1. Trang chủ
  2. » Giáo án - Bài giảng

GIÁO TRÌNH cảm BIẾN, đại học cần THƠ

87 341 0

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

THÔNG TIN TÀI LIỆU

TRÖÔØNG ÑAÏI HOÏC CAÀN THÔ KHOA CÔNG NGH THÔNG TIN VÀ TRUY N THÔNG Giáo Trình C M BI N Chuû bieân: Ks. Nguy n H u C Caàn Thô, 2007 ng M CL C Ch 1.1 ng 1: nh ngh a và các đ c tr ng c a c m bi n nh ngh a c m bi n ..................................................................... 1 1.2 Phân lo i c m bi n ....................................................................... 2 1.2.1 C m bi n tích c c ....................................................................... 2 1.2.2 C m bi n th đ ng ...................................................................... 2 1.2.3 Các phân lo i khác ...................................................................... 3 1.3 Các đ c tr ng c b n c a c m bi n............................................. 3 1.3.1 Sai s c a phép đo....................................................................... 3 1.3.2 nh y ...................................................................................... 4 1.3.3 tuy n tính............................................................................... 5 1.3.4 nhanh ..................................................................................... 6 1.3.5 M t s đ c tr ng khác................................................................. 6 1.4 Gi i h n s d ng .......................................................................... 7 1.5 Nhi u và bi n pháp kh c ph c...................................................... 7 1.5.1 Các đ i l ng nh h ng đ n k t qu đo ................................... 7 1.5.2 Nhi u ........................................................................................... 8 1.5.3 Bi n pháp kh c ph c................................................................... 8 Ch 2.1 ng 2: Các hi u ng v t lý ng d ng trong c m bi n Hi u ng c m ng đi n t ............................................................ 10 2.1.1 Thí nghi m Faraday .................................................................... 10 2.2 2.1.2 nh lu t Lenz............................................................................. 11 2.1.3 nh lu t c m ng đi n t ........................................................... 12 Hi u ng nhi t đi n....................................................................... 12 2.2.1 Hi u ng Peltier .......................................................................... 12 2.2.2 Hi u ng Thomson...................................................................... 13 2.2.3 Hi u ng Seebeck ....................................................................... 13 2.3 Hi u ng quang đi n .................................................................... 14 2.3.1 Hi u ng quang đi n ................................................................... 15 2.3.2 Hi n t ng quang d n................................................................. 16 2.3.3 Hi n t ng quang phát x đi n t ............................................... 17 2.4 Hi u ng quang đi n t ................................................................ 18 2.5 Hi u ng Hall ................................................................................ 18 2.5.1 Hi u ng Hall.............................................................................. 18 2.5.2 ng d ng..................................................................................... 19 2.6 Hi u ng áp đi n .......................................................................... 