DSpace at VNU: Nghiên cứu, thiết kế, mô phỏng vi cảm biến lực ba chiều dựa trên nguyên lý áp điện trở và cấu trúc tập trung áp lực

Nghiên cứu, thiết kế, mô vi cảm biến lực ba chiều dựa nguyên lý áp điện trở cấu trúc tập trung áp lực Phạm Hữu Thành Đại học Công nghệ Luận văn ThS Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử; Mã số 60 52 02 03 Người hướng dẫn: PGS.TS Chử Đức Trình Năm bảo vệ: 2014 Keywords Kỹ thuật điện tử; Vi cảm biến lực ba chiều; Áp điện trở; Vi điện tử Content  Luận văn trình bày cấu trúc vi cảm biến lực ba chiều dựa nguyên lý áp điện trở phương pháp tăng độ nhạy cảm biến  Thiết kế mô vi cảm biến lực ba chiều dựa cấu trúc dầm màng áp điện trở  Các cấu trúc áp điện trở thay đổi cách thêm vào cấu trúc tập trung áp lực để tăng độ nhạy cảm biến Các cấu trúc tập trung áp lực có dạng ellipe, tròn, chữ nhật  Bằng cách sử dụng cấu trúc tập trung áp lực, cảm biến có độ nhạy tăng 6% so với cấu trúc ban đầu Reference Tài liệu tham khảo Huỳnh Thị Thùy Linh, “Nghiên cứu, thiết kế, mô vi cảm biến lực áp điện trở,” Luận văn thạc sĩ, Kỹ thuật điện tử, Trường Đại học Công nghệ, 2013 Trần Minh Vũ, “Nghiên cứu, thiết kế, mô vi cảm biến áp điện trở,” Luận văn thạc sĩ, Kỹ thuật điện tử, Trường Đại học Cơng nghệ, 2013 H M Cơng, “Giáo trình cảm biến công nghiệp,” NXB Xây dựng, 2007 4 T Chu Duc, J F Creemer, and Pasqualina M Sarro, “Piezoresistive Cantilever Beam for Force Sensing in Two Dimensions”, IEEE Sensors Journal, vol.7, no.1, 2007, p.1546-1555 Jia Wei, “Silicon MEMS for Detection of Liquid and Solid Fronts,” Delft University of Technology thesis, 2010 Stephen D Sentunia, “Microsystem Design”, Kluwer Acedamic Publishers, 2001