Tiêu chuẩn Quốc gia TCVN 8664-1:2011 - ISO 14644-1:1999

Tiêu chuẩn Quốc gia TCVN 8664-1:2011 - ISO 14644-1:1999. Tiêu chuẩn về Phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 1: Phân loại độ sạch không khí. Mời các bạn cùng tham khảo để nắm bắt nội dung của tiêu chuẩn này.

TIÊU CHUẨN QUỐC GIA TCVN 8664-1:2011 ISO 14644-1:1999 PHÒNG SẠCH VÀ MƠI TRƯỜNG KIỂM SỐT LIÊN QUAN - PHẦN 1: PHÂN LOẠI ĐỘ SẠCH KHƠNG KHÍ Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness Lời nói đầu TCVN 8664-1:2011 hoàn toàn tương đương với ISO 14644-1:1999; TCVN 8664-1:2011 Viện Trang thiết bị Cơng trình y tế biên soạn, Bộ Y tế đề nghị, Tổng cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng thẩm định, Bộ Khoa học Công nghệ công bố Bộ TCVN 8664:2011 (ISO 14644) Phòng mơi trường kiểm sốt liên quan gồm tiêu chuẩn sau: - Phần 1: Phân loại độ khơng khí - Phần 2: u cầu kỹ thuật để thử nghiệm theo dõi nhằm chứng minh phù hợp liên tục với TCVN 8664-1 (ISO 14644-1) - Phần 3: Phương pháp thử - Phần 4: Thiết kế, xây dựng khởi động - Phần 5: Vận hành - Phần 6: Từ vựng - Phần 7: Thiết bị phân tách (tủ hút, hộp đựng găng tay, mơi trường cách ly khơng khí sạch) - Phần 8: Phân loại ô nhiễm phân tử không khí Lời giới thiệu Phòng mơi trường kiểm soát liên quan cung cấp cho việc kiểm soát nhiễm hạt khơng khí đến mức thích hợp để hoàn thành hoạt động nhạy cảm với lây nhiễm Các sản phẩm trình lợi ích từ việc kiểm sốt lây nhiễm khơng khí gồm sản phẩm quy trình cơng nghiệp ngành hàng không vũ trụ, vi điện tử, dược phẩm, trang thiết bị y tế, thực phẩm chăm sóc sức khỏe Tiêu chuẩn định mức phân loại để sử dụng cho yêu cầu kỹ thuật độ khơng khí phòng mơi trường kiểm sốt có liên quan Tiêu chuẩn mơ tả phương pháp chuẩn để thử nghiệm quy trình để xác định nồng độ hạt nhiễm khơng khí Đối với mục đích phân loại, tiêu chuẩn giới hạn khoảng định cỡ hạt xem xét để xác định nồng độ hạt Tiêu chuẩn cung cấp quy trình để xác định định mức độ sách sở nồng độ khơng khí hạt lớn nhỏ khoảng cỡ hạt định để phân loại Tiêu chuẩn tiêu chuẩn liên quan với phòng kiểm sốt nhiễm bẩn Nhiều yếu tố ngồi độ hạt khơng khí phải xem xét thiết kế, quy định kỹ thuật, vận hành, kiểm soát độ mơi trường kiểm sốt khác Trong số trường hợp, quan điều chỉnh liên quan áp đặt điều khoản giới hạn bổ sung Ví dụ, u cầu tình huống, tài liệu theo thích hợp quy trình thử nghiệm chuẩn PHỊNG SẠCH VÀ MƠI TRƯỜNG KIỂM SOÁT LIÊN QUAN - PHẦN 1: PHÂN LOẠI ĐỘ SẠCH KHƠNG KHÍ Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness Phạm vi áp dụng Tiêu chuẩn đề cập việc phân loại độ khơng khí phòng mơi trường kiểm sốt liên quan riêng biệt đến đại lượng nồng độ hạt khơng khí Chỉ mật độ hạt có phân bố tích lũy sở ngưỡng (giới hạn dưới) dải kích thước hạt từ 0,1 μm đến μm xem xét để phân loại Tiêu chuẩn không phân loại mật độ hạt có kích thước nằm ngồi dải kích thước hạt quy định, 0,1 μm đến μm Nồng độ hạt siêu mịn (hạt nhỏ 0,1 μm) hạt thô (hạt lớn μm) sử dụng để định lượng mật độ hạt đại lượng ký hiệu U ký hiệu M, tương ứng Tiêu chuẩn không sử dụng để mô tả đặc trưng tính chất vật lý, hóa học, phóng xạ, chất sinh tồn hạt khơng khí CHÚ THÍCH: Sự phân bố thực tế nồng độ hạt phạm vi dải kích thước tăng thơng thường khơng đốn trước có đặc trưng thay đổi theo thời gian Thuật ngữ định nghĩa Trong tiêu chuẩn này, áp dụng định nghĩa sau 2.1 Quy định chung 2.1.1 Phòng (cleanroom) Phòng có nồng độ hạt khơng khí kiểm soát, xây dựng sử dụng để giảm thiểu việc đưa vào, tạo lưu giữ hạt bên phòng, thơng số liên quan khác, nhiệt độ, độ ẩm áp suất kiểm soát cần thiết 2.1.2 Vùng (cleanzone) Khơng gian riêng biệt nồng độ hạt khơng khí kiểm sốt, xây dựng sử dụng để giảm thiểu việc đưa vào, tạo lưu giữ hạt bên phòng, thơng số liên quan khác, nhiệt độ, độ ẩm áp suất kiểm soát cần thiết CHÚ THÍCH: Vùng mở đóng khơng đặt phạm vi phòng 2.1.3 Lắp đặt (installation) Phòng nhiều vùng sạch, với kết cấu liên quan, hệ thống xử lý khơng khí, dịch vụ tiện ích 2.1.4 Phân loại (classification) Phân mức (hoặc trình quy định xác định mức) độ hạt khơng khí áp dụng cho phòng vùng sạch, biểu thị đại lượng Cấp N đại diện cho nồng độ cực đại cho phép (tính hạt mét khối khơng khí) với kích thước hạt xem xét CHÚ THÍCH 1: Nồng độ xác định theo phương trình (1) 3.2 CHÚ THÍCH 2: Phân loại phù hợp với tiêu chuẩn giới hạn từ Cấp mở rộng suốt đến Cấp CHÚ THICH 3: Kích thước hạt xem xét (thấp giá trị ngưỡng) áp dụng để phân loại phù hợp với tiêu chuẩn giới hạn