Nghiên cứu, chế tạo điện cực nhạy khí của cảm biến điện hóa từ vật liệu nanô perovskite LaMO3 (m mn, fe, ni, co)

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN ĐỨC THỌ NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO ĐIỆN CỰC NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN ĐIỆN HĨA TỪ VẬT LIỆU NANÔ PEROVSKITE LaMO3 (M = Mn, Fe, Co, Ni) LUẬN ÁN TIẾN SĨ: VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANÔ Hà Nội – 2016 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN ĐỨC THỌ NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO ĐIỆN CỰC NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN ĐIỆN HĨA TỪ VẬT LIỆU NANÔ PEROVSKITE LaMO3 (M = Mn, Fe, Co, Ni) Chuyên ngành: Vật liệu Linh kiện Nanô Mã số: Chuyên ngành đào tạo thí điểm LUẬN ÁN TIẾN SĨ: VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANÔ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS.TS Hoàng Nam Nhật PGS.TS Phạm Đức Thắng Hà Nội – 2016 LỜI CẢM ƠN Lời đầu tiên, tơi xin bày tỏ lòng kính trọng biết ơn sâu sắc tới PGS.TS Hoàng Nam Nhật, người Thầy ln hết lòng giúp đỡ, hướng dẫn tạo điều kiện thuận lợi cho thực luận án Tôi xin cảm ơn sâu sắc PGS.TS Phạm Đức Thắng hướng dẫn, giúp đỡ động viên tơi suốt q trình thực luận án Tôi xin chân thành cảm ơn thầy cô, cán anh chị em NCS thuộc Khoa Vật lý Kỹ thuật Công nghệ Nanô người động viên, giúp đỡ, đóng góp ý kiến thảo luận khoa học vấn đề liên quan đến thực luận án Tôi xin chân thành cảm ơn cán thuộc Phòng Cảm biến thiết bị đo khí – Viện Khoa học vật liệu, người ln nhiệt tình giúp đỡ tơi trình làm thực nghiệm thực phép đo liên quan đến việc thực luận án Tôi xin gửi lời biết ơn chân thành sâu sắc tới TS Hồ Trường Giang người bạn người thầy giúp đỡ tận tình việc đo đạc, xử lý kết đo trao đổi, góp ý, sửa chữa hồn thiện luận án Tơi xin cảm ơn tới TS Nguyễn Thành Huy bạn bè đồng nghiệp giúp đỡ, đóng góp ý kiến có động viên chân thành để tơi hồn thành luận án Cuối cùng, xin cảm ơn tới bố, mẹ, vợ, người thân hai bên gia đình ln mong mỏi, động viên tạo điều kiện thuận lợi để thực luận án này! Hà Nội, ngày tháng Tác giả Nguyễn Đức Thọ năm 2017 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu tơi hướng dẫn PGS.TS Hoàng Nam Nhật PGS.TS Phạm Đức Thắng Hầu hết số liệu, kết nêu luận án trích dẫn lại từ báo hội nghị khoa học, báo công bố cộng Các số liệu, kết nghiên cứu đạt trung thực chưa công bố luận án khác Tác giả MỤC LỤC DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ DANH MỤC CÁC THUẬT NGỮ, KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT 11 MỞ ĐẦU CHƯƠNG I: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU PEROVSKITE 1.1 Cấu trúc tính chất oxit perovskite 1.1.1 Cấu trúc tinh thể 10 1.1.2 Tính chất dẫn điện 11 1.1.3 Tính chất hấp phụ khí hoạt tính xúc tác khí 12 1.1.4 Tính chất bề mặt độ xốp 15 1.1.5 Tính ổn định 18 1.2 Tương tác khí với oxit kim loại 