cảm biến chân không vacuum sensor

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA TP.HCM KHOA KHOA HỌC ỨNG DỤNG NGÀNH VẬT LÝ KỸ THUẬT VACUUM SENSOR GVHD: TS Đinh Sơn Thạch HVTH: Lê Thị Kim Nhung Phạm Quốc Việt Mục lục I MỞ ĐẦU VÀ TỔNG QUAN II III NGUYÊN LÝ VÀ CẤU TẠO HỆ THỐNG VÀ ỨNG DỤNG I MỞ ĐẦU VÀ TỔNG QUAN 1661 1930 1955 1979 1973 460-375TCN 1594 1644 1969 1648 1967 1820 Handbook of Vacuum Technology, ISBN: 978-3-527-40723-1 2014 2012 2010 2007 2000 Không gian Vacu um Đầu tư sao? Phát triển nào? sens or Ứng dụng sao? II NGUYÊN LÝ VÀ CẤU TẠO Phần II Nguyên lý hoạt động cấu tạo loại cảm biến chân không Các loại cảm biến chân không 2.1 Cảm biến chân không phương pháp gián tiếp 2.1.1 Cảm biến dùng tính dẫn nhiệt 2.1.1.3 Cảm biến chân không dùng phương pháp Spining Rotor Phạm vi: 0,1 đến 10 -7 mbar Lý thuyết: Làm chậm lại bay lên bi gây tác dụng kéo phân tử bề mặt bóng & khí Phụ thuộc vào: áp suất, khí trọng lượng phân tử nhiệt độ bóng Ưu điểm: Rất xác đo Vấn đề: Đắt khí & trạng thái bề mặt 2.1.1.3 Cảm biến chân không dùng phương pháp Spining Rotor Độ nhớt áp suất tính từ sụt giảm tần số ν với thời gian từ công thức: Trong đó: r bán kính bóng, ρK mật độ khí, ν (t) tần số bóng thời điểm t, ν (0) tần số ban đầu phép đo, α hệ số nghỉ, v vận tốc trung bình hạt khí 2.1.1.3 Cảm biến chân không phương pháp trực tiếp Cảm biến chân không dùng áp kế điện dung -6 Phạm vi: áp suất khí đến 10 mbar Lý thuyết: Thay đổi điện dung điện cực (hoặc điện cực) hoành Vấn đề: Nhạy cảm với nhiệt độ, dầu Ưu điểm: Độ ổn định cao, tỉ lệ tín hiệu nhiễu lớn Đáp ứng nhanh, độ xác cao 2.1.1.3 Cảm biến chân không phương pháp phân tích khí Phạm vi: toàn áp suất Lý thuyết: Dựa phân tích khí cách ion hóa, tách, phát ion để xác định áp suất riêng phần khí hệ thống chân không Vấn đề: Hệ thống phức tạp, tinh vi, công nghệ cao Ưu điểm: Đo tất loại áp suất từ khí chân không siêu cao Độ xác cao Ổn định III HỆ THỐNG VÀ ỨNG DỤNG CẢM BIẾN ĐƯỜNG ỐNG NẠP MAP Chất khí Áp suất MAP Cảm biến Ngưỡng điện áp Kích thước NHIỆM VỤ CẤU TẠO VAI TRÒ NGUYÊN LÝ GIÁ THÀNH CẤU TẠO NGUYÊN LÝ VAI TRÒ TRONG HỆ THỐNG Bảng giá số loại cảm biến MAP hãng TOYOTA Standard AS52 Corolla | All Trac | Cyl 1.6L 70.76$ Corolla | Base | Cyl 1.8L | Cyl 1.6L … Beck Arnley 158-0657 Corolla | All Submodels | All Engines 132.70$ Celica | All Submodels | All Engines OES Genuine W0133-1819428 RAV4 | Base | Cyl 2.0L 219.95$ … Standard AS67 Camry | Base | Cyl 2.2L 135.51$ Camry | DLX | Cyl 2.2L …… Giá tham khảo http://www.autopartswarehouse.com/shop_parts/map_sensor/toyota.html?redirect=1 [...]