Kết cấu và nguyên lý máy SEM

Kết cấu và nguyên lý hoạt động máy SEM, phân tích thành phần cấu tạo , sự kết dính , liên kết , các vật chất dạng vì mô cơ học . Thông qua kết quả ,đánh giá quá trình sản xuất kịp thời tổng kết ,đánh giá rút kinh nghiệm để qui trình sản xuất được cải thiện tốt hơn .

KẾT CẤU VÀ NGUYÊN LÝ MÁY SEM

- 原原原

www.klb.com.tw

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 1 傳傳傳傳傳傳

1.1 Kính hiển vi quang học truyền thống (OM 傳 Optical Microscope) giới hạn phân

Tỷ lệ phân biệt còn được gọi là năng lục phân biệt , là chì lên hệ thống máy thành hình hoặc là yếu tố hệ thống có thể có sự khác,biệt có năng lực phân ra 2 vật thể có

cư ly nhỏ nhất khác nhau Thông thường sử dụng hệ thống máy thành hình đối với

2 vật nhỏ có thể chở thành mục tiêu ở gốc độ có thể phòng to ra , có thể gọi là tỷ lệ gốc độ phân biệt hoặc gọi là bản lĩnh phân biệt , nó phân thành thiết bị thành hình tỷ

lệ phân thành và máy phổ quang có tỷ lệ phân biệt 2 loại

Bởi vì mặt kiếng (mắt đọc) đối với hạn chế tia sáng mà sản sinh hiệu ứng nhiễu xạ , khiến cho điểm trên vật phát nhiễu ra quang ba trên bề mặt kính hiển vi không phải hình thành điểm hình , đó là điểm trung tâm để mở rộng cường độ chuyển giao giảm bớt đồng quang,và những vệt sáng khác đó là furlong và phí nhiễu xạ có những lớp đôm đốm , được gọi là airy dis

H1- Nhiễu xạ và airy dis

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 2 傳傳傳傳

tượng xấu , thiết bị quang học kính hiển vi cũng ko thể nào thực hiện cách chấm lên những vật điểm để tạo thành hình dạng ,cho nên ,vật trên mặt cự ly cách với vật điểm rất gần , tại trên mặt của hình có thể phân ra 2 vật điểm chồng lên nhiễu xạ với nhau , thậm chí có thể vì 2 điểm sáng đó mức độ chồng lên mà dẫn đến không thể phân biệt

2 vật điểm này , đó cũng là nguyên nhân chủ yếu hạn chế tỷ lệ phân biệt của kính hiển

vi

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Vì để đưa ra tiêu chuẩn thống nhất năng lực phân biệt tỉ mỉ cho các thiết bị quang

của thông số reyieigh , khi trung tâm của một điểm tượng vừa nằm lên một điểm tượng khác viền màu xanh lá (tức là một bậc màu sẫm) , 2 điểm tượng có thể

phân biệt

H2- Phán định reyieigh

D

2 2

θ =

傳傳 λ 傳傳傳傳 D 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

18 傳傳 70 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 · 傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

200 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 200 傳傳傳“傳傳傳傳”傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳

D

2 2

θ =

Dựa theo thông số của reyieigh ,

gốc độ phân biệt nhỏ nhất của kính trong suốt là :

Thiết lập λlà chiều dài ,là đường kính mắt đọc , có thể nhìn thấy , tỷ lệ phân biệt của kính trong suốt là theo đường kính của chiều dài mà có thể tăng lớn hoăc là giảm nhỏ

Thế kỷ 18 thập niên 70,nhà vật lý học nước Đức Ernst , thấy được năng lực ánh sáng tụ tập đường kính nhỏ nhất là quang ba 1 phần 3 của chiều dài

quang ba , và cũng là 200 meter “abelia point”,hơn 1 thế kỷ qua , 200 meter “

từ đó đến nay được cho là lý luận quang học kính hiển vi tỷ lệ phân biệt cực hạn

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1873 Abbe 傳 Helmholfz 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1897 J.J Thmson 傳傳傳傳傳 -Năm 1897- J.J Thmson phát hiện ra điện tử

