thiết kế hệ thống xử lý khí thải từ dây chuyền sản xuất linh kiện bán dẫn

Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Đại học Quốc Gia TpHCM Trường Đại Học Bách Khoa TPHCM Khoa Môi Trường Đồ án môn học xử lý khí thải Đề Tài : Thiết kế hệ thống xử lý khí thải từ dây chuyền sản xuất linh kiện bán dẫn Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Mục lục CHƯƠNG : TỔNG QUAN VỀ NGUỒN THẢI I Nguồn thải …………………………………………………………………….4 Benzene……………………………………………………………………4 Xylene…………………………………………………………………… II Tiêu chuẩn xả thải…………………………………………………………… CHƯƠNG : TỔNG QUAN VỀ PHƯƠNG PHÁP XỬ LÝ KHÍ THẢI I Tổng quan phương pháp xử lý benzene……………………………9 Phương pháp hấp phụ…………………………………………………… Phương pháp hấp thụ…………………………………………………… 11 Phương pháp sinh học…………………………………………………….12 II Chọn phương pháp xử lý …………………………………………………13 CHƯƠNG : TÍNH TỐN KINH TẾ I II Tính thiết bị chính……………………………………………………… 16 Thiết lập đường hấp phụ benzene xylene ………………………………16 Tính tốn cân vật chất……………………………………………… 18 Tính thời gian lưu trình………………………………………… 19 Tính đường kính tháp hấp phụ…………………………………………… 20 Tính khí…………………………………………………………………20 Tính thiết bị phụ………………………………………………………… 23 Đường kính dẫn khí vào ra…………………………………………23 Tính lưới đỡ vật liệu……………………………………………………24 Tính bích……………………………………………………………… 25 Tính chân đỡ, tay treo………………………………………………… 27 Quạt hút…………………………………………………………………30 KẾT LUẬN …………………………………………………………………………… 34 Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ DANH MỤC VIẾT TẮT QCVN : Quy chuẩn Việt Nam TCVN : Tiêu chuẩn Việt Nam VOCs : Chất hữu dễ bay HAPs : Chất thải nguy hại BTNMT : Bộ Tài Ngun Mơi Trường CTHH : Cơng thức hóa học GVHD : Th.S Dư Mỹ Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Chương TỔNG QUAN I Nguồn Thải Ngàng sản xuất linh kiện bán dẫn ngành chủ chốt công nghệ thông tin Chip bán dẫn – vi xử lý phải có tốc độ xử lý, lưu trữ tương tác thông tin ngày nhanh hơn, tốt rẻ Nhờ sản phẩm cơng nghệ cao có nhiều tính vượt trội Ngành phát triển cực nhanh Cạnh tranh khốc liệt Cách mười năm dùng điện thoại di động to đùng nặng nề, để gọi, nhận gọi nhắn tin Giờ làm việc với điện thoại vừa đẹp vừa thông minh : lướt web, gửi mail, nghe nhạc, chụp hình, video conference, xem tivi… Hiện ngành ngành Việt Nam, nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn chủ yếu nước Trong dây chuyền sản xuất linh kiện điện tử, linh kiện bán dẫn, có cơng đoạn rửa mạch, người ta dùng dung mơi hữu để rửa, dung dịch hữu có chứa benzene đồng phân benzene, ngồi người ta cịn sử dụng dung dịch IPA, Hỗn hợp 35% đến 50% Isopropyl alcohol, IPA với nước chất rửa kiếng hiệu Isopropyl alcohol, IPA dùng xà phòng nước, kết hợp với hydrocacbon chlo hố làm chất tẩy Tuy nhiên thơng dụng nhựa thông - Nhựa thông hỗn hợp phức tạp chất, tạo trình tổng hợp nhựa tự nhiên gỗ mềm Hàm lượng nhựa biến đổi 0.5÷3.0 % lượng gỗ khơ tuyệt đối Thành phần cấu tạo phức tạp biến đổi theo nguồn gốc trình chế biến sản xuất Thành phần, cấu tạo hóa học nhựa thơng: Thành phần hóa học nhựa thơng bao gồm: 87÷90% hỗn hợp axit Diterpene hay gọi axit nhựa, 10% chất trung tính 3÷5% axit béo Công thức phân tử nhựa thông có dạng C19H29COOH Về cơng thức