành phần đơn hiển thị Hình (a) (b) Hình Thiết kế cảm biến mảng 2×3, (a) hình tròn, (b) hình lục giác TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 141 (a) (b) Hình Thiết kế thành phần đơn cảm biến, (a) hình tròn, (b) hình lục giác ĐO LƯỜNG ĐẶC TRƯNG CỦA CẢM BIẾN SIÊU ÂM ĐIỆN DUNG Sau hoàn thành cảm biến siêu âm điện dung, phép đo bề mặt kích thước thực với kính hiển vi quang học (Optical Microscope, OM) kính hiển vi điện tử (Scanning Electron Microscope, SEM) để xác nhận xem hình học cảm biến có phù hợp với thiết kế hay khơng Sau điện áp DC điện áp xoay chiều áp dụng cho cảm biến để kiểm tra điều kiện hoạt động tốt điện áp, thời gian truyền, độ nhạy, đáp ứng tần số tuổi thọ 3.1 Thiết bị đo cho cảm biến siêu âm điện dung Các phép đo đặc tính cảm biến siêu âm điện dung thực thiết bị hiển thị Bảng 5ng phản xạ hòa lẫn với sóng chính, khiến khơng thể phân biệt được, 144 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG khoảng cách dọc xa, tín hiệu phản xạ nhỏ, khơng đủ lượng phản xạ Hình 13 thể quan hệ khoảng cách thời gian bay Vận tốc sóng siêu âm đo khơng khí 342,8 m/s sai số tuyến tính 0,2 mm Điều tương tự với tốc độ âm 340 m/s nhiệt độ phòng 25°C 60 Vertical distance (mm) 3.4 Hiệu chỉnh tốc độ khoảng cách 50 y = 170.43x - 0.2717 40 30 20 10 0 0.05 0.1 0.15 0.2 Time (ms) 0.25 0.3 0.35 Hình 13 Mối quan hệ khoảng cách dọc thời gian 3.5 Kiểm tra điện áp làm việc khác Đầu tiên, điện áp xoay chiều cố định mức 300V điện áp DC tăng từ 0V đến 200V Thứ hai, điện áp DC cố định 100V điện áp AC tăng từ 100V Từ Hình 15 thấy DC 200V, biên độ tín hiệu giảm so với 100V màng dao động chạm đáy; DC 150V, biên độ lớn so với 100V, điện áp cao làm tăng dịch chuyển dao động điện cực có tiếp xúc đoản mạch, dẫn đến cháy cảm biến Do độ lệch điện áp DC 100V xoay chiều 300V chọn làm điện áp hoạt động 0 -10 -10 -20 -20 -30 AC 300V DC50V -40 AC 300V DC75V -50 AC 300V DC100V AC 300V DC125V -60 AC 300V DC150V -70 Amplitude(dB) Amplitude(dB) Hình 14 Sơ đồ thí nghiệm thay đổi điện áp khác lên 300V để trích xuất tín hiệu miền tần số sóng phản xạ, thử nghiệm bố trí Hình 14 -30 AC 100V DC 100V -40 AC 150V DC 100V -50 AC 200V DC 100V AC 250V DC 100V -60 AC 300V DC 100V -70 -80 -80 0.5 1.5 Frequency(MHz) 2.5 (a) 0.5 1.5 Frequency(MHz) 2.5 (b) Hình 15 Kết đo thực nghiệm, (a) AC cố định, thay đổi DC, (b) DC cố định, thay đổi AC KẾT LUẬN Cảm biến sóng siêu âm thiết kế với màng rung hình tròn phân tích phần mềm ANSYS Nghiên cứu cải thiện thành công chiều cao thành bên độ dày màng rung cảm biến siêu âm điện dung, giảm tần số cộng hưởng tự nhiên ban đầu từ 900 kHz xuống 380 kHz, khác với giá trị phân tích lý thuyết 46 kHz, bị ảnh hưởng khoang cộng hưởng kín Trong trường hợp không đủ lượng tạo dao động, lượng biến dạng màng bị giới hạn, tần số cộng hưởng giảm Trong thời gian tới cách sử dụng phần mềm khác để phân tích xác định chiều cao thành bên cảm biến siêu âm điện dung, mối quan hệ độ dày màng