DSpace at VNU: Nghiên cứu thiết kế mô phỏng cảm biến giọt chất lỏng dựa trên nguyên lý FPM

Nghiên cứu thiết kế mô cảm biến giọt chất lỏng dựa nguyên lý FPM Hoàng Hữu Chung Trường Đại học Công nghệ Luận văn Thạc sĩ ngành: Kỹ thuật điện tử; Mã số: 60 52 02 03 Người hướng dẫn: PGS.TS Chử Đức Trình Năm bảo vệ: 2014 Keywords Kỹ thuật điện tử; Cảm biến điện dung; Thiết bị đo giọt Content Hệ thống vi điện tử (MEMS) tập hợp vi cảm biến cấu chấp hành có khả cảm nhận mơi trường xung quanh đáp ứng với thay đổi mơi trường với việc sử dụng vi mạch điều khiển Một thiết bị MEMS thông thường hệ thống vi tích hợp chíp với cấu chấp hành cảm biến mong muốn Hệ thống cần vi nguồn cung cấp, vi relay đơn vị xử lý tín hiệu nhỏ Công nghệ vi tiến xa nhiều so với nguồn gốc cơng nghệ bán dẫn Với ưu thế, tạo cấu trúc học nhỏ bé tinh tế nhạy cảm đặc thù, công nghệ vi cho phép tạo cảm biến cấu chấp hành ứng dụng rộng rãi sống Các thành phần vi làm cho hệ thống hoạt động nhanh, đáng tin cậy, rẻ khả kết hợp chức phức tạp Thiết bị MEMS đề xuất chứng minh hữu dụng lĩnh vực khác vi lỏng, hàng khơng vũ trụ, y sinh học, phân tích hóa học, truyền thơng, lưu trữ liệu, hiển thị quang học,…v.v Các cảm biến siêu nhỏ tiện ích thay cho thiết bị đo cũ kỹ trước Song công nghệ MEMS giai đoạn đầu cần nhiều nghiên cứu chuyên sâu Cùng với phát triển MEMS, lĩnh vực mở hứa hẹn nhiều thành công – Lĩnh vực vi lỏng (Microfluidic) Trên giới nay, nhiều trung tâm nghiên cứu quan tâm phát triển vi lỏng Công nghệ máy in phun công nghệ đầu lĩnh vực Cái dễ nhìn thấy hiệu loại máy in phun công nghệ cao dần thay loại máy cồng kềnh khó sử dụng với cơng nghệ cũ Chúng tạo ảnh sắc nét khơng khác mẫu Trong y tế, việc điều khiển tạo giọt vi lỏng với tốc độ khác có ứng dụng lớn, việc lọc máu cho bệnh nhân sử dụng cơng nghệ Mục đích hướng tới cơng nghệ vi lỏng đo thể tích, vật tốc đặc tính chất lỏng từ tạo giọt, dòng vi lỏng có thơng số theo yêu cầu sử dụng vi kênh khác Với lý trên, chọn đề tài cho luận văn thạc sĩ là: “Nghiên cứu thiết kế mô cảm biến giọt sử dụng FPM” Trong luận văn này, nội dung nghiên cứu sóng kết thu nghiên cứu trình bày theo định hướng tham chiếu cho kết cảm biến dòng chảy dựa ngun lý FPM Các cấu trúc đề xuất nghiên cứu có tiềm ứng dụng vào hệ thống theo dõi bọt khí mạch máu, phát vật thể lạ mao dẫn, đo nồng độ hạt kim loại dầu máy động cơ… References Hệ thống vi điện tử (MEMS) tập hợp vi cảm biến cấu chấp hành có khả cảm nhận môi trường xung quanh đáp ứng với thay đổi mơi trường với việc sử dụng vi mạch điều khiển Một thiết bị MEMS thông thường hệ thống vi tích hợp chíp với cấu chấp hành cảm biến mong muốn Hệ thống cần vi nguồn cung cấp, vi relay đơn vị xử lý tín hiệu nhỏ Cơng nghệ vi tiến xa nhiều so với nguồn gốc cơng nghệ bán dẫn Với ưu thế, tạo cấu trúc học nhỏ bé tinh tế nhạy cảm đặc thù, công nghệ vi cho phép tạo cảm biến cấu chấp hành ứng dụng rộng rãi sống Các thành phần vi làm cho hệ thống hoạt động nhanh, đáng tin cậy, rẻ khả kết hợp chức phức tạp Thiết bị MEMS đề xuất chứng minh hữu dụng lĩnh vực khác vi lỏng, hàng không vũ trụ, y sinh học, phân tích hóa học, truyền thơng, lưu trữ liệu, hiển thị quang học,…v.v Các cảm biến siêu nhỏ tiện ích thay cho thiết bị đo cũ kỹ trước Song công nghệ MEMS giai đoạn đầu cần nhiều nghiên cứu chuyên sâu Cùng với phát triển MEMS, lĩnh vực mở hứa hẹn nhiều thành công – Lĩnh vực vi lỏng (Microfluidic) Trên giới nay, nhiều trung tâm nghiên cứu quan tâm phát triển vi lỏng Công nghệ máy in phun công nghệ đầu lĩnh vực Cái dễ nhìn thấy hiệu loại máy in phun cơng nghệ cao dần thay loại máy cồng kềnh khó sử dụng với cơng nghệ cũ Chúng tạo ảnh sắc nét khơng khác mẫu Trong y tế, việc điều khiển tạo giọt vi lỏng với tốc độ khác có ứng dụng lớn, việc lọc máu cho bệnh nhân sử dụng cơng nghệ Mục đích hướng tới cơng nghệ vi lỏng đo thể tích, vật tốc đặc tính chất lỏng từ tạo giọt, dòng vi lỏng có thông số theo yêu cầu sử dụng vi kênh khác Với lý trên, chọn đề tài cho luận văn thạc sĩ là: “Nghiên cứu thiết kế mô cảm biến giọt sử dụng FPM” Trong luận văn này, nội dung nghiên cứu sóng kết thu nghiên cứu trình bày theo định hướng tham chiếu cho kết cảm biến dòng chảy dựa nguyên lý FPM Các cấu trúc đề xuất nghiên cứu có tiềm ứng dụng vào hệ thống theo dõi bọt khí mạch máu, phát vật thể lạ mao dẫn, đo nồng độ hạt kim loại dầu máy động cơ… ... vi kênh khác Với lý trên, chọn đề tài cho luận văn thạc sĩ là: Nghiên cứu thiết kế mô cảm biến giọt sử dụng FPM Trong luận văn này, nội dung nghiên cứu sóng kết thu nghiên cứu trình bày theo... sóng kết thu nghiên cứu trình bày theo định hướng tham chiếu cho kết cảm biến dòng chảy dựa nguyên lý FPM Các cấu trúc đề xuất nghiên cứu có tiềm ứng dụng vào hệ thống theo dõi bọt khí mạch máu,... nhiều nghiên cứu chuyên sâu Cùng với phát triển MEMS, lĩnh vực mở hứa hẹn nhiều thành công – Lĩnh vực vi lỏng (Microfluidic) Trên giới nay, nhiều trung tâm nghiên cứu quan tâm phát triển vi lỏng