1924 Louis de Broglie 傳 1929 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1926 Busch 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1931 傳傳傳傳傳傳 Knoll 傳 Ruska 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1937 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Metropolitan Vickers 傳 傳 傳

1.2 - Sự phát triển của kính hiển vi điện tử

Nếu như đó chỉ là đề cao tỷ lệ phóng lớn gấp bội lần một cách đơn giản ,mà không phân biệt tỉ mỉ , một máy kính hiển vi điện tử như vậy sẽ ko có ý nghĩa gì, tức là không phải mắt đọc càng lớn thì càng tốt , cho nên , tìm kiếm một điện sóng có chiều dài ngắn dùng để thay thế quang ba , như vậy mới có thể đề cao tỷ lệ phân biệt đường thẳng của thiết bị

Năm 1873 Abbe và Helmholfz đề cao phân biệt năng lực giải hình và so sáng chiếu quang xạ , định ra lý luận cơ bản của kính hiển vi

-Năm 1897- J.J Thmson phát hiện ra điện tử

Năm 1924 Louis de Broglie (Năm 1929 nhà vật lý học Alfred nobel là người đứng đầu được khen ngợi) đưa ra vật lý đặc tính trong điện tử có sóng điện , tiến thêm 1 bước là cung cấp lý luận cơ bản của kính hiển vi

Năm 1926 Busch tia sáng của điện tử thông qua kiếng thông thường , từ điện từ trường

bị gãy nghiên vể 1 bên

Năm 1931 nhà vật lý học Đức Knoll 傳 Ruska trước tiên là phát minh ra kính hiển vi điện tử dạng trong suốt ,mẫu máy

Năm 1937 Thương Nghiệp đã thành công trong việc sản xuất mẫu máy( Hiệu

Metropolitan Vickers )

傳     傳 傳傳傳 傳傳傳 X 傳傳 α 傳傳 傳傳傳

0.1Kv 10Kv 傳傳傳 nm 傳 390~760 13~390 0.05~13 0.005~1 0.123 0.0122

X 傳傳 Đường tia

α 傳傳 Đường tia

傳傳傳 Điện tử bất buộc

0.1Kv 10Kv

傳傳傳 nm 傳 390~760 13~390 0.05~13 0.005~1 0.123 0.0122

Biểu 1 Không cùng nguồn sáng của chiều dài sóng điện

Năm 1938 Máy kính hiển vi điện tử lần

đầu tiên ra đời do Von Ardenne phát minh thành công

1938-1939 Kính hiển vi dạng trong suốt chính thức lên thị trường( cty weter door , 50KV~100KV ,lực giải hình 20~30A)

1940-1941 cty RCA mỹ đã đẩy ra kính hiển vi điện tử đầu tiên ra thị trường( lục giải hình 50 nm)

1941-1963 Lực giải hình đã được đề cao 2~3A( dạng trong suốt ) và 100A(dạng

scan)

1960 Everhart and Thornley phát minh ra điện tử lần 2 máy thiết bị do thám

1965 bộ máy SEM lần đầu tiên ra đời ( Cambridge)

1966 JEOL tuyên bố bộ máy SEM đầu tiên được sử dụng (JSM-1)

傳 3 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Hình 3 Thiết bị phân biệt không cùng ảnh hiện

Tỷ phân biệt mắt trong

1.3 Các loại kính hiển vi điện tử

☆ Trang bị của mẫu rất đơn giản , không cần cắt thành miếng mỏng

☆ Mẫu có thể ở trong phòng mẫu làm 3 vị trí nồi liền là di dời và xoáy tròn ,có thể quan sát mẫu ở các gốc độ khác nhau

☆ Kính hiển vi có thể xem được ở vị trí xa , mặt phẳng

☆ Mở ra phạm vi rộng lớn , có thể từ gấp mười mấy lần lên tới gấp mấy chục lần

☆ Tia điện tử mức độ khiến cho vật bị chày xước và dơ bẩn được giảm thiểu

☆ Đồng thời khi quan sát diện mạo của mẫu, còn có thể từ trong mẫu tìm kiếm ra những tín hiệu khác trong mẫu làm thành phần phân tích