... của các hạt khí 2.1.1.3 Cảm biến chân không bằng phương pháp trực tiếp Cảm biến chân không dùng áp kế điện dung -6 Phạm vi: áp suất khí quyển đến 10 mbar Lý thuyết: Thay đổi điện dung giữa các điện cực (hoặc điện cực) và cơ hoành Vấn đề: Nhạy cảm với nhiệt độ, dầu Ưu điểm: Độ ổn định cao, tỉ lệ tín hiệu trên nhiễu lớn Đáp ứng nhanh, độ chính xác cao 2.1.1.3 Cảm biến chân không bằng phương pháp phân...2.1.1.1a Cảm biến chân không dùng cặp nhiệt Cặp nhiệt: Thay đổi nhiệt độ của dây tóc được ghi nhận bởi một cặp nhiệt điện Phạm vi: 5 đến 10-3 mbar (Trên 5, nhiệt độ thay đổi sợi rất ít) Ưu điểm: Sử dụng năng lượng rất thấp 2.1.1.1b Cảm biến chân không dùng phương pháp Pirani Điện áp không đổi Pirani: Điện áp đặt lên dây tóc là không đổi, nhiệt độ thay đổi Phạm vi: 10... thống chân không Vấn đề: Hệ thống phức tạp, tinh vi, công nghệ cao Ưu điểm: Đo được tất cả các loại áp suất từ khí quyển cho đến chân không siêu cao Độ chính xác cao Ổn định III HỆ THỐNG VÀ ỨNG DỤNG CẢM BIẾN ĐƯỜNG ỐNG NẠP MAP Chất khí Áp suất MAP Cảm biến Ngưỡng điện áp Kích thước NHIỆM VỤ CẤU TẠO VAI TRÒ NGUYÊN LÝ GIÁ THÀNH CẤU TẠO NGUYÊN LÝ VAI TRÒ TRONG HỆ THỐNG Bảng giá một số loại cảm biến MAP... phương pháp Pirani Điện áp không đổi Pirani: Điện áp đặt lên dây tóc là không đổi, nhiệt độ thay đổi Phạm vi: 10 đến 10 -3 mbar Vấn đề: ô nhiễm (bởi dầu, vv) 2.1.1.1b Cảm biến chân không dùng phương pháp Pirani 2.1.1.2 Cảm biến chân không dùng phép đo ion hoá 2.1.1.2a Phép đo ion hoá dùng phương pháp Hot cathode Range: 10-3 đến 10-10 mbar Giới hạn dưới: phát tia X từ lưới điện Giới hạn trên: Các phản... mà không cần khuếch đại 2.1.1.2b Phép đo ion hoá dùng phương pháp Cole cathode Ưu điểm: Nhanh hơn HCG Không dùng Filament nên không sợ bị đốt cháy Không cần thiết để khử khí Không quan tâm đến vấn đề tia X Các vấn đề: Dòng ion không tuyến tính với áp suất, thay vào đó Khi bắt đầu, HCG có thể bị delay Ít chính xác hơn HCG Cần làm sạch bình đo thuỷ tinh(có hơi dầu) là mối quan hệ hàm mũ 2.1.1.3 Cảm biến. .. mối quan hệ hàm mũ 2.1.1.3 Cảm biến chân không dùng phương pháp Spining Rotor Phạm vi: 0,1 đến 10 -7 mbar Lý thuyết: Làm chậm lại của một bay lên bi gây ra bởi các tác dụng kéo phân tử giữa các bề mặt bóng & khí Phụ thuộc vào: áp suất, khí trọng lượng phân tử và nhiệt độ bóng Ưu điểm: Rất chính xác đo Vấn đề: Đắt của khí & trạng thái bề mặt quả 2.1.1.3 Cảm biến chân không dùng phương pháp Spining Rotor... chúng Một dây nằm ở trung tâm của hình trụ thu thập các ion, tạo ra dòng điện Dòng điện tỉ lệ với áp suất cần đo Yêu cầu năng lượng của một dây tóc thông thường cho phát xạ 1mA là 10-15 W 2.1.1.2 Cảm biến chân không dùng phép đo ion hoá 2.1.1.2a Phép đo ion hoá dùng phương pháp Hot cathode 2.1.1.2a Phép đo ion hoá dùng phương pháp Hot cathode 2.1.1.2a Phép đo ion hoá dùng phương pháp Hot cathode 2.1.1.2a... Genuine W0133-1819428 RAV4 | Base | 4 Cyl 2.0L 219.95$ … Standard AS67 Camry | Base | 4 Cyl 2.2L 135.51$ Camry | DLX | 4 Cyl 2.2L …… Giá trên tham khảo tại http://www.autopartswarehouse.com/shop_parts/map _sensor/ toyota.html?redirect=1