rung tần số cộng hưởng tự nhiên, liên tục cải tiến thông số thiết kế quy trình chế tạo cảm biến siêu âm điện dung để cải thiện suất độ bền Ngoài ra, sâu vào việc sử dụng mục tiêu quỹ đạo đường TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 145 khác để phát vị trí 3D phát triển hệ thống phát vị trí 3D TÀI LIỆU THAM KHẢO Lee, Y J., C H., Khuri-Yakub, B T., & Saraswat, K C (1990), "Non-invasive process temperature monitoring using laser-acoustic techniques." Digest of Technical Papers, Symposium on VLSI Technology Haller, Matthew I., and Butrus T Khuri-Yakub (1996) "A surface micromachined electrostatic ultrasonic air transducer." IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control 43.1 (1996): 1-6 M W Chang, M T Deng, J T Gwo, J D Mai, and E Hsu (2006), “Polymer-based capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) for micro surgical imaging applications,” IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, pp.61-65, Jan 2006 Chen, Jingkuang (2007), et al "A monolithic three-dimensional ultrasonic transducer array for medical imaging." Journal of Microelectromechanical Systems 16.5 (2007): 1015-1024 Shu, Qiong (2008), et al "Wafer bonding with intermediate parylene layer." 2008 9th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology IEEE, 2008 Y.Kuang, Y.Jin, S.Cochran, Z.Huang (2014), “Resonance tracking and vibration stablilization for high power ultrasonic transducers,” Ultrasonics, Vol 4, Iss 1, pp 187-194, Jan 2014 Shengbo EbenLi, GuofaLi, JiayingYu, ChangLiu, BoCheng, JianqiangWang, KeqiangLi (2018), “Kalman filter-based tracking of moving objects using linear ultrasonic sensor array for road vehicles,” Mechanical Systems and Signal Processing, Vol 98, Jan 2018, pp 173-189 Yuichi Morita, Sota Kono, Akira Yamawaki (2019), “Proposal of an ultrasonic sensor array with flexible and scalable organization,” Artificial Life and Robotics, Vol 24, Iss 2, pp 189–194, June 2019 R D Belevins (2015), “Fomulas for natural frequency and mode shape,” John Wiley & Sons 146 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG TỔNG MỤC LỤC 2019 Tên bài, tác giả Tr I SỐ 32(01/2019) Phát triển đội tàu khách đường thủy nội địa Nguyễn Hồng Phúc, Nguyễn Gia Thắng Giải pháp phát triển xuất thành phố Hải Phòng giai đoạn đẩy 12 mạnh hội nhập quốc tế Nguyễn Thái Sơn, Nguyễn Đình Dũng Đánh giá hài lòng khách hàng chất lượng dịch vụ Viện Khoa 26 học An toàn Việt Nam Hồng Chí Cương, Lê Thủy Tiên Vận dụng chuẩn mực kế toán, kiểm toán xem xét khoản nợ tiềm tàng 39 kiện phát sinh sau ngày kết thúc kỳ kế toán kiểm tốn báo cáo tài Đào Minh Hằng Phân chia đoạn để tổ chức hoàn thiện phần bên nhà chung cư cao tầng theo 50 phương pháp dây chuyền Nguyễn Đức Lợi, Nguyễn Quang Tuấn Xác định cường độ tính tốn nâng cao thành mỏng tạo hình nguội theo 56 tiêu chuẩn Úc AS4600-2005 Đỗ Trọng Quang Tạo hình bề mặt chi tiết khí phần mềm KSCAN3D sử dụng cảm biến 62 