20 2.7 Hi u ng h a đi n ........................................................................ 21 2.8 Hi u ng Doppler.......................................................................... 21 2.8.1 Hi u ng Doppler........................................................................ 21 2.8.2 ng d ng..................................................................................... 22 Ch 3.1 ng 3: C m bi n nhi t đ Các đ c tr ng c a nhi t đ ........................................................... 24 3.1.1 Thang nhi t đ ............................................................................ 24 ng pháp đo nhi t đ ............................................................. 25 3.2 Ph 3.3 C m bi n nhi t đi n tr ................................................................ 25 3.3.1 H s nhi t đ c a đi n tr ......................................................... 25 3.3.2 i n tr kim lo i ......................................................................... 26 3.3.3 Nhi t đi n tr .............................................................................. 28 3.3.4 3.4 i n tr silic................................................................................ 29 C p nhi t đi n............................................................................... 30 3.4.1 3.4.2 Ph c tr ng..................................................................................... 30 ng pháp ch t o và s đ đo ............................................... 31 3.5 o nhi t đ b ng diode và transistor ............................................ 34 3.6 C m bi n nhi t đ LM35D ............................................................ 36 3.6.1 c đi m ..................................................................................... 36 3.6.2 Các m ch ng d ng..................................................................... 37 Ch 4.1 ng 4: C m bi n quang Ánh sáng và các đ i l ng quang h c ......................................... 40 4.1.1 Tính ch t c a ánh sáng................................................................ 40 4.1.2 Các đ n v đo quang ................................................................... 41 4.2 Ngu n sáng .................................................................................. 41 4.2.1 èn s i đ t wonfram................................................................... 41 4.2.2 Diode phát sáng........................................................................... 42 4.2.3 Laser............................................................................................ 42 4.3 C m bi n quang bán d n.............................................................. 44 4.3.1 T bào quang d n ........................................................................ 44 4.3.2 Photodiode .................................................................................. 47 4.3.3 Phototransistor ............................................................................ 54 4.3.4 Phototransistor tr 4.4 ng ng (photoFET) ..................................... 56 C m bi n quang phát x ............................................................... 57 4.4.1 V t li u ch t o ........................................................................... 57 4.4.2 T bào quang đi n chân không ................................................... 