1.3.2 傳傳傳傳 - Kính điện tử chiếu xuyên qua

傳傳傳傳傳 TEM 傳 Transmission Electorn Microscrope 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 0.1~0.2nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 TEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 (50-100nm) 傳

Kính điện tử chiếu xuyên qua 傳 TEM 傳 Transmission Electorn Microscrope 傳 là tia điện

tử mẫu thông qua tụ tập và phòng lớn tất cả hình vật , có thể bắn qua màn hình dạ quang hoặc là dưới miếng đáy có thể tiến hành quan sát ,Tỷ lệ phân biệt của kính điện tử chiếu tử xuyên qua là 0.1~0.2nm ,bội số phóng lớn tới mấy chục ngàn bội số, do điện tử dễ dàng tán

xạ hoặc bị hấp thụ , tỷ lệ thấp chiếu xuyên qua , vì mẫu TEM cần phải sử máy thái mỏng đặc biệt để cắt thành những miếng cực mỏng (50-100nm) 傳

a SEM 傳 ×750 傳 SEI 傳 b TEM 傳 ×750 傳 c OM(×200)

傳 4 SEM 傳 TEM 傳 OM 傳傳傳傳傳 -hình hiển thị

1.3.3 傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳 SEM 傳 TEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳 FEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 LEED 傳傳傳傳傳傳傳 AES 傳傳傳傳傳傳傳傳 ESCA 傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳 STM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 AFM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳 LFM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SPM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

1.3.3 Những kính điện tử khác

Sự không ngừng tiến bộ và phát triển của các nhà kỹ thuật , kính hiển vi điện tử cũng không ngừng phát triển ,trừ ra máy Sem và máy Tem , còn có những loại hình kính hiển vi điện tử :

kính hiển vi điện tử (FEM), điện tử nhiễu xạ tính năng thấp(LEED) , máy oedipus (AES), Máy quang điện tử (ESCA) ,máy scan kính hiển vi(STM) máy hiển vi

4 loại sau cùng là máy hiển vi có tỷ lệ phân biệt đạt đến mực độ nguyên tử

Giúp ít cho những nhân viên nghiên cứu càng hiểu sâu thêm kết cấu của các

二二二二二二二 SEM 二二二二二二二

-Nguyên lý và kết cấu Máy scan kính điện tử (SEM)

2.1 掃掃掃掃掃掃掃 - Nguyên lý máy scan kính điện tử

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 7 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Khi tính năng tia điện tử cao đập mạnh vào bề mặt mẫu , sẽ kích phát ra 7 loại hạt khác nhau , phân biệt như hình dưới

傳 5 傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 - 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Trong 7 loại hạt này , chủ yếu là điện tử lần 2, Đó là một tia tử điện khi đập vào

mẫu khiến cho tầng ngoài đường ray của điện tử kích động đường ray mà hình

thành, trên bề mặt nẫy sản sinh vài điểm nanometer-mấy chục iểm nanometer

傳 6 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳Hình 6 điện tử lần 2 và có liên

quan đến diện mạo bên ngoài

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳

Khi mẫu bỗng nhiên có những hạt nhỏ hoặc là có góc nhọn , đối với điện tử lần 2 độ hình trong cũng sẽ ảnh hưởng rất lớn, vì ở những bộ phận này , cơ hội rời khỏi bề mặt điện tử sẽ rất lớn, cho nên khi scan dưới kính điện tử không thể thấy được độ trong sáng

傳 7 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Hình 7 điện tử lần 2 tỷ lệ sinh sản và soi và lực lượng điện tử có liên quan

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 5-10nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