cấu tạo: Axit Diterpene đồng phân axit abietic (có đồng phân) dPimaric (có đồng phân) Các đồng phân tạo nên phân bố cặp liên kết đơi cấu trúc vịng tạo nên, Các đồng phân hai axit đưa hình 1.1 Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Ở cơng đoạn rửa mạch in thường khí có mùi với nồng độ lớn, công nhân thường phải sử dụng mặt nạ, trang phịng độc…Trong nồng độ benzene xylene nguồn khí ta cần đặc biệt quan tâm đặc tính nguy hiểm chúng  Đặc tính nguồn thải : - Lưu lượng khí thải: m3/ph Nhiệt độ khí (sau giải nhiệt) 27oC - Khí thải ô nhiễm Benzene nồng độ 1562ppm Xylene nồng độ 876ppm Benzene CTHH : C6H6 Mơ tả a Tính chất vật lý : Benzen thường biết đến cơng thức hố học C6H6, hay cịn viết tắt PhH, benzol, hợp chất hữu thơm, điều kiện bình thường chất lỏng không màu, linh động, dễ bay hơi, dễ cháy, có mùi thơm dễ chịu lại độc hại, khơng hòa tan nước, hòa tan tốt ethanol, ethyl ete, chloroform dung môi hữu Benzene dung mơi tốt để hịa tan nhiều chất Cl2 , Br2, I2, S, P…chất béo, cao su Benzene nguyên liệu để sản xuất thuốc trừ sâu, nhựa tổng hợp, tổng hợp chất tẩy rửa… Benzene dung môi hữu tốt Thường có nhiều chất tẩy, keo, sơn,… Đặc biệt có nhiều khí thải giao thơng Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ b Tính chất hóa học Benzene vừa tham gia phản ứng vừa tham gia phản ứng cộng, phản ứng đặc trưng hơn, chứng tỏ nhân benzene bền Đặc điểm benzene gọi chung tính thơm + Phản ứng thế: dễ dàng xảy hydrocacbon no mạch hở - Với halogen , phản ứng xảy nhiệt độ thường với xúc tác vỏ bào sắt, bình thường benzene khơng làm màu nước brom Phản ứng nitro hóa : với HNO bốc khói, có mặt H2SO4 đặc, đun nóng nhẹ tạo sản phẩm nitro benzne Với H2SO4 đặc Với dẫn xuất halogen + Phản ứng cộng : Khó xảy hydrocacbon chưa no, mạch hở - Cộng hợp hidro Công hợp clo brom Ảnh hưởng benzene đến sức khỏe người Chất bay nhanh hấp thụ qua đường hô hấp, sau lưu gan, tủy sống tế bào mỡ Tủy xương quan chịu nhiều tác hại benzen nhất, gây trở ngại cho tăng trưởng tái tạo tế bào Các tác dụng độc hại benzene gây gồm:  Độc hại nơi Hệ Thần Kinh Trung Ương: gây choáng váng, mệt mỏi, sáng suốt  Độc hại máu huyết Cả loại tế bào máu: hồng cầu, bạch cầu, tiểu cầu bị ảnh hưởng  Tác dụng lâu dài liên tục benzene gây thiếu máu, Leukopenia Hư hỏng bạch cầu gây chứng xuất huyết nguy hiểm Ung thư máu kiểu Leukemia (hoại huyết) xảy từ đến 15 năm sau bị nhiễm độc  Ung thư hạch kiểu Non-Hodgkin lymphoma Xylene C6H4(CH3)2 Tên : Xylol, dimethylbenzen Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Mô tả - Xylene hỗn hợp dung mơi có ba đồng phân : ortho, meta para xylene - Xylene chất lỏng suốt, khơng màu, độ bay vừa Nó hồ tan với cồn, ether, dầu thực vật hầu hết dung môi hữu khác không tan nước - Xylene dùng làm dung mơi hồ tan nhựa tổng hợp, chất béo, sáp Tính chất xylene đồng phần xylene thể bảng sau : Các đồng phân xylem Tổng quan Tên thông thường Xylen o-Xylen m-Xylen Danh pháp IUPAC Đimêtylbenzens 1,21,31,4Đimêtylbenzen Đimêtylbenzen Đimêtylbenzen Tên khác Xylol o-Xylol; Octoxylen Cơng thức hóa học m-Xylol; Metaxylen p-Xylen p-Xylol; Paraxylen C8H10 SMILES Cc1c(C)cccc1 Phân tử gam Cc1cc(C)ccc1 Cc1ccc(C)cc1 106,16 g/mol Bề