Microsoft Kinect V1 Bùi Văn Biên, Nguyễn Hữu Dĩnh Ứng dụng phần mềm ANSYS 18.2 mô số q trình uốn có gia nhiệt 69 thép SS400 Vương Gia Hải, Nguyễn Mạnh Hùng Xây dựng biến đổi mờ hóa ảnh cho ảnh đa kênh ứng dụng nâng cao độ tương 76 phản ảnh màu theo hướng tiếp cận trực tiếp Nguyễn Văn Quyền, Phạm Đình Ninh TT 10 Nghiên cứu chế tạo vật liệu TIO 2: S/CNT S 89 Vũ Thị Mai Phương 11 Cải tiến bể lọc nước giếng khoan truyền thống để loại bỏ kim loại nặng nước 94 sinh hoạt Vũ Thành Công 12 Một cách tiếp cận khác phương pháp Gauss-Jordan đại số tuyến tính 99 La Văn Thịnh, Nguyễn Dương Tồn TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 147 II MỤC LỤC TẠP CHÍ KHOA HỌC SỐ 33(3/2019) Xây dựng hình ảnh nhà giáo theo tư tưởng Hồ Chí Minh Vũ Thị Loan Ngôn ngữ đa sắc thái tiểu thuyết Việt Nam đương đại 11 Nguyễn Thị Ninh Đi tìm cảm quan đồng tính số sáng tác văn xuôi Việt Nam trước Cách 20 mạng từ lý thuyết lệch pha (queer theory) Lê Thị Thủy Đề xuất giải pháp nhằm khai thác hiệu cụm di tích Nhà Mạc (Kiến Thụy) 28 phục vụ phát triển du lịch Thành phố Hải Phòng Võ Thị Thu Hà, Bùi Thị Hồng Thoa Xây dựng mơ hình quản lý khai thác khu du lịch Đồ Sơn, Hải Phòng 41 Lê Thị Luyến, Trần Kim Yến Đề xuất xây dựng mơ hình du lịch cộng đồng gắn với nghề muối di tích thờ 49 Bà Chúa Muối Thái Thụy (Thái Bình) Bùi Thúy Hằng, Nguyễn Thị Thúy Anh Vị trí trang trí bia đá Hải Phòng kỉ XVI đến kỉ XVIII 64 Trần Thúy Hảo Mơ hình phân loại sử dụng định áp dụng cho hệ thống tuyển sinh trường 72 đại học Đào Việt Anh 82 Những giải pháp nhằm giáo dục truyền thống lịch sử, văn hóa địa phương cho học sinh phổ thơng địa bàn Thành phố Hải Phòng Nguyễn Thị Chiên 10 Đặc thù môn vấn đề nâng cao hiệu việc dạy, học Văn học dân gian 89 trường đại học Đoàn Thị Ngọc Anh 11 Thiết kế hoạt động trải nghiệm thực tế nhằm giúp học sinh lớp địa bàn 96 Thành phố Hải Phòng làm tốt văn tả cảnh đẹp quê hương Nguyễn Thị Dung, Nguyễn Thị Việt Hoa III MỤC LỤC TẠP CHÍ KHOA HỌC SỐ 34(5/2019) Tăng trưởng kinh tế Việt Nam: Vai trò sách khuyến khích giáo dục Nguyễn Thị Thúy Hồng Port governance: A general research and case study in Viet Nam 12 Hoàng Thị Lịch 148 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG Các nhân tố ảnh hưởng tới hài lòng việc sử dụng thẻ ATM sinh viên 21 Trường Đại học Hải Phòng Phan Thị Nghĩa Bình Điều kiện, đặc điểm nghề cá cộng đồng ngư dân khai thác hải sản xa bờ 31 Vịnh Bắc Bộ Phạm Thị Hiền, Tạ Thị Hạnh Nghiên cứu thành phần hóa học dây Gắm Gnetum montanum Markgr 45 Vũ Thị Lan Phương Nghiên cứu số yếu tố ảnh hưởng đến độc tính sản phẩm cháy sinh 51 trình đốt cháy vật liệu nhựa Khúc Quang Trung, Đỗ Minh Thảo, Đặng Sỹ Lân Ứng dụng cọc khoan nhồi đường kính nhỏ thi cơng tầng hầm cơng trình 58 xây chen thành phố lớn Nguyễn Thị Kim Thịnh Nghiên cứu cố thường gặp giải pháp khắc phục thi công cọc ly tâm 68 ứng suất trước Trần Thị Phương Lan Điều khiển tối ưu trực tuyến cho hệ phi tuyến liên tục 77 Vũ Văn