57 4.4.3 T bào quang đi n d ng khí ........................................................ 59 4.4.4 Thi t b nhân quang .................................................................... 59 Ch 5.1 ng 5: M t s ng d ng và các d ng c m bi n khác C m bi n bi n d ng...................................................................... 62 5.1.1 Nguyên lý chung ......................................................................... 62 5.1.2 u đo đi n tr kim lo i ............................................................. 63 5.1.3 u đo đi n tr bán d n.............................................................. 64 5.2 C m bi n siêu âm ......................................................................... 65 5.3 C m bi n khí................................................................................. 66 5.3.1 C m bi n áp đi n th ch anh ........................................................ 67 5.3.2 C m bi n xúc tác......................................................................... 68 5.4 C m bi n t .................................................................................. 68 5.4.1 C m bi n đo v trí và d ch chuy n .............................................. 69 5.4.2 C m bi n đo v n t c ................................................................... 71 5.5 C m bi n công t c ........................................................................ 72 5.5.1 Công t c l i gà .......................................................................... 72 5.5.2 Công t c th y ngân ..................................................................... 73 5.5.3 Công t c gi i h n ........................................................................ 73 5.6 Encoder quang ............................................................................. 74 5.6.1 Encoder d ng t ng....................................................................... 75 5.6.2 Encoder chính xác....................................................................... 76 5.7 Cáp quang .................................................................................... 77 5.7.1 C u t o và tính n ng ................................................................... 77 5.7.2 5.8 M ts ng d ng..................................................................................... 77 ng d ng c a c m bi n .................................................... 78 5.8.1 Tachometer quang hi n th t c đ quay b ng LED .................... 78 5.8.2 ng d ng c m bi n khí phát hi n khí metan .............................. 80 5.8.3 B đ c mã v ch........................................................................... 80 5.8.4 o m c ch t l u.......................................................................... 81 Giáo trình C m bi n Ch ng 1 NH NGH A VÀ CÁC 1.1 C TR NG C A C M BI N nh ngh a c m bi n Các đ i l ng c n đo m là các đ i l ng v t lý nh nhi t đ , áp su t… Khi ti n hành đo đ i l ng m này ta nh n đ c đ i l ng đi n s t ng ng đ u ra. Vi c đo đ c m đ c th c hi n b ng các c m bi n. i l ng c n đo (m) i l ng đi n (s) C m bi n Hình 1-1: Ch c n ng c a c m bi n C m bi n đ c đ nh ngh a theo ngh a r ng là thi t b c m nh n và đáp ng v i các tín hi u và kích thích. C m bi n là thi t b ch u tác đ ng c a đ i l ng c n đo m không có tính ch t đi n và t o đ u ra m t đ i l ng đi n s có th đo đ c (đi n tích, đi n áp, dòng đi n ho c tr kháng). i l ng đi n s là hàm c a đ i l ng c n đo m: s = F (m ) trong đó: s–đ il m–đ il (1.1) ng đ u ra ho c đáp ng c a c m bi n ng đ u vào hay kích thích (đ i l ng c n đo) Bi u th c s = F (m ) bi u di n ho t đ ng c a c m bi n, đ ng th i bi u di n s ph thu c vào c u t o, v t li u làm c m bi n, vào môi tr ng và ch đ s d ng. s d ng bi u th c này đòi h i ph i chu n hóa c m bi n: t nh ng giá tr đã ng bi t chính xác c a m, đo giá tr t ng ng c a s và d ng đ ng cong chu n. cong này cho phép xác đ nh m i giá tr c a m t s. s sj si mi Hình 1-2: mj m ng cong chu n Thông th ng đ d s d ng ng i ta ch t o c m bi n sao cho bi n thiên đ u ra ∆s tuy n tính v i bi n thiên đ u vào ∆m: ∆s = S .∆m trong đó: (1.2) S – đ nh y c a c m bi n M t c m bi n t t ph i có đ nh y S không đ i, ít ph thu c vào các y u t sau: Trang 1 Giáo trình C m bi n - Giá tr c a đ i l thông). - Th i gian s d ng (đ lão hóa). - nh h ng c n đo m (đ tuy n tính) và t n s bi n đ i c a nó (d i ng c a các đ i l ng v t lý khác (nhi u) c a môi tr ng xung quanh. Trong mô hình m ch đi n, ta có th coi c m bi n nh m t m ch hai c a. Trong đó c a vào là bi n tr ng thái c n đo x và c a ra là đáp ng y c a b c m bi n v i kích thích đ u vào x. Ph ng trình quan h : y = f(x) th ng r t ph c t p. 1.2 Phân lo i c m bi n C m bi n là m t ph n t c a m ch đi n, do đó ta có th coi c m bi n: - Là m t máy phát, trong đó đáp ng ngõ ra c a c m bi n là đi n tích, đi n áp hay dòng đi n, ta g i là c m bi n tích c c. - Là m t tr kháng, trong đó đáp ng ngõ ra c a c m bi n là đi n tr , đ t c m ho c đi n dung, ta g i là c m bi n th đ ng. 1.2.1 C m bi n tích c c V m t nguyên lý, c m bi n tích c c th ng d a trên hi u ng v t lý bi n đ i m t d ng n ng l ng nào đó (nhi t, c , b c x ,…) thành n ng l ng đi n. Nh ng hi u ng đ c ng d ng trong c m bi n tích c c đ c trình bày trong Ch ng 2. 1.2.2 C m bi n th đ ng C m bi n th đ ng th ng đ c ch t o t nh ng tr kháng có các thông s nh y v i đ i l ng c n đo. Giá tr c a tr kháng ph thu c vào kích th c hình h c, tính ch t đi n c a v t li u nh đi n tr su t ρ, đ t th m µ, h ng s đi n môi ε. Do đó, giá tr tr kháng b thay đ i khi đ i l ng c n đo tác đ ng nh h ng đ n kích th c hình h c và tính ch t đi n c a v t li u. Kích th c hình h c c a tr kháng thay đ i n u c m bi n có ph n t chuy n đ ng ho c ph n t bi n d ng: - C m bi n ch a ph n t chuy n đ ng, m i v trí c a ph n t t ng ng v i m t giá tr tr kháng. Cho nên, đo tr kháng s xác đ nh đ c v trí đ i t ng. ây là nguyên lý c a các lo i c m bi n v trí ho c d ch chuy n. - C m bi n ch a ph n t bi n d ng. S thay đ i tr kháng do bi n d ng gây nên b i l c ho c các đ i l ng c n đo tác đ ng tr c ti p ho c gián ti p lên c u trúc c m bi n. Tính ch t đi n ph thu c vào b n ch t các v t li u, có th nh y v i m t ho c hi u đ i l ng v t lý nh nhi t đ , đ chi u sáng, áp su t, đ m. S thay đ i c a tr kháng d i tác d ng c a đ i l ng c n đo ch có th xác đ nh đ c khi c m bi n là m t thành ph n trong m ch đi n. Tùy tr ng h p c th mà ta ch n m ch đo thích h p v i c m bi n. Trang 2 Giáo trình C m bi n i l ng c n đo Nhi t đ c tr ng nh y c m i n tr su t, ρ B c x ánh sáng i n tr su t, ρ Bi n d ng V trí m M c ch t l u Lo i v t li u s d ng Kim lo i: Pt, Ni, Cu Bán d n Th y tinh Bán d n H p kim Ni, Si pha t p H p kim s t t V t li u t đi n tr : Bi, InSb LiCl Al2O3, polyme Ch t l u cách đi n i n tr su t, ρ t th m, µ i n tr su t, ρ i n tr su t, ρ H ng s đi n môi, ε H ng s đi n môi, ε B ng 1.1 - 1.2.3 Các phân lo i khác a. Phân lo i theo nguyên lý chuy n đ i gi a đáp ng và kích thích - V t lý: nhi t đi