chất lỏng không màu số CAS [1330-20-7] [95-47-6] [108-38-3] [106-42-3] 0,86 g/mL, lỏng 0,86 g/mL, lỏng Thuộc tính Tỷ trọng pha 0,864 g/mL, lỏng Độ hoà tan nước 0,88 g/mL, lỏng khơng hồ tan Hồ tan dung mơi khơng phân cực hyđrocacbon thơm Nhiệt độ nóng chảy -47,4°C (226 −25°C (248 K) −48°C (225 K) 13°C (286 K) Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ K) Nhiệt độ nóng chảy 138,5°C (412 K) 144°C (417 K) 139°C (412 K) 138°C (411 K) 0,812 cP 2000°C Độ nhớt 0,62 cP 2000°C 0,34 cP 3000°C m-Xylen p-Xylen Nguy hiểm MSDS Xylen o-Xylen Phân loại EU Điểm bốc cháy Gây hại (Xn) 24°C Nguy hiểm an toàn Số RTECS 17°C 25°C 25°C R10, R20/21, R38: S2, S25 ZE2450000 ZE2275000 ZE2625000 Dữ liệu bổ sung Cấu trúc tính chất n, εr, v.v Tính chất nhiệt động Pha Rắn, lỏng, khí Phổ UV, IR, NMR, MS ( Nguồn : http://vi.wikipedia.org/wiki/Xylen ) Các đặc tính nguy hiểm : + Xylene chất lỏng dễ cháy trở thành hỗn hợp khí nổ đặc biệt chứa thùng rỗng khơng Hơi xylene khơng thể nhìn thấy nặng khơng khí, tràn lan dài mặt đất + Tĩnh điện sinh q trình vận chuyển ( q trình bơm rót ) + Khơng sử dụng khí nén để đuổi nạp , dỡ tải xử lý Xylene Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ + Phản ứng với chất oxy hóa mạnh + Xylene gây dị ứng mạnh với da mắt Hơi Xylene kích thích với điểm gây hại cao Vào lúc cao điểm, hấp thụ gây tác động dây chuyền làm hại đến gan, thận hệ thần kinh trung tâm ( narcoris ) II Tiêu chuẩn đầu benzene xylene Nồng độ đầu Benzene Xylene quy đinh tiêu chuẩn sau : + QCVN 05 : 2009 /BTNMT – Chất lượng khơng khí xung quanh_Thay thê TCVN 5937-2005 + QCVN 06:2009/BTNMT – Chất độc hại – Khơng khí xung quanh + QCVN 07 : 2009/BTNMT - Quy chuẩn kỹ thuật Quốc Gia chất thải nguy hại + QCVN 20 : 2009 /BTNMT – Quy chuẩn kỹ thuật Quốc Gia khí thải cơng nghiệp số chất hữu Theo EPA , benzene xylene VOCs đồng thời HAPs Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ + Lưu lượng khối lượng benzene hỗn hợp khí vào + Lưu lượng khối lượng xylene hỗn hợp khí vào + Lưu lượng khối lượng khơng khí hỗn hợp khí + Đầu Nồng độ đầu vào benzene 1562ppm (mg/m3 ) =(X×M)/{22,4 × (Po/P1) × (T1/To)} = ( 10 x 78 ) / ( 22,4 x 293 / 273 ) = 32,45 mg/m3 Phần mol benzene hỗn hợp khí thải đầu kmol benzene / kmol hỗn hợp Tính thời gian q trình Vì điểm đẳng nhiệt tương ứng với nồng độ đầu benzene nằm vùng thời gian trình tính theo cơng thức : Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ + Với G = 500 * 0,191 / 0,005068 = 18844 + ω tốc độ dịng khí + H chiều cao lớp than, chọn 0,7m + b hệ số xác định theo bảng 4.3 trang 114 sách Bt Truyền Khối nên b = 1,77 + kyhệ số truyền khối xác định theo : Ky = 1,6 Ta xác định hệ số độ nhớt động lực học khơng khí Ta tra µ = 0,018x10-3Pa.s Do ν = µ/ρ = 0,018x10-3/ 1,2 = 0,15x10-4 = 0,248x103 Đường kính hạt than : dg =0,004m Như : = 0,3154 x 10-3 Tốc độ : với đường kính hạt than làdg =0,004m, tháp hấp phụ chọn tháp có tầng cố định, cơng suất 2m3/phút, để than khơng bị vỡ vận tốc khí qua thiết bị 0,15 – 0,35m/s, chọn ω = 13 m/phut = 13/60 = 0,217m/s Hệ số khuếch tán benzene khơng khí 0oC 7,7x10-6m2/s Hệ số khuếch tán benzene nhiệt độ 20oC tính theo cơng thức D = Do ()^0,15 = 7,7*10-6 * () ^0,15 = 7,78*10-6 m2/s Sau vào ta ky = 6,09 m/s Ta xác định thời gian trình : Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ = 148,1 = 21934s = 366p = 6,1h Tính đường kính thiết bị Lượng hỗn hợp thiết bị qua khoảng thời gian V = 2*60*6,1 = 732 m3 Lượng than hoạt tính cần cho mẻ Vì trình hấp phụ xử lý benzene xylene bị than hoạt tính hấp phụ, lượng than cần thiết cho mẻ bao gồm tổng lượng than để hấp phụ chất benzene xylene 732 * + ) = 35kg Đường kính tháp hấp phụ H*500 = 35 kg = > D = 0,357m Chọn D = 0,4m Tính tốn khí Chiều cao lớp than hoạt tính 0,7m, chọn chiều cao thân tháp 1,3m Trong : + Khoảng cách từ lớp đệm đến bích đến hai mặt 0,2m + Chiều cao phần nắp đáy 0,2m Tháp có đường kính 0,4m Tính chiều dày thân nắp + Tính chiều dày thân Chọn CT3 vât liệu làm thân tháp Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Theo bảng XII.4 trang 309 ( sổ tay Q trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập 2), thép CT3 với chiều dày thép 4-20mm: - Giới hạn kéo k = 380 (N/mm2) - Giới hạn chảy c = 240 (N/mm2) Theo bảng XII.7 trang 313 ( sổ tay Quá trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ), thép CT3 có khối lượng riêng  = 7,85.103 (kg/m3) Ứng suất cho phép CT3 Trong :  : hệ số hiệu chỉnh Tháp hấp phụ tháp hấp phụ tầng cố định , thiết bị có chi tiết khơng bị đốt nóng, theo bang XIII.2 trang 356 ( sổ tay Qúa trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) , ta tra  = nk, nc : hệ số an toàn theo giới hạn kéo chảy theo bảng XIII.3 trang 356 ( sổ tay Quá trình thiết bị - tập 2), ta có nk = 2,6 nc = 1,5 Thế tất vào ta có : Áp suất thân thiết bị : P = Plv = (at) = 0,1 (N/mm2) + Xác định hệ số bền mối hàn : Tháp có thân trụ hàn giáp mối bên Theo bảng XIII.8 trang 362 ( sổ tay Q trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) h = 0,95 + Chiều dày nhỏ thân tháp : Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Theo bảng 5.1 trang 128 ( Sách Thiết kế tính tốn chi tiết thiết bị hóa chất – Hồ Lê Viên ), với Dt = 400m, chọn bề dày thân nhỏ Smin = 5mm + Bề dày thân thiết bị : St = Smin + C St = Smin + (Ca + Cb + Cc + Co) Với Ca : hệ số bổ sung ăn mòn , Ca = Cb : hệ số bào mòn học, Cb = Cc : hệ dố bổ sung sai lệch kích thước chế tạo Với thép dày 5mm, Cc = -0,5mm Co: hệ số làm tròn, Co = 0,5mm Vậy St = + + – 0,5 + 0,5 = mm + Kiểm tra lại bề dày áp suất làm việc thiết bị (thỏa mãn ) (thoả mãn) Vậy thân tháp có chiều dày St = mm + Khối lượng tháp + Chiều dày đáy , nắp Ta chọn CT3 vật liệu làm đáy , nắp tháp đáy, nắp hình elip tiêu chuẩn + Bề dày đáy, nắp: Với k hệ số không thứ nguyên Đối với đáy nắp có lỗ tăng cứng k = Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Xét  bỏ qua đại lượng P mẫu số ht chiều cao phần lồi đáy, Tra bảng XIII.10 trang 382 ( sổ tay Quá trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) với Dt = 400 m, ht = 100 mm C : hệ số bổ sung C tính có tăng thêm 2mm S – C  10 mm, C = mm Thế vào công thức ta có chiều dày đáy, nắp: Chọn chiều dày đáy, nắp Sdn = mm Kiểm tra bề dày áp suất làm việc đáy, nắp thiết bị : ( thỏa mãn ) ( thỏa mãn) Vậy chiều dày đáy, nắp Sdn = mm + Khối lượng đáy, nắp : Theo bảng XIII.11 trang 384 ( sổ tay Q trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) m2 = 6,6.2 = 13,2(kg) III Tính tốn phần phụ tháp Đường kính ống dẫn hỗn hợp khí vào Lưu lượng hỗn hợp khí vào :Q = 2m3/phut = 0,03m3/s Khối lượng riêng hỗn hợp : ρ = 1,2kg/m3 Chọn vận tốc ống khí 15m/s ( khoảng cho phép 4- 15m/s , sổ tay Quá trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Vậy đường kính ống dẫn khí vào Chọn đường kính D = 50mm Đường kính ống dẫn khí chọn giá trị Tính lưới đỡ vật liệu +Lưới tinh chắn lớp than Chọn lưới thép CT3 , khe 2mm Đường kính lưới 0,4m Bề dày lưới 5mm + Lưới lớn đỡ lớp than Chọn lưới thép CT3, đặt lớp than nhằm chịu lực đỡ than đặt lên gờ hàn với thân tháp Có đường kính ngồi 0,4m Đường kính 0,35m Bề rộng bước 20mm Bề rộng khe 10mm Bề rộng 10mm Bề dày lưới 30mm Tính bích Bao gồm loại bích : Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ - Bích nối đáy, nắp với thân tháp - Bích nối ống dẫn thiết bị - Bích cửa nhập liệu, tháo liệu GVHD : Th.S Dư Mỹ + Bích nối đáy, nắp với thân tháp Số lượng bích : bích Chọn bích liền thép để nối thiết bị ( tra bảng XIII.27 trang 417 sổ tay trình thiết bị cơng nghệ hóa chat – tập ): Đường kính Dt = 400mm Đường kính ngồi Do = 400 + 2*4 = 408mm Đường kính ngồi bích D = 515mm Đường kính tâm bulong Db = 475mm Đường kính mép vát Dl = 450mm Đường kính bulong db = M16 Số bulong : 20 Chiều cao bích : 20mm Khối lượng bích : + Bích nối ống dẫn thiết bị Ống dẫn hỗn hợp khí vào Đường kính ống dẫn hỗn hợp khí vào dk = 50mm Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Chọn loại bích liền kim loại đen để nối ( tra bảng XIII.26 trang 409 sổ tay trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) - Số lượng bích : bích - Đường kính ngồi Do = 57mm - Đường kính ngồi bích D = 140mm - Đường kính tâm bulong Db = 110mm - Đường kính mép vát Dl = 90mm - Đường kính bulong db = M12 - Số bulong : - Chiều cao bích : 12mm Khối lượng bích : + Bích cửa nhập liệu, tháo liệu: Chọn đường kính cửa 100mm Mỗi cửa có bích Vậy tổng cộng có bích Chọn bích liền kim loại đen để nối ( tra bảng XIII.26 trang 409 Sổ tay Quá Trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) : - Số lượng bích : bích - Đường kính ngồi Do = 108mm - Đường kính ngồi bích D = 205mm - Đường kính tâm bulong Db = 170mm - Đường kính mép vát Dl = 148mm - Đường kính bulong db = M16 - Số bulong : - Chiều cao bích : 14mm Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Khối lượng bích : Khối lượng toàn tháp m = m1 + m2 + m3 + m4 + m5 + mthan = 66,6 + 13,2 + 48,7 + 9,7 + 21 + 35 = 194,2kg Tải trọng toàn tháp : P = m x g = 194,2 x 9.81 = 1905,1(N) Tính chân đỡ , tay treo + Chân đỡ : Chọn tháp có chân đỡ ống thép trịn Tải trọng đặt lên chân đỡ : G = P/ = 1905,1 / = 476,3N Chọn tải trọng cho phép chân đỡ 0,1*104 N Tra bảng XIII.35 trang 437 ( Sổ tay q trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ) L = 70 mm B = 60 mm B1 = 60 mm B2 = 90 mm H = 105 mm h = 105 mm Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ s = mm l = 30 mm d = 14 mm GVHD : Th.S Dư Mỹ Bề mặt đỡ F = 40,5.10-4 m2 Tải trọng cho phép bề mặt đỡ q = 0,25.106 N/m2 Chọn + Tai treo : Chọn tháp có tai treo Tải trọng đặt lên tai treo : 476,3 N Chọn tải trọng cho