Kết cấu và nguyên lý máy SEM

Kết cấu và nguyên lý hoạt động máy SEM, phân tích thành phần cấu tạo , sự kết dính , liên kết , các vật chất dạng vì mô cơ học . Thông qua kết quả ,đánh giá quá trình sản xuất kịp thời tổng kết ,đánh giá rút kinh nghiệm để qui trình sản xuất được cải thiện tốt hơn .

SEM 原原原原原原 KẾT CẤU VÀ NGUYÊN LÝ MÁY SEM - 原原原 www.klb.com.tw www.klb.com.tw SEM 原原原原原原 原原原原原原原原原原原原 1.1 傳傳傳傳傳傳傳傳 OM 傳 Optical Microscope 傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳 傳傳傳傳傳傳 SEMNguyên lý kết cấu I 原 Lịch sử phát triển máy điện tử kính hiển vi 1.1 Kính hiển vi quang học truyền thống (OM 傳 Optical Microscope) giới hạn phân Tỷ lệ phân biệt gọi lục phân biệt , chì lên hệ thống máy thành hình yếu tố hệ thống có khác,biệt có lực phân vật thể có cư ly nhỏ khác Thông thường sử dụng hệ thống máy thành hình vật nhỏ chở thành mục tiêu gốc độ phòng to , gọi tỷ lệ gốc độ phân biệt gọi lĩnh phân biệt , phân thành thiết bị thành hình tỷ lệ phân thành máy phổ quang có tỷ lệ phân biệt loại Bởi mặt kiếng (mắt đọc) hạn chế tia sáng mà sản sinh hiệu ứng nhiễu xạ , khiến cho điểm vật phát nhiễu quang ba bề mặt kính hiển vi khơng phải hình thành điểm hình , điểm trung tâm để mở rộng cường độ chuyển giao giảm bớt đồng quang,và vệt sáng khác furlong phí nhiễu xạ có lớp đơm đốm , gọi airy dis H1- Nhiễu xạ airy dis SEM 原原原原原原 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳 傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 Do tồn nhiễu xạ airy dis ,mặc dù không cần suy nghĩ đến tượng xấu , thiết bị quang học kính hiển vi ko thể thực cách chấm lên vật điểm để tạo thành hình dạng ,cho nên ,vật mặt cự ly cách với vật điểm gần , mặt hình phân vật điểm chồng lên nhiễu xạ với , chí điểm sáng mức độ chồng lên mà dẫn đến phân biệt vật điểm , nguyên nhân chủ yếu hạn chế tỷ lệ phân biệt kính hiển vi 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Vì để đưa tiêu chuẩn thống lực phân biệt tỉ mỉ cho thiết bị quang học ,thông thường sử dụng reyieigh để tiến hành phán định thông số 傳 quy định thông số reyieigh , trung tâm điểm tượng vừa nằm lên điểm tượng khác viền màu xanh (tức bậc màu sẫm) , điểm tượng phân biệt H2- Phán định reyieigh SEM 原原原原原原 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1.22λ θ= D 傳傳 λ 傳傳傳傳 D 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 18 傳傳 70 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 · 傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 200 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 200 傳傳傳“傳傳傳傳”傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳 Dựa theo thông số reyieigh , gốc độ phân biệt nhỏ kính suốt : 1.22λ θ= Thiết lập λlà chiều dài ,là đường kính mắt đọc , nhìnDthấy , tỷ lệ phân biệt kính suốt theo đường kính chiều dài mà tăng lớn hoăc giảm nhỏ Thế kỷ 18 thập niên 70,nhà vật lý học nước Đức Ernst , thấy lực ánh sáng tụ tập đường kính nhỏ quang ba phần chiều dài quang ba , 200 meter “abelia point”,hơn kỷ qua , 200 meter “ từ đến cho lý luận quang học kính hiển vi tỷ lệ phân biệt cực hạn SEM 原原原原原原 1.2 傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1873 Abbe 傳 Helmholfz 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1897 J.J Thmson 傳傳傳傳傳 -Năm 1897- J.J Thmson