n, quang đi n, đi n t , t đi n… - Hóa h c: hóa đi n, ph … - Sinh h c: sinh đi n… b. Phân lo i theo d ng kích thích: âm thanh, đi n, t , quang, nhi t, l c… c. Phân lo i theo đ c tr ng: đ nh y, đ chính xác, đ phân gi i, đ tuy n tính… d. Phân lo i theo ph m vi s d ng: công nghi p, nghiên c u khoa h c, môi tr ng, thông tin, nông nghi p… 1.3 Các đ c tr ng c b n c a c m bi n 1.3.1 Sai s c a phép đo K t qu c a m i phép đo đ u ch a đ ng sai s . Giá tr th c c a đ i l ng đo cho bi t s kích thích tác đ ng lên c m bi n, nh ng ta ch có đ c đáp ng c a h đo, g i là giá tr đo. Hi u s gi a giá tr th c và giá tr đo đ c là sai s c a phép đo. N u g i ∆x là sai s tuy t đ i, thì sai s t δ% = ng đ i c a c m bi n là: ∆x .100% x (1.3) Sai s c a phép đo ch có th đánh giá m t cách c l ng b i vì không th bi t đ c giá tr th c c a đ i l ng đo. Ng i ta th ng phân sai s làm hai lo i, sai s h th ng và sai s ng u nhiên. a. Sai s h th ng: Gi s ta đo m t đ i l ng đã bi t tr c giá tr th c. N u nh giá tr trung bình c a các giá tr đo luôn l ch giá tr th c không ph thu c vào s l n đo thì ta nói có sai s h th ng. Sai s h th ng có th không đ i ho c thay đ i ch m theo th i gian đo, xu t hi n đ l ch không đ i gi a giá tr th c và giá tr đo. Sai s h th ng th ng do hi u bi t sai ho c không đ y đ v h đo hay đi u ki n s d ng không t t. M t s nguyên nhân th ng g p: Trang 3 Giáo trình C m bi n - Sai s do giá tr đ i l ng chu n không đúng. - Sai s do đ c tính c a c m bi n (đ nh y ho c đ - Sai s do đi u ki n s d ng và ch đ s d ng. - Sai s do x lý k t qu đo. ng cong chu n). b. Sai s ng u nhiên Sai s ng u nhiên có biên đ và d u không xác đ nh. Có th d đoán đ c nguyên nhân sai s ng u nhiên nh ng không th bi t tr c đ l n c a chúng. M t s nguyên nhân d n đ n sai s ng u nhiên: - Sai s do tính không xác đ nh c a đ c tr ng thi t b : tính linh đ ng c a thi t b , đ c sai s li u, sai s tr do m ch đo ch a ph n t có đ tr . - Sai s do tín hi u nhi u ng u nhiên: gây kích thích nhi t các h t d n trong linh ki n, c m ng ký sinh do b c x đi n t , đi n áp ngu n t ng gi m. - Sai s do các đ i l ng nh h ng. Có th gi m đ l n c a sai s ng u nhiên b ng m t s bi n pháp th c nghi m: b o v m ch đo b ng cách n đ nh nhi t đ và đ m môi tr ng đo, dùng giá đ ch ng rung, s d ng các b đi u ch nh đi n áp ngu n t đ ng, các b ADC có đ phân gi i thích h p, che ch n, n i đ t các thi t b đi n, s d ng các b l c tín hi u… 1.3.2 a. nh y nh ngh a nh y S xung quanh m t giá tr đ i l ng đo không đ i mi đ c xác đ nh b i t s gi a bi n thiên ∆s c a đ i l ng đ u ra và bi n thiên t ng ng ∆m c a đ i l ng đ u vào: ⎛ ∆s ⎞ S =⎜ ⎟ ⎝ ∆m ⎠ m = m (1.4) i n v đo đ nh y ph thu c vào nguyên lý c a c m bi n và các đ i l ng liên quan. Thí d : Ω/°C, µV/°C. Tr s đ nh y có th ph thu c vào v t li u, kích th c hay ki u l p ráp. Giá tr c a đ nh y S t ng ng v i nh ng đi u ki n làm vi c c a c m bi n th ng do nhà s n xu t cung c p. D a vào đó có th đánh giá đ c đ l n c a đ i l ng đ u ra và đ l n c a bi n thiên c a đ i l ng đo. Cho phép l a ch n các c m bi n phù h p th a mãn các đi u ki n đ t ra. nh y có th là hàm c a các thông s b sung có nh h ng đ n đáp ng c a c m bi n (đi n áp, t n s ngu n nuôi, nhi t đ môi tr ng, t n s bi n thiên c a đ i l ng đo. Thí d , đ nh y c a bi n th vi sai có đáp ng t l v i biên đ đi n áp ngu n E: ⎛ ∆s ⎞ S (E ) = S1 .E = ⎜ ⎟ ⎝ ∆m ⎠ m = m (1.5) i có ngh a là: S1 = 1 ⎛ ∆s ⎞ .