phép 0,1*104N Tra bảng XIII.36 trang 438 ( Sổ tay Q trình thiết bị cơng nghệ hóa chất – tập ): L = 80 mm B = 55 mm B1 = 70 mm H = 125 mm s = mm l = 30 mm a = 15 mm d = 14 mm Bề mặt đỡ F = 42,5 * 10-4 m2 Tải trọng cho phép lên bề mặt đỡ q = 0,24 *106 N/m2 Khối lượng tai treo 0,53kg Quạt hút Lưu lượng hỗn hợp khí vào Q = m3/phut = 0,033m3/s Quạt hút khí trước qua tháp Chiều cao hoạt động tháp 1,3m Tổn thất lực vận chuyển khí từ đáy lên đỉnh tháp Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ * = khí × g × Htháp = 1,2 × 9.8 × 1,3 = 15,3 N/m2 Cơng suất quạt : Với Q : lưu lượng khí (m3/s) P: trở lực tháp (N/m2) tr: hiệu suất truyền động Nếu lắp đặt trực tiếp với trục động điện tr = q: hiệu suất quạt Chọn quạt ly tâm q = 0,65 Trở lực tháp gồm trở lực dịng khí qua lưới (P1 ) trở lực dịng khí qua lớp than (P2): P = 2.P1 + P2 Trở lực dịng khí qua lưới Với : hệ số tổn thất cục ( tra Phụ lục 9.4/236 Giáo Trình Cơ lưu chất ) v1: vận tốc dịng khí qua lưới Ta cho diện tích rỗng 50% diện tích lưới Do v1 = 2.vk = 2.0,44 = 0,88 (m/s) Trở lực dịng khí qua lớp than Với H chiều cao lớp than (ft) Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ v2 vận tốc dịng khí qua lớp than ( ft/min ) Tính vận tốc dịng khí qua lớp than + Thể tích lớp than Thể tích lỗ rỗng lớp than : Vr = 0,8.V = 0,072(m3) Diện tích lỗ rỗng lớp than Vận tốc dịng khí qua lớp than = 65 ft/min Chiều cao lớp than H = 0,7m = 2,3ft Trở lực tháp : P =.P* + 2.P1 + P2 = 15,3 + 2.4,65 + 110 = 134,6(N/m2) Vậy Công suất động điện Ndc = k*N Chọn k = 1,2 ta có Ndc = 8,2 W Vậy chọn quạt hút có cơng suất 9W Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ KẾT LUẬN Đồ án “ Thiết kế hệ thống xử lý khí thải từ dây chuyền sản xuất linh kiện điện tử” hồn thành Với cơng nghệ đưa ta dựa vào để thiết kế hệ thống xử lý benzene xylene cho nhà máy Với sơ đồ công nghệ trên, để tăng hiệu suất xử lý ta dùng phương pháp hấp phụ nhiều bậc, dùng hai tháp nối tiếp, thay phiên xử lý, chất lượng khí đảm bảo Tuy nhiên thiếu sót khơng có giải hấp, thu hồi dung mơi, mà phải có thời giant thay than sau chu kì, địi hỏi phải có lượng than trữ, không suất TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Kỹ thuật xử lý chất thải công nghiêp, Nguyễn Văn Phước, Nhà xuất Đại Học Quốc Gia TPHCM Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ [2] Bài Giảng mơn Xử lý khí Thải, Dư Mỹ Lệ [3] Sách Thiết kế tính tốn thiết bị hóa chất, Hồ Lê Viên [4] Sổ tay trình thiết bị cơng nghệ hóa chất tập [5] EPA.gov [6] http://vi.wikipedia.org Cùng số trang web khác GVHD : Th.S Dư Mỹ ... Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ KẾT LUẬN Đồ án “ Thiết kế hệ thống xử lý khí thải từ dây chuyền sản xuất linh kiện điện tử” hồn thành Với cơng nghệ đưa ta dựa vào để thiết kế hệ thống xử. .. Mỹ Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Chương TỔNG QUAN I Nguồn Thải Ngàng sản xuất linh kiện bán dẫn ngành chủ chốt công nghệ thông tin Chip bán dẫn – vi xử lý phải có tốc độ xử lý, lưu... Vậy để xử lý benzene từ dây chuyền sản xuất linh kiện điện tử, ta chọn phương pháp hấp thu than hoạt tính Đồ Án Xử Lý Khí Thải Lệ GVHD : Th.S Dư Mỹ Đề xuất quy trình cơng nghệ Chụp hút Khí thải