Tú, Vũ Thị Thu Hiền 10 Nghiên cứu ảnh hưởng nhám bề mặt tới chất lượng làm việc ổ khí dẫn động xác 88 Tạ Thị Thúy Hương 11 Phương pháp tìm kiếm theo tia tìm phần tử chung tập nghiệm toán bất đẳng 95 thức biến phân tập điểm bất động ánh xạ khơng giãn Đỗ Duy Thành, Trần Thị Hồng Anh 12 Vấn đề hàm phân hình cặp điểm 105 Nguyễn Thị Thu Hằng IV MỤC LỤC TẠP CHÍ KHOA HỌC SỐ 35(7/2019) Vai trò tư biện chứng với hoạt động lãnh đạo cán chủ chốt cấp huyện Huỳnh Thị Mỹ Nhung Quá trình vận động hợp tác kinh tế Việt Nam - LB Nga từ đối tác chiến lược 11 lên đối tác chiến lược toàn diện Vũ Thị Hồng Chuyên Dạy học văn miêu tả vật theo hướng phát triển lực tư sáng tạo cho 23 học sinh lớp Trường Tiểu học Thực hành - Đại học Hải Phòng Nguyễn Thị Hiên, Trần Thị Hải Thu Giảng dạy trực tuyến mơn lý luận trị Trường Đại học 30 Trịnh Quang Dũng, Đỗ Thị Ngọc Dương, Nguyễn Phương Anh TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 149 Nâng cao nhận thức vai trò cộng đồng cư dân nhằm bảo tồn, phát huy 40 giá trị văn hóa đền chòi (xã Thụy Trường, huyện Thái Thụy, tỉnh Thái Bình) Nguyễn Thị Thu Hương, Phạm Tuấn Huy Môi trường diễn xướng hát chầu văn: tiếp cận giải pháp bảo tồn Hải Phòng 50 Hồng Thị Mỹ Một số biện pháp giáo dục sức khỏe sinh sản cho nữ sinh trung học phổ thông 59 Nguyễn Thị Quỳnh Phương, Phạm Thị Thu Thảo Hiệu công tác tham vấn học đường 66 Vũ Thị Hạnh Giải pháp phát triển du lịch làng chài Cửa Vạn, vịnh Hạ Long, Quảng Ninh 75 sau hoạt động di dân lên bờ Nguyễn Thị Thúy Anh, Bùi Thúy Hằng 10 Đặc điểm phân loại dân dã côn trùng người Việt cấp độ phân loại từ “họ” 85 sang “giống” “loài” Dương Thị Mỹ Dung 11 Pplying information-gap activities to an EFL speaking class to improve students 93 speaking participation - an action research on 1st year English majors at Haiphong University Phan Thành Nam 12 Hành trình kiếm tìm hạnh phúc nhân vật nữ qua số truyện ngắn 107 O.Henry Đỗ Thị Hằng V MỤC LỤC TẠP CHÍ KHOA HỌC SỐ 36(9/2019) Chiến lược video marketing trực tuyến thương hiệu FMCG Việt Nam Nghiên cứu điển hình Vinamilk Nguyễn Thái Sơn, Nguyễn Tú Phương Một số biện pháp hồn thiện cơng tác quản lý khai thác Cảng hàng không 13 quốc tế Cát Bi Phạm Quang Huy, Đỗ Minh Thụy Xu hướng kinh doanh theo mơ hình kinh tế chia sẻ Việt Nam 26 Bùi Thị Bích Hằng Nghiên cứu tuyển chọn đàn bố mẹ, nuôi vỗ thành thục cá Bống tro (bathygobius 36 fuscus, Ruppell 1830) Hải Phòng Phạm Xn Chính Nghiên cứu số điều kiện kinh tế - xã hội cộng đồng ngư dân khai thác hải sản 44 xa bờ Vịnh Bắc Bộ Phạm Thị Hiền, Tạ Thị Hạnh 150 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG 53 Địa chất Hải Phòng sở số liệu trực tuyến phục vụ ngành xây dựng Phạm Thị Loan, Bùi Trường Giang Dự đoán đường cong ứng suất - biến dạng cho trình kéo/nén vật liệu 60 SS400 phương pháp phần tử hữu hạn Vương Gia Hải, Nguyễn Mạnh Hùng Nghiên cứu thiết kế chế tạo máy CNC mini trục sử dụng chương trình mạch 65 Mach Đinh Văn Hiển SPSS nghiên