từ 0,1 μm đến μm Độ khơng khí mô tả quy định (nhưng không phân loại) giới hạn ký hiệu U ký hiệu M (xem 2.3.1 2.3.2) hạt có ngưỡng kích thước nằm ngồi dải phân loại CHÚ THÍCH 4: Các số phân cấp trung gian quy định, với giá trị gia tăng nhỏ cho phép 0,1, tức dải cấp ISO trung gian mở rộng từ Cấp 1,1 đến Cấp 8,9 CHÚ THÍCH 5: Việc phân loại quy định thực với trạng thái ba trạng thái (xem 2.4) 2.2 Hạt không khí 2.2.1 Hạt (particle) Vât thể rắn lỏng dùng để phân loại độ khơng khí, nằm phân bố lũy tích kích thước ngưỡng (giới hạn dưới) dải từ 0,1 μm đến μm 2.2.2 Kích thước hạt (particle size) Đường kính khối cầu tạo phản ứng thiết bị đo kích thước hạt cho trước, phản ứng tương đương với phản ứng tạo hạt đo CHÚ THÍCH: Đối với thiết bị tán xạ ánh sáng, sử dụng đường kính quan tương đương để đếm hạt rời rạc 2.2.3 Nồng độ hạt (particle concentration) Số lượng hạt riêng lẻ có đơn vị thể tích khơng khí 2.2.4 Phân bố kích thước hạt (particle size distribution) Phân bố tích lũy nồng độ hạt hàm kích thước hạt 2.2.5 Hạt siêu mịn (ultrafine particle) Hạt có đường kính tương đương nhỏ 0,1 μm 2.2.6 Hạt thơ (macroparticle) Hạt có đường kính tương đương lớn μm 2.2.7 Sợi (fibre) Hạt có tỷ lệ tương quan hình ảnh (chiều dài so với chiều rộng) 10 lớn 2.3 Ký hiệu 2.3.1 Ký hiệu U (U descriptor) Nồng độ hạt siêu mịn đo quy định mét khối khơng khí CHÚ THÍCH: Ký hiệu U xem giới hạn mức trung bình vị trí lấy mẫu (hoặc giới hạn riêng biệt phụ thuộc vào số lượng vị trí lấy mẫu sử dụng để đặc trưng cho phòng vùng sạch) Ký hiệu U không sử dụng để xác định cấp độ hạt khơng khí, chúng nêu cách độc lập kết hợp với cấp độ hạt khơng khí 2.3.2 Ký hiệu M (M descriptor) Nồng độ hạt thô đo quy định mét khối khơng khí, biểu thị phạm vi đường kính tương đương đặc trưng phương pháp đo qua sử dụng CHÚ THÍCH: Ký hiệu M xem giới hạn mức trung bình vị trí lấy mẫu (hoặc giới hạn riêng phụ thuộc vào số lượng vị trí lấy mẫu sử dụng để đặc trưng cho phòng vùng sạch) Ký hiệu M khơng sử dụng để xác định cấp độ hạt khơng khí, chúng nêu cách độc lập kết hợp với cấp độ hạt khơng khí 2.4 Trạng thái 2.4.1 Trạng thái thiết lập (as-built) Trạng thái việc lắp ráp hoàn thành với tất dịch vụ có liên quan thực chức khơng liên quan với việc chế tạo thiết bị, vật liệu diện nhân viên 2.4.2 Trạng thái nghỉ (at-rest) Trạng thái việc lắp ráp hoàn thành với thiết bị lắp đặt xong đưa vào hoạt động theo phương thức thỏa thuận khách hàng nhà cung cấp, khơng có diện nhân viên 2.4.3 Trạng thái hoạt động (operational) Trạng thái việc lắp đặt thực chức theo cách thức quy định với số lượng nhân viên quy định diện làm việc theo cách thỏa thuận Bảng - Các cấp độ hạt khơng khí lựa chọn cho phòng vùng Giới hạn nồng độ cực đại (hạt/m3 khơng khí) với hạt có kích thước lớn kích thước biết nêu Số phân loại [giới hạn nồng độ tính theo phương trình (1) 3.2] (N) 0,1 μm 0,2 μm 0,3 μm 0,5 μm μm μm Cấp 10 Cấp 100 24 10 Cấp 000 237 102 35 Cấp 10 000 370 020 352 83 Cấp 100 000 23 700 10 200 520 832 29 Cấp 000 000 237 000 102 000 35 200 320 293 Cấp 352 000 83 200 930 Cấp 520 000 832 000 29 300 Cấp 35 200 000 320 000 293 000 CHÚ THÍCH: Độ khơng đảm bảo đo liên quan đến q trình đo đòi hỏi liệu nồng độ với khơng q ba chữ số có nghĩa sử dụng việc xác định mức phân loại 2.5 Vai trò 2.5.1 Khách hàng (customer) Tổ chức đại lý có trách nhiệm quy định yêu cầu phòng vùng 2.5.2 Nhà cung cấp (supplier) Tổ chức cam kết đáp ứng yêu cầu quy định phòng vùng Phân loại 3.1 Trạng thái Độ hạt khơng khí phòng vùng phải xác định theo nhiều số ba trạng thái, "trạng thái thiết lập"; trạng thái nghỉ" "trạng thái hoạt động" (xem 2.4) CHÚ THÍCH: Cần ghi nhận "trạng thái thiết lập" áp dụng cho phòng vùng hoàn thành sửa chữa Một "trạng thái thiết lập hồn thành, thử nghiệm phù hợp phải thực "trạng thái nghỉ" "trạng thái hoạt động" hai trạng thái 3.2 Số phân loại Độ hạt khơng khí ấn định số phân loại, N Nồng độ hạt tối đa cho phép, C n, với kích thước hạt biết, D, xác định từ phương trình: Cn = 10N x 0,1 D 2,08 Trong Cn nồng độ tối đa cho phép (tính hạt mét khối khơng khí) hạt khơng khí có kích thước lớn kích thước hạt biết C n làm tròn đến số nguyên gấn nhất, sử dụng khơng q ba chữ số có nghĩa; N số phân loại ISO, không vượt giá trị Số phân loại trung gian xác định được, với mức tăng nhỏ cho phép 0,1; D kích thước hạt cho trước, tính micromet; 0,1 số, có thứ nguyên micromet Bảng nêu loại cấp độ hạt khơng khí lựa chọn nồng độ hạt tương ứng với hạt