19 1.3 Cảm biến khí điện hóa dựa chất điện ly rắn 22 1.3.1 Cảm biến tín hiệu dạng theo phương trình Nernst 22 1.3.2 Cảm biến điện hóa dạng tổng hợp 24 1.3.3 Điện cực nhạy khí sở oxit kim loại 29 1.4 Chất điện ly YSZ 33 1.5 Kết luận chương I 36 CHƯƠNG II: THỰC NGHIỆM 38 2.1 Chế tạo cảm biến điện hóa 38 2.1.1 Oxit perovskite sử dụng cho điện cực nhạy khí 38 2.1.2 Vật liệu dẫn ion YSZ 41 2.1.3 Chế tạo cảm biến điện hóa Pt/YSZ/LaMO3 43 2.2 Nghiên cứu đặc trưng cảm biến 49 2.3 Kết luận chương II 50 CHƯƠNG III 51 ẢNH HƯỞNG CỦA QUÁ TRÌNH Ủ NHIỆT TỚI ĐẶC TRƯNG NHẠY KHÍ CỦA HỆ CẢM BIẾN Pt/YSZ/LaFeO3 51 3.1 Giới thiệu điện cực nhạy khí oxit LaFeO3 51 3.2 Các đặc trưng vật lý cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 theo thay đổi nhiệt độ ủ cấu hình cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 53 3.3 Ảnh hưởng nhiệt độ ủ cấu hình cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 lên tính chất nhạy khí NOx, COx, CxHy 56 3.4 Cơ chế nhạy khí cảm biến 73 3.5 Kết luận chương III 76 CHƯƠNG IV: ẢNH HƯỞNG CỦA KIM LOẠI CHUYỂN TIẾP 3d ĐẾN ĐẶC TRƯNG NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN YSZ SỬ DỤNG ĐIỆN CỰC LaMO3 (M = Mn, Fe, Co, Ni) 78 4.1 Nhiệt độ ủ cao cho nghiên cứu hệ cảm biến Pt/YSZ/LaMO3 78 4.2 Hệ cảm biến Pt/YSZ/LaMO3 (M= Mn, Fe, Co, Ni) 87 4.3 Kết luận chương IV 100 KẾT LUẬN CHUNG 102 CÁC CƠNG TRÌNH CÔNG BỐ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN 103 TÀI LIỆU THAM KHẢO 105 DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU TT Tên bảng biểu Trang Bảng 1.1: Hằng số mạng kích thước tinh thể LaFe1-xCoxO3 [53] 16 Bảng 1.2: Một số ví dụ điện cực nhạy khí cảm biến điện hóa YSZ sử dụng oxit đơn kim loại 30 Bảng 1.3: Một số ví dụ điện cực nhạy khí cảm biến điện hóa YSZ sử dụng oxit đa kim loại 31 Bảng 3.1: Giá trị độ đáp ứng ∆V cảm biến theo nhiệt độ nung ủ (Ts) hoạt động với 60 ppm khí NO2 nhiệt độ hoạt động khác (To) 63 Bảng 4.1: So sánh đáp ứng cảm biến khí điện hóa sử dụng điện cực oxit kim loại perovskite 97 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1: Vị trí ion cấu trúc mạng tinh thể oxit perovskite ABO3 10 Hình 1.2: Độ rộng vùng cấm hệ oxit perovskite LaMO3 với M kim loại chuyển tiếp 3d 11 Hình 1.3: Ảnh SEM mẫu bột LaFe0,8Co0,2O3 có độ đồng cao tổng hợp phương pháp sol-gel citrate 16 Hình 1.4: Các trình tương tác oxit kim loại khí vùng nhiệt độ hoạt động khác 20 Hình 1.6: Các đường đặc trưng nồng độ khí thải sau q trình đốt cháy theo tỉ lệ khơng khí nhiên nhiêu đốt (A/F) đầu vào 25 Hình 1.7: Một số dạng cấu trúc thơng thường cảm biến điện hóa YSZ dạng tổng hợp 26 Hình 1.8: Cảm biến điện hóa dạng tổng hợp (a), phản ứng điện hóa điện cực nhạy khí (b), phản ứng điện hóa điện cực so sánh (c), phản ứng xúc tác dị thể khí bề mặt oxit kim loại điện cực (d) 27 Hình 1.10: Minh họa kiểu cấu trúc tinh thể lập phương Florit YSZ 35 Hình 1.11: Minh họa đơn