⎜ ⎟ E ⎝ ∆m ⎠ m = m (1.6) i Trang 4 Giáo trình C m bi n b. nh y t nh c tr ng t nh c a c m bi n là đ th bi u di n các giá tr si c a đ i l ng đi n t ng ng v i các giá tr không đ i mi c a đ i l ng đo khi đ i l ng này đ t ch đ làm vi c danh đ nh. i m làm vi c Qi là đ c tr ng t nh t ng ng v i các giá tr mi, si. nh y t nh đi m làm vi c Qi là t s gi a ∆s và ∆m t ng ng. Nh v y, đ nh y t nh là đ d c c a đ c tr ng t nh đi m làm vi c. N u đ c tr ng t nh không tuy n tính thì đ nh y t nh ph thu c vào đi m làm vi c. nh y đ ng c. Khi đ i l ng đo là hàm tu n hoàn theo th i gian thì đ i l làm vi c danh đ nh c ng là hàm tu n hoàn theo th i gian. Gi s đ i l trong đó: ng đo m có d ng: ng đ u ra m(t ) = m0 + m1 cos ωt (1.7) m0 – giá tr không đ i m1 – biên đ đ i l f = ng đo ω - t n s bi n thiên c a đ i l 2π ng đo áp ng s có d ng: s (t ) = s 0 + m1 cos(ωt + ϕ ) trong đó: ch đ s0 – giá tr không đ i ng v i m0 t i đi m Q0 trên đ ch đ t nh (1.8) ng cong chu n s1 – biên đ đ u ra ϕ - đ l ch pha gi a đ u vào và đ u ra Lúc này, đ nh y đ ng đ c xác đ nh b ng t s gi a bi n thiên c a s và m: ⎛s ⎞ S = ⎜⎜ 1 ⎟⎟ ⎝ m1 ⎠ Q (1.9) 0 D a vào đ nh y đ ng cho phép xác đ nh đ c tính t n s c a c m bi n. 1.3.3 tuy n tính a. Tuy n tính M t c m bi n đ c g i là tuy n tính n u trong m t d i đo xác đ nh đ nh y không ph thu c vào giá tr c a đ i l ng đo. N u c m bi n không tuy n tính, ta có th b sung vào m ch đo các thi t b hi u ch nh (tuy n tính hóa), làm cho tín hi u đi n t l v i s thay đ i c a đ i l ng đo. b. ng th ng t t nh t B ng th c nghi m, ng i ta nh n đ c m t lo t các đi m t ng ng si, mi. Trong các tr ng h p c m bi n là tuy n tính v m t lý thuy t nh ng các đi m này c ng không n m trên m t đ ng th ng. Nguyên nhân là do có s không chính xác trong khi đo và nh ng sai l ch trong quá trình ch t o c m bi n. Tuy nhiên, t các đi m th c nghi m có th xây d ng đ c đ ng th ng bi u di n s tuy n tính c a c m bi n. ng th ng này g i là đ ng th ng t t nh t, có bi u th c: Trang 5 Giáo trình C m bi n s = am + b trong đó: a= (1.10) N .∑ si .mi − ∑ si .∑ mi N .∑ mi2 − (∑ mi ) 2 ∑ s .∑ m − ∑ s .m ∑ m b= N .∑ m − (∑ m ) i 2 i i 2 i i i 2 i v i N là s đi m th c nghi m c. l ch tuy n tính l ch tuy n tính là đ l ch c c đ i gi a đ ng cong chu n và đ ng th ng t t nh t (tính b ng %) trong d i đo. l ch tuy n tính cho phép đánh giá đ tuy n tính c a đ ng cong chu n. 1.3.4 a. nhanh nhanh nhanh tr là kho ng th i gian t khi đ i l ng đo thay đ i đ t ng t đ n khi bi n thiên c a đ i l ng đ u ra s c a c m bi n khác giá tr cu i cùng c a nó m t l ng ε%. nhanh cho phép đánh giá đ i l s bi n thiên đ i l ng đo hay không. ng đ u ra có đáp ng k p v th i gian v i b. Th i gian đáp ng Th i gian đáp ng dùng đ xác đ nh giá tr c a đ nhanh. C m bi n càng nhanh thì th i gian đáp ng càng nh . Th i gian đáp ng t ng ng kho ng th i gian đ i ch sau khi có bi n thiên c a đ i l ng đo đ có giá tr s ngõ ra v i đ chính xác ε%. - Trong tr ng h p s thay đ i c a đ i l ng đo có d ng b c thang d n đ n s t ng lên c a đ i l ng đ u ra, kho ng th i gian tr khi t ng lên, tdm, là th i gian c n thi t đ đ i l ng đ u ra s t ng t giá tr ban đ u c a nó đ n 10% c a bi n thiên t ng c ng c a đ i l ng này và kho ng th i gian t ng tm là th i gian c n thi t đ đ i l ng đ u ra s t ng t 10% đ n 90% c a bi n thiên t ng c ng c a nó. - Trong tr ng h p s thay đ i c a đ i l ng đo có d ng b c thang d n đ n s gi m xu ng c a đ i l ng đ u ra, kho ng th i gian tr khi gi m xu ng, tdc, là th i gian c n thi t đ đ i l ng đ u ra s gi m t giá tr ban đ u c a nó đ n 10% c a bi n thiên t ng c ng c a đ i l ng này và kho ng th i