có kích thước lớn kích thước hạt Hình A.1 (xem Phụ lục A) mơ tả cấp chọn dạng đồ thị Trong trường hợp có tranh cãi nồng độ C n dẫn xuất từ phương trình (1) chọn làm giá trị chuẩn 3.3 Ký hiệu quy ước Việc ký hiệu quy ước độ sách hạt khơng khí phòng vùng phải bao gồm: a) số phân loại, biểu thị "ISO cấp N"; b) trạng thái áp dụng cho việc phân loại; c) kích thước hạt chọn nồng độ liên quan xác định theo phương trình (1) kích thước hạt ngưỡng chọn dải từ 0,1 μm đến μm Ví dụ ký hiệu quy ước ISO Cấp 4; thạng thái hoạt động; kích thước chọn: 0,2 μm (2 370 hạt/m3), μm (83 hạt/m3) Đối với kích thước hạt chọn nồng độ đo phải thỏa thuận khách hàng nhà cung cấp Nếu việc đo tiến hành số kịch thước hạt chọn, đường kính hạt lớn (ví dụ D2) phải 1,5 lần so với đường kính hạt nhỏ (ví dụ D 1) Ví dụ: D2 ≥ 1,5 x D1 Chứng minh phù hợp 4.1 Nguyên tắc Sự phù hợp với yêu cầu độ khơng khí (cấp ISO) khách hàng quy định phải kiểm tra việc thực quy trình thử nghiệm quy định việc cung cấp tài liệu cụ thể kết điều kiện thử nghiệm, với thỏa thuận khách hàng nhà cung cấp 4.2 Thử nghiệm Phương pháp thử đối chứng để chứng minh phù hợp nêu Phụ lục B: Có thể quy định phương pháp thay có độ xác tương tự, khơng có phương pháp xác định thỏa thuận phải sử dụng phương pháp đối chứng Phép thử thực để chứng minh phù hợp phải hướng dẫn cách sử dụng thiết bị hiệu chuẩn 4.3 Giới hạn nồng độ hạt khơng khí Khi hồn nghiệm theo 4.2, nồng độ trung bình hạt giới hạn riêng 95% (khi áp dụng) tính tốn cách sử dụng phương trình Phụ lục C Nồng độ trung bình hạt tính theo phương trình (C.1), khơng vượt q giới hạn nồng độ xác định theo phương trình (1) 3.2, quy định [3.3 c)] kích thước biết Ngồi ra, tình số lượng vị trí lấy mẫu hai khơng vượt q chín, việc tính tốn giới hạn độ tin cậy 95% theo C.3 không vượt giới hạn nồng độ thiết lập CHÚ THÍCH: Các ví dụ cơng tác tính tốn phân loại nêu Phụ lục D Nồng độ hạt sử dụng để xác định phù hợp với giới hạn phân loại phải đo theo phương pháp kích thước hạt biết 4.4 Báo cáo thử nghiệm Các kết phép thử phòng vùng ghi lại xem xét báo cáo tổng hợp, với việc công bố phù hợp không phù hợp với định quy định việc phân loại độ hạt khơng khí Báo cáo thử phải gồm nội dung sau: a) tên địa tổ chức thử nghiệm, ngày tiến hành phép thử; b) viện dẫn tiêu chuẩn này; c) nhận biết rõ ràng vị trí địa lý phòng vùng (bao gồm vùng liền kề cần) định cụ thể tọa độ điểm lấy mẫu d) tiêu chí định cụ thể phòng vùng sạch, gồm phân loại theo ISO, trạng thái kích thước hạt xem xét; e) chi tiết phương pháp thử sử dụng, với điều kiện riêng liên quan đến phép thử khởi đầu phương pháp thử, nhận dạng thiết bị thử chứng hiệu chuẩn hành; f) kết thử nghiệm gồm liệu nồng độ hạt tọa độ điểm lấy mẫu CHÚ THÍCH: Nếu định lượng nồng độ hạt siêu mịn hạt thô, mô tả Phụ lục E, thơng tin thích hợp phải nêu báo cáo thử nghiệm Phụ lục A (tham khảo) Minh họa đồ thị cấp Bảng Hình A.1 mơ tả cấp độ khơng khí Bảng dạng đồ thị, nhằm mục đích minh họa Các cấp ISO Bảng đường miêu tả giới hạn nồng độ cấp hạt kích thước hạt ngưỡng xem xét Chúng dựa việc tính tốn có sử dụng phương trình (1) 3.2 Vì đường xấp xỉ giới hạn cấp độ, nên chúng không sử dụng để xác định giới hạn Việc xác định xác thực theo phương trình (1) Các đường phân loại đồ thị khơng ngoại suy vượt q chấm đen giới hạn kích thước lớn nhỏ chấp nhận đới với cấp ISO dẫn Các đường phân loại không mô tả độ phân bố kích thước thực tế hạt tìm thấy phòng vùng Kích thước hat, D, tính µm Hình A.1 - Mơ ta đồ thị giới hạn nồng độ cấp hạt với cấp hạt chọn CHÚ THÍCH Cn mơ tả nồng độ cho phép lớn hạt khơng khí (tính hạt mét khối khơng khí) lớn kích thước hạt xem xét CHÚ THÍCH N mơ tả cấp ISO quy định Phụ lục B (quy định) Sử dụng thiết bị tán xạ ánh sáng đếm hạt rời rạc để xác định phân loại độ hạt B.1 Nguyên lý Sử dụng thiết bị tán xạ ánh sáng, đếm hạt rời rạc sử dụng để xác định nồng độ hạt khơng khí, có kích thước lớn kích thước quy định, vị trí lấy mẫu định B.2 Yêu cầu thiết bị B.2.1 Thiết bị đếm hạt Thiết bị đếm hạt rời rạc (DPC) thiết bị tán xạ ánh sáng có phương tiện hiển thị ghi nhớ số lượng đếm kích thước hạt rời rạc khơng khí, có khả phân biệt tách lọc kích thước để phát nồng độ tổng thể hạt dải kích thước thích hợp với cấp xem xét, hệ thống lấy mẫu phù hợp B.2.2 Hiệu chuẩn thiết bị Thiết bị phải có chứng hiệu chuẩn hiệu lực, tần suất phương pháp hiệu chuẩn phải vào thực tiễn chấp nhận hành B.3 Điều kiện trước thử B.3.1 Chuẩn bị thử Trước thử, phải