phát điện tử 1924 Louis de Broglie 傳 1929 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1926 Busch 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1931 傳傳傳傳傳傳 Knoll 傳 Ruska 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1937 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Metropolitan Vickers 傳 傳 傳 SEM 原原原原原原 1.2 - Sự phát triển kính hiển vi điện tử Nếu đề cao tỷ lệ phóng lớn gấp bội lần cách đơn giản ,mà không phân biệt tỉ mỉ , máy kính hiển vi điện tử ko có ý nghĩa gì, tức khơng phải mắt đọc lớn tốt , , tìm kiếm điện sóng có chiều dài ngắn dùng để thay quang ba , đề cao tỷ lệ phân biệt đường thẳng thiết bị Năm 1873 Abbe Helmholfz đề cao phân biệt lực giải hình so sáng chiếu quang xạ , định lý luận kính hiển vi -Năm 1897- J.J Thmson phát điện tử Năm 1924 Louis de Broglie (Năm 1929 nhà vật lý học Alfred nobel người đứng đầu khen ngợi) đưa vật lý đặc tính điện tử có sóng điện , tiến thêm bước cung cấp lý luận kính hiển vi Năm 1926 Busch tia sáng điện tử thông qua kiếng thông thường , từ điện từ trường bị gãy nghiên vể bên Năm 1931 nhà vật lý học Đức Knoll 傳 Ruska trước tiên phát minh kính hiển vi điện tử dạng suốt ,mẫu máy Năm 1937 Thương Nghiệp thành công việc sản xuất mẫu máy( Hiệu Metropolitan Vickers ) SEM 原原原原原原 1938 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Von Ardenne 傳傳傳傳傳 1938-1939 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳 , 50KV~100KV, 傳傳傳傳傳傳 20~30Å 傳 傳 1940-1941 RCA 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 ( 傳傳傳 50 nm) 傳 1941-1963 傳傳傳傳傳傳 2~3Å 傳傳傳傳傳傳 100Å 傳傳傳傳傳傳 1960 Everhart and Thornley 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 1965 傳傳傳傳傳 SEM 傳傳傳傳 (Cambridge) 傳 1966 JEOL 傳傳傳傳傳傳傳 SEM (JSM-1) 傳 傳 傳傳傳傳傳傳傳 傳     傳 傳傳傳 傳傳傳 X 傳傳 α 傳傳 傳傳傳 nm 傳 390~760 13~390 0.05~13 0.005~1 傳傳傳 0.1Kv 10Kv 0.123 0.0122 SEM 原原原原原原 Năm 1938 Máy kính hiển vi điện tử lần đời Von Ardenne phát minh thành cơng 1938-1939 Kính hiển vi dạng suốt thức lên thị trường( cty weter door , 50KV~100KV ,lực giải hình 20~30A) 1940-1941 cty RCA mỹ đẩy kính hiển vi điện tử thị trường( lục giải hình 50 nm) 1941-1963 Lực giải hình đề cao 2~3A( dạng suốt ) 100A(dạng scan) 1960 Everhart and Thornley phát minh điện tử lần máy thiết bị thám 1965 máy SEM lần đời ( Cambridge) 1966 JEOL tuyên bố máy SEM sử dụng (JSM-1) Biểu Không nguồn sáng chiều dài sóng điện 傳     傳 Tên 傳傳傳 Độ sáng 傳傳傳 Tia tử ngoại X 傳傳 Đường tia α 傳傳 Đường tia 傳傳傳 nm 傳 390~760 13~390 0.05~13 0.005~1 傳傳傳 Điện tử bất buộc 0.1Kv 10Kv 0.123 0.0122 SEM 原原原原原原 2.3 -Xử lý mẫu kính hiển vi Những mẫu sử dụng kính hiển vi gặp tia tử điện xung kích vào sản sinh nhiều tiếng động(, điện tử lần 2, điện tử phóng xạ ),vì u cầu bề ngồi mẫu phải có tính dẫn điện tốt; , mẫu thử tuần hồn chân , thành phần nước mẫu dung dịch khử nước cần phải ít.mếu khơng nước mẫu dung dịch khử nước chân khơng bị oxy hóa nghiêm trọng, khơng ảnh hưởng đến độ chân không, ô nhiễm đến mẫu , cõn làm hỏng kết cấu ngoại quang mẫu Về mặt sấy khơ mẫu, cách xử lý thường theo quy tắc đơn giản , không theo thứ tự Còn dẫn điện của mẫu xử lý theo phương pháp : 2.3.1 -Phương pháp kim loại mạ màng Phương pháp kim loại mạ màng đặc biệt dùng để sử dụng cho thiết bị tỷ lệ điện trở có kim loại ( vàng , platin , pd.v.v.) phương pháp bốc lên che đậy bễ mặt mẫu, mẫu sử dụng cho kim loại mạ màng khơng phòng tránh hiệu ứng sả sạc điện mà giảm thiểu tia tử điện làm hư hỏng mẫu , gia tăng tỷ lệ sản xuất điện tử lần , lấy ảnh tốt đẹp SEM 原原原原原原 傳 傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 - 傳傳 傳 - 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 10nm~20nm 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 (1) Phương pháp chân không mạ màng Phương pháp chân không mạ màng lọi dụng màng chân không để tiến hành , ngồi quy tắc tính trạng chân khơng cao lấy hết tất kim loại phun mạ kim loại để thêm nhiệt, thêm nhiệt độ lên điểm chảy, bốc lên hạt cực nhỏ phun lên mẫu , mẫu hình thành tầng màng kim loại, khiến cho mẫu dẫn điện , phun mạ kim loại dủng nguyên liệu kim loại chọn điểm chảy thấp , tính hóa học ổn định ,dưới nhiệt độ cao với vonfram khơng có tác dụng dẫn đến khơng sản sinh tỷ lệ điện tử lần cao, thân màng khơng có kết cấu , thường chọn sử dụng kim than , để lấy viên hạt nhỏ , lấy sử dụng pd vàng –pd , pthợp kim pdk, thông thường độ dày màng kim loại 10nm~20nm Phương pháp chân không mạ màng hình thành tất màng,những viên hạt kim loại to , màng không , tao thác phức tạp theo thời giá , trước mắt sử dụng SEM 原原原原原原 傳 傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳 0.1~0.01 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 ☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 ☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 ☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳 ☆ 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 (2) Dưới tình trạng chân không thấp(0.1~0.01) , Khi dương âm điện cực thêm vô trăm kilôvôn(Kv)mức điện áp, giữ điện cực sinh sản sản điện tốt , trình sả điện, phân tử khí thể bị Iron hóa dẫn đến Ion dương Ion âm,sẽ tác dụng điện trường , Ion dương hướng âm,còn điện tử tăng tốc hướng dương, âm sử dụng kim loại điện cực( thường gọi là) Ion dương đập bề mặt mở Ion mặt , tượng gọi Tiễn xạ, Hạt kim loại tiễn xạ trung tính , tức khơng nhận điện trường tác dụng vào,mà nhận tác dụng trọng lực , đặt mẫu , bị hạt km loại tiễn xạ rơi xuống bề mặt mẫu ,hình thành tầng màng kim loại, sử dụng cách để mạ màng cho mẫu, gọi Ion tiễn xạ mạ màng , mạ màng chân khơng ,Ion tiễn xạ có ưu điểm sau : Vì từ âm tiễn xạ lên hạt kim loại khơng thống , hạt nhỏ kim loại xâm nhập lên khe hở bề mặt mẫu trũng xuống , bề mặt mạ lên lớp màng kim loại , ngồi bề mặt chỗ gồ gề khơng phẳng hình thành màng kim loại , nhưng, hạt nhỏ ☆ chịu nhiệt xạ ảnh hưởng nhỏ , ảnh hưởng mẫu hư ☆ Tiêu hao kim loại 傳 ☆ Đòi hỏi độ chân khơng , tiết kiệm thời gian hỏng SEM 原原原原原原 2.3.2 傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳 ( 傳傳傳傳傳傳傳 ) 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 2.3.2 -Phương pháp dẫn điện Sử dụng phương pháp mạ vàng khiến cho bề mặt mẫu dẫn điện , cần phải có thiết bị đặc biệt , thao tác phức tạp, đồng thời ảnh hưởng đến mẫu có mức hư hỏng định , để khắc phục khuyết điểm ,có thể sử dụng phương dẫn điện(có thể gọi phương pháp dẫn điện nhộm màu)tức lợi dụng dung dịch kim loại anbumin mẫu ,chất béo chất v.vv có tác dụng kết hợp thành phần, khiến Ion bề mặt mẫu sản sinh tính dẫn điện kim loại thuộc muối vật chất rời ,từ đề cao mẫu có tính chịu va đập tia tử điện tỷ lệ dẫn điện Quá trình cách xử lý mẫu thông qua cố định , rửa mẫu, Sau sử dụng hóa chất đặc biệt quan sát , khơng có thơng kim loại mạ màng , cho nện tiết kiệm thời gian , mà đề cao độ phân giải ,và tính mềm dai , tăng cường hiệu tác dụng cố định , thông thường xử dụng để thử quan sát sinh vật SEM 原原原原原原 二二二二二二二二 SEM 二二原原原 3.1 掃掃傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 III, Những yếu tố để đạy hình ảnh SEM có chất lượng cao 3.1 Giữa dây vônphram điều chỉnh dòng điện dây vơnphram Trung tâm vơnphram vị trí cần phải trung tâm trục dây thấu kính , vơnphram chiếu phát xạ điện tử nhiều tụ tập nhiều 傳 11 傳傳傳傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 3.2 掃掃掃掃掃掃掃 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳 12 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 3.2 掃掃掃掃掃掃掃 - Gia tăng tốc độ điện áp 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Căn theo tính chất cụ thể mẫu mục đích quan sát trắc lượng để chọn không tốc độ điện áp , thông thường , gia tăng tốc độ điện áp cao hình ảnh đạt cảnh đậm đậm , điện áp thấp đạt chi tiết kết cấu bề mặt 傳 12 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 H12 Tác dụng hiệu ko cần gia tăng điện áp SEM 原原原原原原 a ACCV=5KV b ACCV=25KV 傳 12 - 傳傳傳傳傳傳傳 SEM 傳傳 H12 - Hình ảnh SEM khơng gia tăng điện áp SEM 原原原原原原 3.3 掃掃掃掃掃 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳 14 傳傳傳傳傳 SEM 傳傳傳傳傳 SEM 原原原原原原 3.3 Dòng điện tia tử điện Dòng điện tia tử điện đoạn cuối thành hình có ảnh hưởng lớn , dòng điện tia tử điện lớn , sinh sản điện tử lần hai nhiều ,thì đạt hình ảnh tinh tế ,ngược lại , đạt hình ảnh thơ to H14- Dòng điện tia tử điện SEM ảnh hưởng đến hình ảnh SEM 原原原原原原 3.4 掃掃掃掃掃 WD 掃 Working Distence 掃掃掃掃掃掃 (OL Aperture) 掃掃掃掃掃掃 Cự ly công việc 傳 WD 傳 Working Distence 傳 , lổ vật kính (OL Aperture) liên quan đến 傳 15 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SEM 傳傳傳傳傳 H15-Cự ly công việc , lổ vật kính ảnh hưởng SEM SEM 原原原原原原 a.WD=10mm;Aperture=600μm b.WD=10mm;Aperture=200μm c WD=20mm;Aperture=200μm 傳 16 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 SEM 傳傳 H16 Không cự ly cơng việc lổ vật kính hình ảnh SEM 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳 Từ vấn đề biết: Chọn cự ly cơng việc thích hợp , đạt đến hình ảnh rât tốt , cự ly công việc ngắn , điện tử tiếp nhận điện tín tốt , đạt đến độ phân giải cao , cảnh vật , cự ly công việc dài , độ phân giải , cảnh vật đậm dài ,bề ngaao2i mẫu nhấp nhơ đạt hình ảnh tỉ mỉ LE LONG VIETNAM CO., LTD 原原原原原原原 ... viên nghiên cứu hiểu sâu thêm kết cấu nguyên vật liệu 傳 SEM 原原原原原原 二二二二二二二 SEM 二二二二二二二 - Nguyên lý kết cấu Máy scan kính điện tử (SEM) 2.1 掃掃掃掃掃掃掃 - Nguyên lý máy scan kính điện tử 傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳傳... b LaB6 傳 傳傳傳傳傳傳 c.W Filament SEM 原原原原原原 2.2 Kết cấu máy scan điện tử kính Trong máy Sem có phụ tùng nguyên tố điện tử ,kết cấu tương đối phức tạp ,Nhưng mà lấy kết cấu chủ yếu định thành phận... ,trừ máy Sem máy Tem , có loại hình kính hiển vi điện tử : kính hiển vi điện tử (FEM), điện tử nhiễu xạ tính thấp(LEED) , máy oedipus (AES), Máy quang điện tử (ESCA) ,máy scan kính hiển vi(STM) máy