Bởi vì điện tử lần 2 chủ yếu sản sinh ra bề ngoài của mẫu 5-10nm trong phạm vi độ sâuCho nên khi có đủ thiết bị điện tử đầy đủ mới

có thể khắc phục bề ngoài chồng lên của nguyên liệu mới có thể khiến cho điện tử lần 2 từ mẫu có thể chiều ra

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳原原原 原原原原原原傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SE 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 BE 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳

Điện tử tán xạ mặt sau là tia tới điện tử sau khi cùng với mẫu gốc Rutherford tán

xạ , lại tiếp tục khiến cho bề ngoài tính điện tử cao của mẫu chạy ra , năng lượng này tiếp cận với năng lượng điện tử tia tới, tỷ lệ sản xuất tán xạ mặt sau khi điện tử

là tùy theo tần số ban đầu của mẫu lớn thì càng lớn

Cho nên tín hiệu điện tử tán xạ mặt sau của cường độ cùng với mẫu thử hóa học có liên quan , khiến và tạo thành các nguyên tố của mẫu thử bình quân tần số ban đầu

có liên quan , Điện tử tán xạ mặt sau thường dùng để quan sát đơn tinh thể sản sinh từng bật Xác định phân tích mẫu không bị mục , Phân bố và tách ra phân tích ,, quan sát hình dẫn điện tính năng kém

Thông thường hay nói máy kính hiển vi điện tử cũng như là máy điện tử lần 2 (SE) hoặc là Điện tử tán xạ mặt sau (BE) , là một tín hiệu rất có tác dụng trong việc

nghiên cứu bề mặt vật thể , kiểm tra điện tử lần 2 hoặc điện tử tán xạ mặt sau là sử dụng 1 thiết bị có tia chớp , khi điện tử đánh lên máy có tia chớp, tia chớp này phát

ra ánh sáng , ánh sáng này thông qua ống dẫn quang chuyển đến quang điện và chuyển đổi thành tín hiệu dòng điện , cuối cùng chuyển đến ống hiển thị,thử tín hiệu điện tử là trên màn hình đã hiển thị hình

2.2 Kết cấu của máy scan điện tử kính

Trong máy Sem có phụ tùng nguyên tố điện tử ,kết cấu tương đối phức tạp ,Nhưng mà có thể lấy những kết cấu chủ yếu định ra thành 5 bộ phận , phân biệt là : Thể thống điện tử quang học , xử lý thu thập tín hiệu và hiển thị hệ thống , hệ thống chân không , hệ thống không chế

2.2.1 Hệ thống điện tử qung học

(1)Súng điện tử

Tác dụng súng điện tử là sản sinh điện tư và gia tăng tôc độ điện tử,Nhiệt lá chì âm của súng điện tử phát xạ điện tử chịu đựng điện áp của lá chì dương(1KV-50KV) tăng tốc độ ,hình thành tia tử điện có hình dạng nhọn,đường kính nhỏ nhất có thể đạt đến 10-50 μm lượng cấp bậc

Súng điện tử có 3 loại hình , FEG 傳 Field Emission Gun 傳 , 傳 LaB6 傳 , 傳 W Filament 傳傳

a FEG b LaB6 c.W Filament

H7 - Kết cấu của súng điện tử

傳 hr)

傳傳傳傳 傳℃傳

傳傳傳傳 (Torr) Chân ko

傳傳傳傳

傳 μA 傳 Dòng điện phát ra

傳傳 Đặc tính

Biểu 2 –So sánh đặc tính không cùng các loại súng

傳 2 傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 2~3 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10-100A 傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳“傳傳”傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳 8 傳傳傳傳傳傳傳

H-8 Nguyên lý của điện từ thấu kính

của dây cuộn scan ,tia tử điện trên bề mặt mẫu tạo ra ánh sáng nhiễu xạ để

scan , dòng điện trong dây cuộn scan sẽ dựa theo quy luật phát sinh ra biến

hóa ,Quy tắc sản sinh biến hóa của từ trường , Dưới tác dụng của tia tử điện

trong từ trường sẽ bị nghiên lệch,lại thông qua điểm tự tập ánh sáng trong

thấu kính là có thể dựa theo tần số và tốc độ trên bề mặt của mẫu tiến

hành scan

2.2.2 Thu thập tín hiệu , hệ thống xử lý và hiển thị

Mẫu khích phát ra tín hiệu điện tử thường thông qua: lấp lánh→ống dẫn quang →ống tăng bội phần điện quang → thiết bị sả lớn