kiểm tra xem tất khía cạnh phòng vùng liên quan tới tồn quy trình vận hành có hồn thiện chức có phù hợp với u cầu kỹ thuật tính hay khơng Ví dụ, việc kiểm tra trước bao gồm: a) phép thử dung tích tốc độ luồng khơng khí; b) phép thử độ chênh áp khơng khí; c) phép thử để ngăn chặn rò rỉ; d) phép thử độ rò rỉ lọc lắp đặt B.3.2 Cài đặt thiết bị trước thử Thực cài đặt thiết bị hiệu chuẩn thiết bị trước thử phù hợp với hướng dẫn nhà sản xuất B.4 Lấy mẫu B.4.1 Xác lập vị trí lấy mẫu B.4.1.1 Xuất phát từ số lượng nhỏ vị trí điểm lấy mẫu theo phương trình (B.1) NL A (B.1) đó: NL số lượng tối thiểu vị trí lấy mẫu (làm tròn thành số ngun) A diện tích phòng vùng sạch, tính mét vng CHÚ THÍCH: Trong trường hợp dòng khơng khí đơn hướng nằm ngang, diện tích A tính diện cắt ngang dòng khí thổi vng góc với hướng thổi dòng khí B.4.1.2 Bảo đảm vị trí lấy mẫu phân bố tồn diện tích phòng vùng bố trí cao điểm vùng hoạt động Nếu khách hàng quy định vị trí lấy mẫu bổ sung số lượng vị trí chúng phải quy định CHÚ THÍCH: Các vị trí bổ sung tới hạn xem xét dựa sở phân tích rủi ro B.4.2 Xác định thể tích mẫu đơn vị trí B.4.2.1 Tại vị trí lấy mẫu, phải lấy đủ dung tích mẫu khơng khí phát tối thiểu 20 hạt nồng độ hạt kích thước hạt lớn giới hạn cấp hạt nêu cấp ISO định Dung tích mẫu đơn Vs vị trí xác định theo phương trình (B.2): Vs 20 1000 Cn,m (B.2) đó: Vs dung tích mẫu đơn tối thiểu vị trí, tính lít (ngoại lệ xem B.4.2.2); Cn,m giới hạn loại (số hạt mét khối) kích thước hạt lớn xem xét quy định cho cấp liên quan; 20 số hạt xác định đếm nồng độ hạt nằm giới hạn cấp CHÚ THÍCH: Vs lớn, thời gian lấy mẫu tăng lên Bằng cách sử dụng quy trình lấy mẫu liên tục (xem Phụ lục F) giảm dung tích mẫu yêu cầu thời gian yêu cầu để thu nhận mẫu B.4.2.2 Dung tích lấy mẫu vị trí phải L, với thời gian lấy mẫu tối thiểu vị trí B.4.3 Quy trình lấy mẫu B.4.3.1 Đặt thiết bị đếm hạt (B.2.1) hướng dẫn sử dụng nhà sản xuất hướng dẫn chứng hiệu chuẩn B.4.3.2 Dụng cụ lấy mẫu đặt theo hướng dòng khí Nếu hướng dòng khí lấy mẫu khơng kiểm sốt dự đốn (ví dụ dòng khơng khí khơng đẳng hướng), đầu vào đầu dò lấy mẫu hướng theo hướng thẳng đứng lên B.4.3.3 Lấy mẫu thể tích khí theo B.4.2, mức nhỏ nhất, vị trí lấy mẫu B.4.3.4 Khi có vị trí lấy mẫu yêu cầu (B.4.1), lấy mẫu thể tích (B.4.2) mức nhỏ vị trí B.5 Ghi kết B.5.1 Nồng độ hạt trung bình điểm lấy mẫu B.5.1.1 Ghi kết phép đo mẫu nồng độ kích thước hạt xem xét (3.3) thích hợp với phân loại liên quan độ khơng khí CHÚ THÍCH: Phải xem xét yêu cầu nêu B.6.1 trước tiếp tục tính tốn giới hạn độ tin cậy 95% B.5.1.2 Khi sử dụng vị trí lấy mẫu, tính tốn ghi lại liệu mẫu (B.4.3.4) kích thước hạt xem xét B.5.1.3 Khi lấy hai nhiều thể tích mẫu đơn vị trí tính giá trị nồng độ hạt trung bình cho kích thước hạt xem xét từ nồng độ hạt mẫu riêng rẽ (B.5.1.1) theo quy trình nêu C.2 ghi lại kết B.5.2 u cầu tính tốn giới hạn độ tin cậy 95% (UCL) B.5.2.1 Khi số lượng vị trí lấy mẫu nhiều nhỏ mười, tính trung bình tồn giá trị trung bình, độ lệch chuẩn giới hạn độ tin cậy 95% từ nồng độ hạt trung bình tất vị trí (B.5.1) theo quy trình mô tả C.3 B.5.2.2 Khi lấy mẫu vị trí, lấy mẫu nhiều chín vị trí, khơng có khả áp dụng việc tính toán giới hạn tin cậy 95% B.6 Biểu thị kết B.6.1 Yêu cầu phân loại Phòng vùng coi đáp ứng phân loại độ khơng khí quy định trung bình nồng độ hạt đo vị trí và, áp dụng, giới hạn độ tin cậy 95% tính tốn theo B.5.2 khơng vượt q nồng độ giới hạn xác định phù hợp với chương trình (1) 3.2 Nếu kết thử nghiệm không đáp ứng phân loại độ khơng khí quy định, thực thử nghiệm bổ sung, với vị trí lấy mẫu phân bố đồng Kết phép tính lại, bao gồm liệu vị trí thêm, cuối B.6.2 Xử lý phần tách Kết tính tốn 95% UCL khơng đáp ứng cấp ISO quy định Nếu không phù hợp gây giá trị "bên ngồi" đơn lẻ, khơng ngẫu nhiên, kết phép đo sai (do lỗi quy trình sai chức thiết bị) từ nồng độ hạt thấp bất thường (do khơng khí khác thường) phần bên ngồi loại trừ khỏi tính tốn, với điều kiện là: a) việc tính tốn phải lặp lại, bao gồm tất vị trí lấy mẫu lại; b) có ba giá trị đo lại tính tốn; c) có khơng q giá trị đo bị loại khỏi tính tốn; d) ngun nhân nghi ngờ sai số đo nồng độ thấp phải khách hàng nhà cung cấp chấp thuận lập thành văn CHÚ THÍCH: Các giá trị sai lệch nồng độ hạt số vị trí lấy mẫu ngun nhân chủ quan phụ thuộc vào trạng thái tự nhiên việc áp dụng lắp đặt thử Phụ lục C (quy định) Xử lý liệu nồng độ hạt thống kê C.1 Giải thích Những phân tích thống kê