CẢM BIẾN ĐỘ ẨM Humidity sensor

Tiểu luận tính chất và công nghệ vật liệu ĐỀ TÀI CẢM BIẾN ĐỘ ẨM Humidity sensor PHÂN LOẠI CẤU TẠO THÀNH PHẦN CERAMIC CHO PHẦN CẢM BIẾN CẢM BIẾN ĐỘ ẨMLà 1 loại thiết bị cảm biến được dùng để đo độ ẩm tương đối sử dụng trong các lĩnh vực: nông nghiệp, khí tượng, dụng cụthiết bị y học, các ngành công nghiệp đòi hỏi về độ ẩm, Và trong đời sống con người

Báo cáo môn Tính chất & Công nghệ Vật liệu

06/2011

2

Dựa vào cơ chế hoạt động người ta

có thể đưa ra các loại cảm biến:

PHÂN LOẠI

CẤU TẠO

Ảnh SEM mặt cắt của 1 cảm biến

CẤU TẠO

THÀNH PHẦN CERAMIC CHO PHẦN CẢM BiẾN

Thường được sử dụng cho các

cảm biến có thang đo thấp (độ ẩm tương đối (RH<= 15%).

Có 2 loại thường sử dụng là

α và γ Al2O3.

Phương pháp chế tạo:

bốc bay điện tử,

bốc bay phản kháng,

phân tích điện tử.

Al2O3

TiO2

SiO2

CẢM BiẾN ĐỘ ẨM

Là 1 loại thiết bị cảm biến được dùng để đo độ ẩm tương đối sử dụng trong các lĩnh vực:

- nông nghiệp,

- khí tượng,

- dụng cụ/thiết bị y học,

- các ngành công nghiệp đòi hỏi

về độ ẩm,

- Và trong đời sống con người.

[1] Humidity Sensors: A Review of Materials and Mechanisms [2] Zhi Chen and Chi Lu, SENSOR LETTERS Vol 3, 274–295,

2005

[3] Introduction_to_Relative_Humidity_E Copyright© 2009,

SENSIRION.

[4] Lei Gu, Qing-An Huang , Ming Qin, ∗, Ming Qin, A novel capacitive-type humidity sensor using CMOS 2004

TÀI LiỆU THAM KHẢO