giản dịch chuyển lỗ trống khuyết oxy tạo tính dẫn ion vật liệu YSZ 35 10 Hình 2.1: Các bước chế tạo nano-oxit perovskite LaMO3 (M= Mn, Fe, Co, Ni) phương pháp sol-gel 38 11 Hình 2.2: Kết minh họa ảnh SEM (a) giản đồ nhiễu xạ tia X (b) mẫu bột oxit perovskite LaFeO3 tổng hợp phương pháp sol-gel 40 12 Hình 2.3: Các bước chế tạo bột oxit YSZ phương pháp sol-gel 41 13 Hình 2.4: Kết ảnh SEM (a) giản đồ nhiễu xạ tia X (b) mẫu bột YSZ tổng hợp phương pháp sol-gel 42 14 Hình 2.5: Ảnh chụp quang học (a), ảnh SEM bề mặt (b) YSZ sau nung ủ 1300 oC giờ; giản đồ nhiễu xạ tia X YSZ (c) 44 15 Hình 2.6: Kết phân tích tổng trở linh kiện Pt/YSZ/Pt nhiệt độ 400 oC; hình chèn đo 500 oC 600 oC 45 16 Hình 2.7: Sơ đồ mạnh điện tương đương cấu hình linh kiện Pt/YSZ/Pt 45 17 Hình 2.8: Cấu trúc cảm biến điện hóa Pt/YSZ/LaMO3 47 18 Hình 2.9: Các bước thực chế tạo cảm biến điện hóa Pt/YSZ/ LaMO3 48 19 Hình 2.10: Sơ đồ hệ phân tích tính chất nhạy khí cảm biến 49 20 Hình 3.1: Giản đồ nhiễu xạ tia X bột LaFeO3 (a), màng YSZ/Pt-LaFeO3 nung ủ nhiệt độ 800 (b), 1000 (c) 1200 0C (d) 53 21 Hình 3.2: Ảnh SEM bề mặt màng LaFeO3 với nhiệt độ ủ Ts = 700 oC (a), 900 oC (b), 1200 oC (c) 1300 oC (d) 55 22 Hình 3.3: Ảnh SEM bề mặt điện cực Pt với Ts = 1000 oC (a) ảnh chụp cắt ngang lớp màng LaFeO3 lớp YSZ với Ts = 1050 oC (b) 56 23 Hình 3.4: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 tương ứng với nhiệt độ nung ủ Ts = 700 oC (a), 800 oC (b), 900 oC (c) cảm biến hoạt động với chu kỳ khí mang (0 ppm) nồng độ khí NO2 khác 60, 45, 30 15 ppm dải nhiệt độ hoạt động TO = 450- 650 oC 57 24 Hình 3.5: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 tương ứng với nhiệt độ nung ủ Ts = 1050 oC (a), 1200 oC (b), 1300 oC (c) cảm biến hoạt động với chu kỳ khí mang (0 ppm) nồng độ khí NO2 khác 60, 45, 30 15 ppm dải nhiệt độ hoạt động TO = 450- 650 oC 58 25 Hình 3.6: Các đường độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 tương ứng với nhiệt độ nung ủ Ts = 700 oC (a), 800 oC (b), 900 oC (c) phụ thuộc vào nồng độ khí NO2 dải nhiệt độ hoạt động 450, 500, 550, 600 650 oC 60 26 Hình 3.7: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaFeO3 tương ứng với nhiệt độ nung ủ Ts = 1050 oC (d), 1200 oC (e), 1300 oC (f) phụ thuộc vào nồng độ khí NO2 dải nhiệt độ hoạt động 450, 500, 550, 600 650 oC 61 27 Hình 3.8: Sự phụ thuộc độ đáp ứng ∆V vào nhiệt độ hoạt động (To) nhiệt độ nung ủ (Ts) cảm biến hoạt động 60 ppm khí NO2 62 28 Hình 3.9: Đáp ứng điện áp V nhiệt độ hoạt động 550 oC cảm biến hoạt động với khí NO2, NO, CO, C3H8, CH4 tương ứng cho nhiệt độ nung ủ Ts = 700 oC (a), 800 oC (b), 1200 oC (c) 1300 oC(d) 65 29 Hình 3.10: Biều đồ thể so sánh đáp ứng ∆V cho khí NO2, NO, CO, C3H8 CH4 nhiệt độ hoạt động T0 = 450-650 oC nhiệt độ nung ủ Ts = 700 oC (a), 800 oC (b), 900 oC (c) 66 30 Hình 3.11: Biều đồ thể so sánh đáp ứng ∆V cho khí NO2, NO, CO, C3H8 CH4 nhiệt