cứu khoa học giáo dục 75 Phạm Văn Trạo, Trần Đức Chiển 10 Một thuật toán giải toán bất đẳng thức biến phân hai cấp 85 Hồ Phi Tứ 11 Sự hội tụ dãy lũy thừa ma trân vuông cấp 95 Vũ Tiến Đức VI MỤC LỤC TẠP CHÍ KHOA HỌC SỐ 37(11/2019) Thư chúc mừng 60 năm truyền thống xây dựng phát triển Trường Đại học Hải Phòng Tổng Biên tập 60 năm - Hành trình ngơi trường Nguyễn Thị Hiên Phát triển Tạp chí khoa học Trường Đại học Hải Phòng đáp ứng yêu cầu chất lượng - hiệu - hội nhập Đào Văn Hiệp, Nguyễn Thị Thanh Nhàn, Bùi Bá Khiêm, Vũ Thị Thu Huyền, Đỗ Thị Thái Linh Vai trò phục vụ cộng đồng trường đại học địa phương 18 Dương Đức Hùng Đề xuất giải pháp nhằm nâng cao chất lượng đào tạo nguồn nhân lực du lịch 24 chất lượng cao Trường Đại học Hải Phòng đáp ứng nhu cầu xã hội Võ Thị Thu Hà, Bùi Thị Hồng Thoa, Phạm Hương Giang Chính sách phát triển đội ngũ giảng viên trường đại học công lập Việt Nam 33 đáp ứng yêu cầu đổi giáo dục đại học Nguyễn Thị Thu Thủy, Phương Hữu Từng Tiếp cận định hướng CDIO xây dựng chương trình đào tạo trọng điểm 41 Khoa Công nghệ thông tin Trường Đại học Hải Phòng theo định hướng ứng dụng Lê Đắc Nhường Hiệu chuyển giao tiến khoa học thực dự án khoa học công nghệ 52 lĩnh vực nông nghiệp cấp huyện năm 2018 Hải Phòng Trần Nam Trung, Lê Thị Bích Diệp TẠP CHÍ KHOA HỌC, Số 37, tháng 11/2019 151 Đa dạng hóa hình thức dạy học trường đại học, cao đẳng cách 65 mạng công nghệ lần thứ tư Trịnh Quang Dũng 75 10 Thực trạng rèn luyện tư phản biện sinh viên Trường Đại học Hải Phòng Nguyễn Thị Quỳnh Phương 83 11 Tích hợp “kỹ kỷ 21” vào hoạt động đánh giá học phần chuyên ngành Ngôn ngữ cho sinh viên tiếng Anh Đại học Hải Phòng Đinh Minh Thu 12 Nâng cao chất lượng giảng dạy môn Lý luận trị góp phần giáo dục đạo 94 đức cho sinh viên Trường Đại học Hải Phòng Nguyễn Thị Xuân, 13 Nâng cao chất lượng đào tạo chuyên ngành Kế toán - Kiểm toán Trường Đại 105 học Hải Phòng Đào Minh Hằng 14 Một số kỹ thuật dạy học tích cực dạy học mơn Tốn trường trung học 115 phổ thơng Đỗ Thị Hồng Minh, Nguyễn Thị Thanh Vân, Đỗ Duy Thành, Lê Thị Hà Đơng, 15 Nâng cao vai trò ngành Kế toán theo chiến lược phát triển ngành trọng điểm Trường 125 Đại học Hải Phòng Lương Khánh Chi, Nguyễn Thị Mỵ 16 Phát triển cảm biến siêu âm điện dung polyme làm giảm tần số cộng hưởng 136 tự nhiên Bùi Gia Thịnh 152 TRƯỜNG ĐẠI HỌC HẢI PHÒNG ... PHÒNG Để làm giảm ảnh hưởng tần số dao động tự nhiên trước tiên kích thước hình học cảm biến cần xác định Thứ hai, tần số cộng hưởng tự nhiên cảm biến lấy theo cơng thức mơ hình 3D cảm biến thiết... cùng, sử dụng phần mềm ANSYS để xác minh giảm hiệu tần số cộng hưởng tự nhiên 2.1 Kích thước hình học cảm biến siêu âm điện dung Cảm biến siêu âm điện dung đề xuất nghiên cứu với hai dạng hình... chiến lược phát triển ngành trọng điểm Trường 125 Đại học Hải Phòng Lương Khánh Chi, Nguyễn Thị Mỵ 16 Phát triển cảm biến siêu âm điện dung polyme làm giảm tần số cộng hưởng 136 tự nhiên Bùi Gia