xem xét sai số ngẫu nhiên (thiếu độ xác) khơng có sai số có đặc tính khơng ngẫu nhiên (ví dụ sai lệch có liên quan với hiệu chuẩn khơng có sai số) C.2 Thuật tốn để tính nồng độ hạt trung bình vị trí ( x i ) Khi mẫu lấy nhiều lần địa điểm, phải sử dụng phương trình (C.1) để xác định nồng độ hạt trung bình địa điểm Việc tính tốn nồng độ hạt trung bình phải thực vị trí lấy mẫu lấy hai nhiều mẫu xi x i,1 x i,2 xi,n n (C.1) đó: x i nồng độ hạt trung bình vị trí i, đại diện cho vị trí xi,1 đến xi,n nồng độ hạt mẫu thử n số mẫu lấy vị trí i C.3 Thuật tốn để tính giới hạn riêng 95% C.3.1 Nguyên lý Quy trình áp dụng số vị trí lấy mẫu lớn nhỏ mười Trong tình vậy, quy trình phải sử dụng để bổ sung vào thuật toán phương trình (C.1) C.3.2 Giá trị trung bình tổng thể, x Sử dụng phương trình (C.2) xác định giá trị trung bình tổng thể x x i,1 x i,2 x i,m m x giá trị trung bình tổng thể giá trị trung bình vị trí lấy mẫu; (C.2) x i,1 đến xi,m giá trị trung bình riêng lẻ, xác định từ phương trình (C.1); m số mẫu trung bình vị trí riêng lẻ lấy vị trí i Tất giá trị trung bình vị trí riêng lẻ có ảnh hưởng ngang nhau, không quan tâm tới số lượng mẫu lấy vị trí C.3.3 Độ lệch chuẩn giá trị trung bình vị trí Sử dụng phương trình (C.3) xác định độ lệch chuẩn giá trị trung bình vị trí s x i,1 x x i,2 x m x i,m x (C.3) s độ lệch chuẩn giá trị trung bình vị trí C.3.4 Giới hạn độ tin cậy 95% (UCL) giá trị trung bình tổng thể Sử dụng phương trình (C.4) xác định giới hạn độ tin cậy 95% với giá trị trung bình tổng thể: 95%UCL = x t 0,95 s (C.4) m t0,95 hệ số 95% (định lượng) phân bố student t với bậc tự (m-1) Giá trị phân bố student t (t0,95) 95% UCL nêu Bảng C.1 Một lựa chọn khác, phân bố student t cung cấp qua chương trình thống kê máy tính chấp nhận Bảng C.1 - Phân bố student t với giới hạn riêng 95% Số lượng giá trị trung bình riêng lẻ (m) 7-9 t 6,3 2,9 2,4 2,1 2,0 1,9 Phụ lục D (tham khảo) Các ví dụ thực hành để tính tốn phân loại D.1 Ví dụ D.1.1 Phòng xem xét có diện tích (A) 80m Sự phù hợp với phân loại độ hạt khơng khí xác định trạng thái vận hành Phân loại độ khơng khí quy định phòng cấp D.1.2 Hai kích thước hạt xem xét quy định 0,3 μm (D 1) 0,5 μm (D2) a) Cả hai kích thước hạt phạm vi giới hạn kích thước cấp ([xem 3.3c) Bảng 1]: 0,1 μm ≤ 0,3 μm, 0,5 μ ≤ μm b) Áp dụng yêu cầu tỷ lệ kích thước hạt, D2 ≥ 1,5 x D1 [xem 3.3c)], phù hợp: 0,5 μm ≥ (1,5 x 0,3 μm = 0,45 μm) D.1.3 Nồng độ hạt khơng khí lớn cho phép tính tốn theo phương trình (1) (xem 3.2) Đối với hạt ≥ 0,3 μm (D1): 0,1 0,3 Cn 2,08 10 10176 (D.1) 10 3517 (D.2) Làm tròn đến 10 200 hạt/m3 Đối với hạt ≥ 0,5 μm (D2): 0,1 0,5 Cn 2,08 Làm tròn đến 3520 hạt/m3 D.1.4 Số vị trí lấy mẫu đưa phù hợp với phương trình (B.1) (xem B.4.1.1): NL = A 8,94 (làm tròn đến 9) 80 (D.3) Bởi số lượng tối thiểu vị trí lấy mẫu chín, số lượng vị trí lấy mẫu nhỏ mười, nên áp dụng tính tốn 95% UCL theo Phụ lục C D.1.5 Thể tích mẫu đơn, Vs, tính lít theo phương trình (B.2) (xem B.4.2.1): Vs = 20 1000 Cn,m 20 1000 3517 5,69 L (D.3) kết lớn L, thể tích mẫu lựa chọn 28 L thời gian (tốc độ dòng thường có sẵn thiết bị tán xạ ánh sáng đếm hạt rời rạc) Sự lựa chọn dựa sở: a) Vs > L (xem B.4.2.2) b) Cn,m > 20 hạt/m3 (xem B.4.2.1) c) Thời gian lấy mẫu ≥ (xem B.4.2.2) D.1.6 Tại vị trí lấy mẫu, lấy thể tích mẫu đơn 28 L (B.4.2.1) Các số đếm thu từ phép đo ghi lại (B.5.1.1) Vị trí lấy mẫu Số hạt (≥ 0,3 μm) Số hạt (≥ 0,5 μm) 245 21 185 24 59 106 164 22 196 25 226 23 224 37 195 19 D.1.7 Từ liệu ban đầu (D.1.6), tính số hạt mét khối, x i: Vị trí lấy mẫu xi ≥ 0,3 μm xi ≥ 0,5 μm 750 750 607 857 107 786 250 5 857 786 000 893 071 821 8 000 321 964 679 Mỗi giá trị nồng độ tính tốn 0,3 μm 0,5 μm nhỏ giới hạn xác lập D.1.3 Điều thỏa mãn phận thứ việc phân loại (B.6.1) việc tính tốn 95% UCL theo Phụ lục C bắt đầu D.1.8 Khơng áp dụng việc tính tốn máy tính nồng độ trung bình theo phương trình (C.1) (xem C.2), thể tích mẫu lấy mẫu đơn đại diện cho nồng độ hạt trung bình vị trí Giá trị trung bình tổng thể tính tốn theo phương trình (C.2) (xem C.3.2) Đối với hạt ≥ 0,3 μm: x 8750 6607 2107 3786 5857 7000 8071 8000 6964 57142 (D.5) = 349,1 làm tròn đến 349 hạt/m3 Đối với hạt ≥ 0,5 μm: x 750 857 250 786 893 821 1321 679 6357 (D.6) = 706,3 làm tròn đến 706 hạt/m3 D.1.9 Độ lệch chuẩn trung bình vị trí tính tốn theo phương trình (C.3) (xem C.3.3) Đối với hạt ≥ 0,3 μm: 8750 6349 s2 6607 6349 2107 6349 3786 6349 5857 6349 7000 63489 8701 6349 8000 6349 