độ hoạt động T0 = 450-650 oC nhiệt độ nung ủ Ts = 1050 oC(d), 1200 oC (e) 1300 oC (f) 67 31 Hình 3.12: Sự phụ thuộc thời gian đáp ứng t90 thời gian hồi đáp t90 vào nhiệt độ hoạt động TO cảm biến hoạt động với 60 ppm khí NO2 70 32 Hình 3.14: Mơ hình thể ảnh hưởng nhiệt độ ủ tới tương tác khí NO2 cảm biến YSZ sử dụng điện cực oxit kim loại 75 33 Hình 4.1: Ảnh SEM bề mặt màng điện cực LaCoO3 sau ủ nhiệt độ 800 o C (a), 1000 oC (b) 1200 oC (c) 80 34 Hình 4.2: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaCoO3 ủ nhiệt 800 oC (a), 1000 oC (b) 1200 oC (c) theo chu kỳ nồng độ khí NO2 (60, 45, 30, 15 ppm)/khơng khí cảm biến hoạt động nhiệt độ 550, 600 650 oC 82 35 Hình 4.3: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaCoO3 ủ nhiệt 800 oC (a), 1000 oC (b) 1200 oC (c) phụ thuộc nồng độ khí NO2 cảm biến hoạt động nhiệt độ 550, 600 650 oC 83 36 Hình 4.4: Đáp ứng điện ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaCoO3 với cấu hình ủ 800 oC (a) , 1000 oC (b) 1200 oC (c) khảo sát 60 ppm (NO2, NO); 100 ppm CO; 500 ppm (CO2, C3H8, CH4) nhiệt độ hoạt động 450, 500, 550, 600 650 oC 84 37 Hình 4.5: Đáp ứng điện V cảm biến Pt/YSZ/LaCoO3 (ủ 1000 oC) nhiệt độ hoạt động 550 oC khảo sát 60 ppm (NO2, NO); 100 ppm CO; 500 ppm (CO2, C3H8, CH4) (a); độ lặp lại tốt điện V cảm biến theo chu kỳ 45 ppm NO2/không khí (b) 85 38 Hình 4.6: Minh họa đáp ứng ∆V theo chu kỳ nồng độ khí CO (60, 100, 200, 400 ppm)/khơng khí cảm biến Pt/YSZ/LaCoO3 (ủ 1200 oC) hai nhiệt độ hoạt động 550 650 oC 86 39 Hình 4.7: Giản đồ nhiễu xạ tia X điện cực perovskite LaMO3 (M = Mn, Fe, Co Ni) nung ủ 1200 oC 88 40 Hình 4.8: Ảnh SEM bề mặt điện cực oxit kim loại LaMO3 (M = Mn, Co, Fe Ni) ủ nhiệt độ 1200 oC 89 41 Hình 4.9: Độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaMO3 (M = Mn, Fe, Co Ni) hoạt động với chu kỳ nồng độ khí NO2 khác (60, 45, 30, 15 ppm)/khơng khí dải nhiệt độ hoạt động 550, 600 650 oC 91 42 Hình 4.10: Sự phụ thuộc độ đáp ứng ∆V cảm biến Pt/YSZ/LaMO3 (M = Mn, Fe, Co Ni) theo nồng độ khí NO2 nhiệt độ hoạt động 550, 600 650 oC 92 43 Hình 4.13: Sự phụ thuộc t90 thời gian đáp ứng t90 thời gian hồi phục vào nhiệt độ hoạt động từ 500 - 650 oC với nồng độ NO2 60 ppm 96 [142] D T A Thư Chế tạo nghiên cứu tính chất cảm biến nhạy cồn sở vật liệu oxit perovskite Luận án tiến sỹ khoa học vật liệu, Hà Nội, 2011 [143] D T A Thu, H T Giang, D T Thu, H T Duy, G H Thai, P Q Ngan and N N Toan, Ion conductivity of YSZ materials synthesized by solgel method, Vietnam Journal of Chemistry 50 (5B) (2012) 42-46 [144] N N Toan, S Saukko and V Lantto, Gas sensing with semiconducting perovskite oxide LaFeO3, Physica B 327 (2003) 279-282 [145] Y Tokura, Metal-insulator phenomena in perovskites of transition metal oxide, Physica B 237-238 (1997) 1-5 [146] M Tomoda, S Okano, Y Itagaki, H Aono and Y Sadaoka, Air quality prediction by using semiconducting