gian gi m xu ng tc là th i gian c n thi t đ đ i l ng đ u ra s gi m t 10% đ n 90% c a bi n thiên t ng c ng c a nó. Thông qua các thông s tr, tdm, tm, tdc, tc có th đánh giá v th i gian đáp ng c a m t c m bi n. 1.3.5 M t s đ c tr ng khác a. Dãy đ ng Dãy đ ng là kho ng giá tr c a đ i l ng đo mà c m bi n có th đáp ng. Nh ng giá tr v t ngoài dãy này s t o ra nh ng đáp ng không chính xác. b. đ il phân gi i phân gi i c m bi n đ c hi u là kh n ng phát hi n s thay đ i giá tr c a ng đo nh nh t theo th i gian. Trang 6 Giáo trình C m bi n c. B ng thông T t c c m bi n đ u có gi i h n th i gian đáp ng đ i v i s bi n thiên c a đ i l ng đo. M t s lo i c m bi n có th i gian đáp ng t t d n, t c là kho ng th i gian đáp ng gi m d n thay đ i theo đ i l ng đo. 1.4 Gi i h n s d ng Trong quá trình s d ng, c m bi n luôn ch u tác đ ng c a ng l c c khí ho c nhi t. N u các ng l c này v t quá ng ng cho phép s làm thay đ i các đ c tr ng c a c m bi n. a. Vùng làm vi c danh đ nh Vùng này t ng ng v i các đi u ki n bình th ng c a c m bi n. Biên c a vùng là các giá tr ng ng mà các đ i l ng đo, các đ i l ng v t lý có liên quan đ n đ i l ng đo ho c các đ i l ng nh h ng có th đ t t i mà không làm thay đ i các đ c tr ng c a c m bi n. b. Vùng không gây nên h h ng Khi các giá tr c a đ i l ng đo ho c các đ i l ng có liên quan và các đ i l ng nh h ng v t quá ng ng c a vùng làm vi c danh đ nh nh ng v n còn trong ph m vi c a vùng không gây nên h h ng, các đ c tr ng c a c m bi n có nguy c b thay đ i nh ng nh ng thay đ i này có tính ch t thu n ngh ch, t c là khi tr v vùng danh đ nh thì các đ c tr ng c a c m bi n c ng s tìm l i đ c giá tr ban đ u c a chúng. c. Vùng không phá h y Khi các giá tr c a đ i l ng đo ho c các đ i l ng có liên quan và các đ i l ng nh h ng v t quá ng ng c a vùng không gây nên h h ng nh ng v n còn trong ph m vi c a vùng không phá h y, các đ c tr ng c a c m bi n b thay đ i, và s thay đ i này không thu n ngh ch, t c là khi tr v vùng danh đ nh các đ c tr ng c a c m bi n c ng s không tìm l i đ c giá tr ban đ u c a chúng. Trong tr ng h p nh v y, mu n ti p t c s d ng c m bi n c n ph i ti n hành chu n l i. d. D i đo D i đo c a c m bi n đ c xác đ nh b ng các giá tr gi i h n c a vùng đ i l ng đo mà trong vùng đó ho t đ ng c a c m bi n đáp ng các yêu c u đ ra. Thông th ng d i đo trùng v i vùng làm vi c danh đ nh. Tuy nhiên, tùy theo các ch tiêu mà trong m t s tr ng h p d i đo có th r ng ho c h p h n vùng làm vi c danh đ nh. 1.5 Nhi u và bi n pháp kh c ph c 1.5.1 Các đ i l ng nh h ng đ n tín hi u đo Trên th c t , ngoài đ i l ng c n đo còn có nhi u đ i l ng v t lý khác có th tác đ ng đ n c m bi n nh h ng đ n tín hi u đo. Nh ng đ i l ng này g i là đ i l ng nh h ng ho c đ i l ng gây nhi u. Ch ng h n: - Nhi t đ làm thay đ i các đ c tr ng đi n, c và kích th c c a c m bi n - Áp su t, gia t c, dao đ ng (rung) có th gây bi n d ng và ng su t trong m t s ph n t c a c m bi n Trang 7 Giáo trình C m bi n - m làm thay đ i tính ch t đi n c a v t li u - T tr ng gây nên su t đi n đ ng c m ng ch ng lên tín hi u c n đo, làm thay đ i tính ch t đi n v t li u c u thành c m bi n. l N u g i các đ i l ng nh h ng là g1, g2,… thì bi u th c quan h gi a đ i ng đi n đ u ra s và đ i l ng c n đo m đ c vi t l i: s = F (m, g 1 , g 2 ,...) (1.11) 1.5.2 Nhi u Nhi u xu t hi n ngõ ra c m bi n, bao g m nhi u do c m bi n sinh ra và nhi u do s dao đ ng c a tín hi u kích thích. Nhi u làm gi i h n kh n ng ho t đ ng c a c m bi n. Nhi u đ c phân b qua ph