6964 6349 2 37130073 (D.7) = 641 259,1 làm tròn đến 641 259 s= 641 259 = 154,4 làm tròn đến 154 hạt/m3 (D.8) Đối với hạt ≥ 0,5 μm: 750 706 s2 706 857 706 2 250 706 786 706 893 706 821 706 1321 706 679 706 2 1164657 (D.9) = 145 582,1 làm tròn đến 145 582 s= (D.10) 145 582 = 381,6 làm tròn đến 382 hạt/m3 D.1.10 Giới hạn riêng 95% (UCL) tính tốn theo phương trình (C.4) (xem C.3.4) Vì số giá trị trung bình riêng lẻ m = 9, phân bố t lấy từ Bảng C.1 t = 1,9 95%UCL(≥0,3 μm) = 6349 + 1,9 2154 (D.11) = 713,2 làm tròn đến 713 hạt/m3 95%UCL(≥0,5 μm) = 706 + 1,9 382 (D.12) = 947,9 làm tròn đến 948 hạt/m3 D.1.11 Trình bày kết tiến hành theo B.6.1 Trong D.1.7 nồng độ hạt thể tích mẫu đơn nhỏ giới hạn cấp quy định Trong D.1.10 giá trị tính tốn 95% UCL nhỏ giá trị xác lập D.1.3 Do độ hạt khơng khí phòng đáp ứng phân loại yêu cầu D.2 Ví dụ D.2.1 Ví dụ đưa để ảnh hưởng việc tính tốn 95% UCL đến kết Phòng quy định có độ hạt cấp trạng thái vận hành Số vị trí mẫu xác định năm Vì số vị trí lấy mẫu nhiều nhỏ mười, áp dụng việc tính tốn 95% UCL theo Phụ lục C Chỉ xem xét kích thước hạt (D ≥ 0,1 μm) D.2.2 Giới hạn nồng độ hạt ISO cấp ≥ 0,1 μm lấy từ Bảng 1: Cn (≥ 0,1 μm) = 000 hạt/m3 D.2.3 Tại vị trí lấy mẫu, lấy thể tích mẫu đơn (B.5.1.1) Số hạt mét khối, x i, tính tốn cho vị trí ghi lại đây: Vị trí lấy mẫu xi ≥ 0,1 μm 926 958 937 963 214 Mỗi giá trị nồng độ có D = 0,1 μm nhỏ giá trị xác lập D.2.2 Kết thỏa mãn phận thứ việc phân loại (B.6.1) việc tính tốn 95% UCL theo Phụ lục C thực D.2.4 Giá trị trung bình tổng thể tính tốn theo phương trình (C.2) (xem C.3.2): x 926 958 937 963 214 3998 (D.13) = 799,6 làm tròn đến 800 hạt/m3 D.2.5 Độ lệch chuẩn trung bình vị trí tính tốn theo phương trình (C.3) (xem C.3.3): 926 800 s2 958 800 937 800 214 800 2 963 800 429574 (D.14) = 107 393,5 làm tròn đến 107 394 s= (D.15) 107394 = 327,7 làm tròn đến 328 hạt/m3 D.2.6 Giới hạn riêng 95% (UCL) tính tốn theo phương trình (C.4) (xem C.3.4) Vì số giá trị trung bình riêng lẻ m = 5, phân bố t lấy từ Bảng C.1 t = 2,1 95%UCL = 800 + 2,1 328 1108 hạt/m3 (D.16) D.2.7 Nồng độ hạt tất thể tích mẫu đơn nhỏ giới hạn phân loại quy định (D.2.2) Tính tốn giá trị riêng 95% rằng, nhiên, độ hạt khơng khí phòng khơng đáp ứng với phân loại quy định Ví dụ lập chứng tỏ ảnh hưởng nồng độ hạt nằm khoảng (tức vị trí 5) đến kết thử 95% UCL Vì có khơng thống kết phân loại độ khơng khí từ ứng dụng 95% UCL, gây nồng độ hạt thấp, nên theo quy trình mơ tả B.6.2 để xác định liệu loại bỏ không thống không Phụ lục E (tham khảo) Xem xét việc đếm kích thước hạt ngồi khoảng cỡ hạt áp dụng cho việc phân loại Ε.1 Nguyên lý Trong số tình huống, điển hình tình liên quan đến yêu cầu q trình riêng, mức lựa chọn độ khơng khí quy định sở quần thể hạt khơng nằm dải kích thước áp dụng để phân loại Nồng độ cho phép tối đa hạt việc chọn phương pháp thử để kiểm tra phù hợp vấn đề để thỏa thuận khách hàng nhà cung cấp Xem xét phương pháp thử khn khổ mơ tả đặc tính kỹ thuật nêu E.2 (đối với ký hiệu U) E.3 (đối với ký hiệu M) Ε.2 Xem xét hạt nhỏ 0,1 μm (hạt siêu mịn) - ký hiệu U Ε.2.1 Ứng dụng Nếu rủi ro nhiễm bẩn gây hạt nhỏ 0,1 μm đánh giá, phải sử dụng trang thiết bị lấy mẫu quy trình đo phù hợp với đặc điểm riêng hạt Số lượng vị trí lấy mẫu phải xác lập phù hợp với B.4.1 thể tích tối thiểu mẫu V s phải L (B.4.2.2) Ε.2.2 Khuôn khổ ký hiệu U Nồng độ hạt cực mịn ký hiệu U sử dụng riêng bổ sung vào cấp độ hạt khơng khí Ký hiệu U biểu thị khn khổ "U(x; y)", đó: x nồng độ cho phép lớn hạt siêu mịn (tính số hạt siêu mịn mét khối khơng khí); y kích thước tính micromet áp dụng máy đếm hạt rời rạc đếm hạt với hiệu suất đếm 50% VÍ DỤ: Để biểu thị nồng độ hạt cực mịn cực đại cho phép 140 000 hạt/m dải kích thước ≥ 0,1 μm, ký hiệu "U(140 000; 0,1 μm)" CHÚ THÍCH Phương pháp thử phù hợp nồng độ hạt khơng khí nhỏ 0,1 μm nêu IEST - G - CC1002 [1] CHÚ THÍCH Nếu sử dụng định ký hiệu U bổ sung cho cấp độ hạt khơng khí, nồng độ hạt cực mịn (x) phải không nhỏ giới hạn nồng độ hạt (hạt mét khối) áp dụng cho kích thước xem xét 0,1 μm ISO cấp quy định Ε.3 Xem xét hạt lớn μm (hạt thô) - Ký hiệu M Ε.3.1 Ứng dụng Nếu rủi ro nhiễm bẩn gây hạt lớn μm đánh giá, phải sử dụng trang thiết bị lấy mẫu quy trình đo phù hợp với đặc điểm riêng hạt Do việc giải phóng hạt phạm vi môi trường xử lý thường chi phối phần hạt thơ quần thể hạt khơng khí, việc nhận biết dụng cụ lấy mẫu quy trình đo lường phù hợp phải nhằm vào sở ứng dụng riêng Những yếu