gas sensor with newly fabricated SmFeO3 film, Sensors and Actuators B 97 (2004) 190-197 [147] P V Tong, N D Hoa, V V Quang, N V Duy and N V Hieu, Diameter controlled synthesis of tungsten oxide nanorod bundles for highly sensitive NO2 gas sensors, Sensors and Actuators B 183 (2013) 372-380 [148] N Trang, B T Cong, P H Thao, N D Tho and H N Nhat, Magnetic state of the bulk, surface and nanoclusters of CaMnO3: a DFT study, Physica B 406 (2011) 3613-3621 [149] D D Trung, N D Hoa, P V Tong, N V Duy, T.D Dao, H V Chung, T Nagao and N V Hieu, Effective decoration of Pd nanoparticles on the surface of SnO2 nanowires for enhancement of CO gas-sensing, Journal of Hazardous Materials 265 (2014) 124-132 [150] M V Twigg, Progress and future challenges in controlling automotive exhaust gas emissions, Applied Catalysis B 70 (2007) 2-15 [151] T Ueda, P Elumalai, V V Plashnitsa and N Miura, Mixed-potentialtype zirconia-based sensor using In2O3 sensing-electrode for selective detection of methane at high temperature, Chemistry Letters 37 (2008) 120-121 [152] P T H Van, N H Thanh, V V Quang, N V Duy, N D Hoa and N V Hieu, Scalable fabrication of high-performance NO2 gas sensors based on tungsten oxide nanowires by on-chip growth and RuO2functionalization, ACS Applied Materials & Interfaces (2014) 12022−12030 [153] P T H Van, N H Thanh, V V Quang, N V Duy, N D Hoa and N V Hieu, Scalable Fabrication of High-Performance NO2 Gas Sensors Based on Tungsten Oxide Nanowires by On-Chip Growth and RuO2Functionalization, ACS Applied Materials & Interfaces (2016) [154] T Vaz and A V Salker, Preparation, characterization and catalytic CO oxidation studies on LaNi1−xCoxO3 system, Materials Science and Engineering B 143 (2007) 81-84 116 [155] D D Vuong, V X Hien, K Q Trung and N D Chien, Synthesis of SnO2 micro-spheres, nano-rods and nano-flowers via simple hydrothermal route, Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures 44 (2011) 345-349 [156] D D Vuong, K Q Trung, N H Hung, N V Hieu and N D Chien, Facile preparation of large-scale α-Fe2O3 nanorod/SnO2 nanorod composites and their LPG-sensing properties, Journal of Alloys and Compounds 599 (2014) 195-201 [157] D Westphal, S Jakobs and U Guth, Gold-composite electrodes for hydrocarbon sensors based on YSZ solid electrolyte, Ionics (2001) 182-186 [158] S Wiegärtner, G Hagen, J Kita, D Schönauer-Kamin, W Reitmeier, M Hien, P Grass and R Moos, Thermoelectric Hydrocarbon Sensor in Thick-film Technology for On-Board-Diagnostics of a Diesel Oxidation Catalyst, Procedia Engineering 87 (2014) 616 - 619 [159] C Xu, J Tamaki, N Miura and N Yamazoe, Grain size effects on gas sensitivity of porous SnO2-based elements, Sensors and Actuators B (1991) 147-155 [160] N Yamazoe, Y Kurokawa and T Seiyama, Effects of additives on semiconductor gas sensors, Sensors and Actuators (1983) 283-289 [161] H C Yao, X W Wang, H Dong, R.