傳 9 傳傳傳傳傳

kết cấu chủ yếu như sau :

H10-Hệ Thống Kết Cấu Chân Không Máy SEM độ chân không là 10 -5 Torr (súng điện tửVonfram) dưới,chỉ sử dụng máy móc bơm hút chân không thì sẽ không đạt đến yêu cầu, cho nên hệ thống chân không của máy SEM bao gồm có bơm máy móc và bơm lan rộng , 2 loại hệ thống hút chân không , trước tiên là lấy máy móc bơm cho đến khi chân không đạt đến khoảng 10- 3 Torr ,sau đó đổi lại là bơm lan rộng cho chân không đạt đến 10- 5 Torr 傳

2.3 傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

2.3 -Xử lý mẫu kính hiển vi

Những mẫu sử dụng kính hiển vi khi gặp được tia tử điện xung kích vào sẽ sản sinh ra rất nhiều tiếng động(, điện tử lần 2, điện tử phóng xạ ),vì yêu cầu bề ngoài của mẫu phải có tính dẫn điện tốt; ngoài ra , khi mẫu đang thử đang trong tuần hoàn chân , vì thành phần nước của mẫu hoặc dung dịch khử nước cần phải ít.mếu không thì nước trong mẫu và dung dịch khử nước ở chân không sẽ bị oxy hóa nghiêm trọng, không những ảnh hưởng đến độ chân không, ô nhiễm đến mẫu , cõn làm hỏng kết cấu ngoại quang của mẫu

Về mặt sấy khô của mẫu, bởi vì cách xử lý thường theo quy tắc và đơn giản , không theo thứ tự

Còn về dẫn điện của của mẫu xử lý theo 3 phương pháp dưới đây :

2.3.1 -Phương pháp kim loại mạ màng

Phương pháp kim loại mạ màng đặc biệt dùng để sử dụng cho những thiết bị tỷ lệ điện trở có kim loại ít ( vàng , platin , pd.v.v.) phương pháp bốc lên và che đậy bễ mặt của mẫu, mẫu sử dụng cho kim loại mạ màng không những phòng tránh hiệu ứng sả sạc điện mà còn giảm thiểu tia tử điện làm hư hỏng mẫu , gia tăng tỷ lệ sản xuất của điện tử lần 2 , lấy được những ảnh tốt đẹp

傳 1 傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 - 傳傳

傳 - 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10nm~20nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳

(1) Phương pháp chân không mạ màng Phương pháp chân không mạ màng là lọi dụng màng chân không để tiến hành , ngoài quy tắc dưới tính trạng chân không cao sẽ lấy hết tất cả kim loại đã phun mạ kim loại để thêm nhiệt, khi thêm nhiệt độ lên điểm chảy, sẽ bốc lên những hạt cực nhỏ sẽ phun lên mẫu , trên mẫu sẽ hình thành 1 tầng màng kim loại, khiến cho mẫu dẫn điện , phun mạ kim loại là dủng nguyên liệu kim loại chọn những điểm chảy thấp nhất , tính hóa học ổn định ,dưới nhiệt độ cao cùng với vonfram không có tác dụng dẫn đến và không sản sinh tỷ lệ điện tử lần 2 cao, bản thân màng không có kết cấu , hiện tại thường được chọn sử dụng là kim và than , vì để lấy những viên hạt nhỏ , lấy sử dụng pd hoặc vàng –pd , pt- hợp kim pdk, thông thường độ dày màng kim loại là 10nm~20nm Phương pháp chân không mạ màng hình thành tất cả các màng,những viên hạt kim loại hơi to , màng không đều , tao thác phức tạp theo thời giá , trước mắt ít sử dụng