tố tỷ trọng, hình dạng, thể tích phản ứng khí động học hạt phải đưa vào tính tốn Nếu cần thiết nhấn mạnh đặc biệt vào thành phần riêng quần thể chung khơng khí, ví dụ hạt dạng sợi Ε.3.2 Khuôn khổ ký hiệu M Ký hiệu M quy định độc lập bổ sung vào cấp độ hạt khơng khí Ký hiệu M biểu thị khn khổ "M (a;b);c", a nồng độ cho phép lớn hạt thơ (tính số hạt thơ mét khối khơng khí); b đường kính tương đương (hoặc đường kính) liên quan với phương pháp quy định để đo hạt thơ (tính micromet); c phương pháp đo quy định CHÚ THÍCH Nếu quần thể hạt khơng khí lấy mẫu có chứa hạt dạng sợi, chúng tính để bổ sung vào ký hiệu M với ký hiệu riêng hạt dạng sợi, có khn khơ "Msợi(a,b);c VÍ DỤ Để biểu thị nồng độ hạt khơng khí 10 000 hạt/m dải kích thước > μm, sở sử dụng máy đếm hạt có bình phun thời gian bay để xác định đường kính khí động lực hạt, ký hiệu "M(10 000; >5u.m); máy đếm hạt có bình phun thời gian bay" VÍ DỤ Để biểu thị nồng độ hạt khơng khí 000 hạt/m dải kích thước từ 10 đến 20 μm, sở sử dụng máy chạm đo kích thước đếm hạt kính hiển vi, ký hiệu "M(10 000; 10 μm đến 20 μm); máy chạm đo kích thước đếm hạt kính hiển vi" CHÚ THÍCH Phương pháp thử phù hợp nồng độ hạt khơng khí lớn μm nêu IEST-G-CC1003 [1] CHÚ THÍCH Nếu sử dụng ký hiệu M bổ sung cho cấp độ hạt khơng khí, nồng độ hạt thô (a) không lớn giới hạn nồng độ hạt (hạt mét khối) áp dụng cho kích thước xem xét μm cấp ISO quy định Phụ lục F (tham khảo) Quy trình lấy mẫu liên tiếp F.1 Cơ sở giới hạn F.1.1 Cơ sở Nếu khơng khí lấy mẫu bị nhiễm nhiều đáng kể so với giới hạn nồng độ cấp quy định kích thước hạt xem xét, sử dụng quy trình lấy mẫu liên tục giảm thiểu đột ngột thể tích mẫu, thời gian lấy mẫu Có thể phải thực số bù đắp nồng độ gần sát với giới hạn quy định Lấy mẫu liên tục thích hợp độ khơng khí có lượng cấp CHÚ THÍCH: Thơng tin lấy mẫu liên tục xem IEST-G-CC1004 [3] F.1.2 Các giới hạn Những giới hạn lấy mẫu liên tiếp là: a) Quy trình áp dụng để lấy mẫu nhằm vào tổng số 20 hạt phép đo, hạt có kích thước xem xét cấp giới hạn nồng độ quy định b) Mỗi phép đo mẫu yêu cầu kiểm tra bổ sung phân tích liệu đáp ứng thơng qua máy tính tự động c) Nồng độ hạt khơng xác định độ xác với quy trình lấy mẫu thơng thường thể tích mẫu bị giảm F.2 Cơ sở cho quy trình Quy trình dựa sở so sánh giá trị đếm hạt lũy tiến thời gian thực tế với giá trị đếm chuẩn Giá trị chuẩn lấy từ phương trình ranh giới giới hạn dưới: Giới hạn trên: C = 3,96 + 1,03 E (F.1) Giới hạn dưới: C = - 3,96 + 1,03 E (F.2) đó: C tổng số đếm quan trắc được; E tổng số đếm mong đợi Để tiện so sánh, chuẩn hữu ích cung cấp dạng đồ thị, Hình F.1 dạng bảng Bảng F.1 Cũng sử dụng khn khổ khác Vì khơng khí lấy mẫu vị trí ấn định, tổng số đếm hạt liên tục so sánh với giới hạn số đếm chuẩn hàm số tỷ lệ với tổng thể tích mẫu lấy Nếu tổng số đếm hạt nhỏ giới hạn chuẩn tương ứng thể tích mẫu lấy, khơng khí lấy mẫu đáp ứng với cấp giới hạn nồng độ quy định, việc lấy mẫu kết thúc Hình F.1 - Các đường ranh giới hay sai quy trình lấy mẫu liên tiếp Bảng F.1 - Các giới hạn thời gian số đếm quan trắc đạt tới SAI NẾU TỔNG SỐ ĐẾM, C, ĐẾN SỚM HƠN MONG ĐỢI ĐÚNG NẾU TỔNG SỐ ĐẾM, E, ĐẾN MUỘN HƠN MONG ĐỢI Thời điểm t Tổng số đếm quan sát Thời điểm t Tổng số đếm quan sát 0,001 0,192 0,050 5 0,240 0,099 0,289 0,147 0,337 0,196 0,386 4 0,244 0,434 0,293 10 0,483 0,341 11 0,532 0,390 12 0,580 0,438 13 0,629 0,487 14 0,667 10 0,535 15 0,726 11 0,584 16 0,774 12 0,633 17 0,823 13 0,681 18 0,871 14 0,730 19 0,920 15 0,778 20 0,968 16 1,000 21 1,000 17 CHÚ THÍCH Thời gian nêu phần thời gian tổng (t = 1,000 giới hạn cấp) Nếu tổng số đếm hạt vượt giới hạn chuẩn tương ứng với thể tích mẫu lấy, khơng khí lấy mẫu khơng đáp ứng với cấp giới hạn nồng độ quy định, việc lấy mẫu kết thúc Với điều kiện tổng số đếm giữ nguyên giới hạn dưới, việc lấy mẫu tiếp tục mẫu tích lũy đầy đủ Trong đồ thị, Hình F.1, số tổng số đếm quan sát được, C, vẽ E, số tổng số đếm mong đợi khơng khí lấy mẫu tốc độ thực 20 tổng số đếm thời gian tiến hành đo mẫu đơn đầy đủ khơng khí nồng độ giới hạn quy định cỡ hạt xem xét Bảng F.1 cung cấp phương pháp tương đương, thời gian tổng số đếm quan sát được, C, so sánh với phần nhỏ thời gian yêu cầu để đo mẫu đơn đầy đủ, bảng Nếu tổng số đếm xuất sớm so với tổng số đếm mong đợi từ bảng, khơng khí lấy mẫu không đáp ứng giới hạn quy định Nếu tổng số đếm xuất muộn mong đợi, khơng khí lấy mẫu đáp ứng giới hạn mô tả Tại hầu hết 21 so sánh thời điểm hạt với thời