-R Pei, J S Wang and Z J Li, Synthesis and characteristics of nanocrystalline YSZ powder by polyethylene glycol assisted coprecipitation combined with azeotropicdistillation process and its electrical conductivity, Ceramics International 37 (2011) 3153-3160 [162] Y Yokoi and H Uchida, Catalytic activity of perovskite-type oxide catalysts for direct decomposition of NO: Correlation between cluster model calculations and temperature-programmed desorption experiments, Catalysis Today 42 (1998) 167-174 [163] J Yoo, S Chatterjee and E D Wachsman, Sensing properties and selectivities of a WO3/YSZ/Pt potentiometric NOx sensor, Sensors and Actuators B 122 (2007) 644-652 [164] J W Yoon, M L Grilli, E D Bartolomeo, R Polini and E Traversa, The NO2 response of solid electrolyte sensor made using nano-sized LaFeO3 electrode, Sensors and Actuators B 76 (2001) 483-488 [165] G Zhang and J Lin, Synthesis, electronic and magnetic properties of the double B mixed perovskite series La0.5Sr0.5Mn1−xFexO3, Journal of Alloys and Compounds 507 (2010) 47-52 [166] L Zhang, J Hu, P Song, H Qin and M Jiang, Electrical properties and ethanol-sensing characteristics of perovskite La1−xPbxFeO3, Sensors and Actuators B 114 (2006) 836-840 117 [167] M Zhao, H Peng, J Hu and Z Han, Effect of Cobalt doping on the microstructure, electrical and ethanol-sensing properties of SmFe1−xCoxO3, Sensors and Actuators B 129 (2008) 953-957 [168] S Zhuiykov Electrochemistry of Zirconia Gas Sensors CRC Publisher, 2008 [169] S Zhuiykov and N Miura, Development of zirconia-based potentiometric NOx sensors for automotive and energy industries in the early 21st century: What are the prospects for sensors?, Sensors and Actuators B 121 (2007) 639-651 [170] S Zhuiykov, T Nakano, A Kunimoto, N Yamazoe and N Miura, Potentiometric NOx sensor based on stabilized zirconia and NiCr2O4 sensing electrode operating at high temperatures, Electrochemistry Communications (2001) 97-101 [171] J Zosel, K Ahlborn, R Muller, D Westphal, V Vashook and U Guth, Selectivity of HC-sensitive electrode materials for mixed potential gas sensors, Solid State Ionics 169 (2004) 115-119 118 ... ĐỨC THỌ NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO ĐIỆN CỰC NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN ĐIỆN HĨA TỪ VẬT LIỆU NANÔ PEROVSKITE LaMO3 (M = Mn, Fe, Co, Ni) Chuyên ngành: Vật liệu Linh kiện Nanô Mã số: Chuyên ngành đào tạo thí... sở nghiên cứu trên, nghiên cứu sinh tập thể hướng dẫn thực nội dung luận án liên quan đến việc Nghiên cứu, chế tạo điện cực nhạy khí cảm biến điện hóa từ vật liệu nanô Perovskite LaMO3 (M = Mn,. .. TRƯNG NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN YSZ SỬ DỤNG ĐIỆN CỰC LaMO3 (M = Mn, Fe, Co, Ni) 78 4.1 Nhiệt độ ủ cao cho nghiên cứu hệ cảm biến Pt/YSZ /LaMO3 78 4.2 Hệ cảm biến Pt/YSZ /LaMO3 (M= Mn, Fe,