gian giới hạn bảng đáp ứng F.3 Quy trình lấy mẫu F.3.1 Chuẩn lấy mẫu liên tục Hai kỹ thuật so sánh tùy chọn cung cấp để xét đoán kết liệu thu thập Các phân tích lũy tiến máy tính liệu có ích giới thiệu F.3.2 So sánh lấy mẫu đồ thị Hình F.1 minh họa đường ranh giới xác lập theo phương trình (F.1) (F.2), bị cụt giới hạn E = 20, thể thời gian yêu cầu để thu gom mẫu đầy đủ, C = 20, tổng số đếm quan sát tối đa phép Tổng số đếm quan sát vẽ đồ thị tổng số đếm mong đợi khơng khí có nồng độ hạt xác mức cấp quy định Qua thời gian tương ứng với tăng số lượng tổng số đếm mong đợi, với E = 20 tương ứng với thời gian yêu cầu để tích lũy thể tích mẫu đầy đủ nồng độ hạt giới hạn cấp Quy trình lấy mẫu liên tục sử dụng Hình F.1 sau: Việc lấy mẫu bắt đầu, ghi lại số hạt đếm hàm thời gian, so sánh tổng số đếm với đường giới hạn Hình F.1 Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát xuyên qua đường việc lấy mẫu vị trí bị ngừng lại khơng khí báo khơng phù hợp với giới hạn cấp quy định Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát xuyên qua đường dưới, việc lấy mẫu bị ngừng lại không khí với giới hạn cấp quy định Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát lưu lại đường đường dưới, việc lấy mẫu tiếp tục Nếu tổng số đếm 20 nhỏ điểm cuối chu kỳ lấy mẫu khơng xun qua đường phía phán đốn khơng khí phù hợp với giới hạn cấp F.3.3 So sánh lấy mẫu bảng Bảng F.1 cung cấp phương pháp tương đương để sử sụng cho việc lấy mẫu liên tiếp, dựa phương trình (F.1) (F.2) Thời gian, t, bảng ấn định giá trị "1 000 0" để đại diện cho khoảng thời gian hồn tất mẫu đơn Thể tích mẫu thể tích cần cung cấp 20 hạt, khơng khí chứa nồng độ tương đương giới hạn cấp hạt có kích thước xem xét Giá trị thời gian liệt kê bảng phần nhỏ tổng thời gian u cầu để tích lũy hồn tồn mẫu đơn Q trình lấy mẫu liên tiếp sử dụng Bảng F.1 sau: Việc lấy mẫu bắt đầu, ghi lại số lượng hạt đếm hàm thời gian, so sánh thời gian tổng số đếm quan sát với thời gian hai cột bảng Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát xuất sớm mong đợi, thị so sánh với cột phía trái, việc lấy mẫu bị ngưng lại khơng khí báo cáo không phù hợp với giới hạn cấp quy định Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát xuất muộn mong đợi, thị so sánh cột phía phải, việc lấy mẫu bị ngưng lại khơng khí báo cáo phù hợp với giới hạn cấp quy định Nếu tổng số đếm lũy tích quan sát tiếp tục lưu lại thời gian hai cột, việc lấy mẫu tiếp diễn Nếu việc đếm tiếp diễn suốt 21 so sánh với cột phía trái khơng tới sớm thời gian mong đợi nó, khơng khí giới hạn quy định mẫu đơn đầy đủ THƯ MỤC TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] IEST-G-CC1002 Determination of the concentration of airbon ultrafine particle (Xác định nồng độ hạt cực mịn khơng khí) Mount prospect Illinois: Institute of environmental sciences and technology (1999) [2] IEST-G-CC1003 Measurement of airbon macroaticles (Đo hạt thô khơng khí) Mount prospect Illiois: Institute of environment sciences and technology (1999) [3] IEST-G-CC1004 Sequential sampling plan for use in classification of the particle cleanliness of air in cleanroom and clean size (Kế hoạch lấy mẫu để sử dụng phân loại độ hạt khơng khí phòng vùng sạch) Mount prospect Illiois: Institute of environmental sciences and technology (1999) MỤC LỤC Lời giới thiệu Phạm vụ áp dụng Thuật ngữ định nghĩa Phân loại Chứng minh phù hợp Phụ lục A (tham khảo) - Minh họa đồ thị cấp Bảng Phụ lục B (quy định) - Sử dụng thiết bị tán xạ ánh sáng đếm hạt rời rạc để xác định phận loại độ hạt Phụ lục C (quy định) - Xử lý liệu nồng độ hạt thống kê Phụ lục D (tham khảo) - Các ví dụ thực hành để tính tốn phân loại Phụ lục E (tham khảo) - Xem xét việc đếm kích thước hạt ngồi khoảng cỡ hạt áp dụng cho việc phân loại Phụ lục F (tham khảo) - Quy trình lấy mẫu liên tiếp Thư mực tài liệu tham khảo ... 2: Phân loại phù hợp với tiêu chuẩn giới hạn từ Cấp mở rộng suốt đến Cấp CHÚ THICH 3: Kích thước hạt xem xét (thấp giá trị ngưỡng) áp dụng để phân loại phù hợp với tiêu chuẩn giới hạn từ 0,1 μm... nằm ngồi dải phân loại CHÚ THÍCH 4: Các số phân cấp trung gian quy định, với giá trị gia tăng nhỏ cho phép 0,1, tức dải cấp ISO trung gian mở rộng từ Cấp 1,1 đến Cấp 8,9 CHÚ THÍCH 5: Việc phân... viện dẫn tiêu chuẩn này; c) nhận biết rõ ràng vị trí địa lý phòng vùng (bao gồm vùng liền kề cần) định cụ thể tọa độ điểm lấy mẫu d) tiêu chí định cụ thể phòng vùng sạch, gồm phân loại theo ISO,