t n s . Ta có th phân nhi u thành 2 lo i: - Nhi u n i t i do s không hoàn thi n trong vi c thi t k , công ngh ch t o, v t li u c m bi n,… đáp ng có th b méo so v i d ng lý t ng. - Nhi u do truy n d n. 1.5.3 Bi n pháp kh c ph c có đ pháp sau đây: c giá tr c n đo m chính xác c n ph i áp d ng m t trong nh ng bi n - Gi m nh h ng c a các đ i l ng gây nhi u đ n m c th p nh t b ng các bi n pháp nh cách đi n, ch ng rung, ch ng t tr ng… n đ nh các đ i l ng nh h ng nh ng giá tr bi t tr trong nh ng đi u ki n đó ( n nhi t, n áp). - S d ng các s đ ghép n i bù tr nh h ng c a các đ i l Nhi u không th lo i tr mà ch có th phòng ng a. kh c ph c nhi u đòi h i nhi u bi n pháp t ng h p. c và chu n c m bi n ng gây nhi u. làm gi m nh h ng và ch ng nhi u ta th ng dùng k thu t vi sai ph i h p c m bi n đôi, trong đó tín hi u ra là hi u c a hai tín hi u ra c a t ng b c m bi n. M t b đ c g i là c m bi n chính, b kia là c m bi n chu n đ c đ t trong màn ch n. Hình 1-3: S đ k thu t vi sai gi m nhi u đ ng truy n ta có th s d ng các bi n pháp sau: - Cách ly ngu n nuôi, dùng màn ch n, n i đ t, l c ngu n. - B trí các linh ki n h p lý, không đ dây cao áp g n đ u vào c m bi n. - S d ng cáp ít nhi u. Trang 8 Giáo trình C m bi n Câu h i ôn t p 1. Phát bi u nào d i đây là sai a. C m bi n là thi t b c m nh n và đáp ng v i tín hi u và kích thích. b. C m bi n là m t m ch hai c a trong mô hình m ch đi n. c. C m bi n đóng vai trò c m nh n, đo đ c các thông s h th ng đi u khi n t đ ng. d. áp ng c m bi n ch ph thu c vào tín hi u kích thích. 2. C m bi n quang là c m bi n đ c phân lo i theo: a. Nguyên lý chuy n đ i gi a đáp ng và kích thích. b. Ph m vi s d ng. c. Thông s mô hình thay th . d. D ng kích thích. 3. Th nào là sai s h th ng và sai s ng u nhiên? Nêu m t s nguyên nhân d n đ n sai s c m bi n. 4. nh y c a c m bi n đ c xác đ nh nh th nào? Trang 9 Giáo trình C m bi n Ch ng 2 CÁC HI U 2.1 Hi n t NG V T LÝ NG D NG TRONG C M BI N ng c m ng đi n t N m 1831, Faraday th c hi n thí nghi m ch ng minh r ng t tr ng có th sinh ra dòng đi n. Khi cho t thông qua m t m ch kín thay đ i thì trong m ch xu t hi n m t dòng đi n. Dòng đi n đó đ c g i là dòng đi n c m ng. Hi n t ng này đ c g i là hi n t ng c m ng đi n t . Hình 2-1 : Michael Faraday (1791 – 1867) 2.1.1 Thí nghi m Faraday L y m t ng dây đi n (g m nhi u vòng dây) m c n i ti p nó v i m t đi n k G thành m t m ch kín. Phía trên ng dây ta đ t m t thanh nam châm có hai c c b c (N) và nam (S). Khi di chuy n thanh nam châm vào trong ng dây, kim c a đi n k b l ch đi, đi u đó ch ng t trong ng dây xu t hi n m t dòng đi n, đó là dòng đi n c m ng Ic. Ic Ic Hình 2-2 : Thí nghi m Faraday - N u rút thanh nam châm ra, dòng đi n c m ng có chi u ng - Di chuy n thanh nam châm càng nhanh, c l n. c l i. ng đ dòng đi n c m ng Ic càng Trang 10 Giáo trình C m bi n - Gi thanh nam châm đ ng yên so v i ng dây, dòng đi n c m ng s b ng không. - N u thay nam châm b ng m t ng dây có dòng đi n ch y qua, r i ti n hành các thí nghi m nh trên, ta c ng có nh ng k t qu t ng t . T thí nghi m, Faraday rút ra k t lu n nh sau: - T thông g i qua m ch kín bi n đ i theo th i gian là nguyên nhân sinh ra dòng đi n c m ng trong m ch đó. - Dòng đi n c m ng ch t n t i trong th i gian t thông g i qua m ch kín bi n đ i. - C - Chi u c a dòng đi n c m ng ph thu c vào s t ng hay gi m c a t thông g i qua m ch. 2.1.2 ng đ dòng đi n c m ng t l thu n v i t c đ bi n đ i c a t thông. nh lu t Lenz Ð ng th i v i Faraday, nhà v t lý ng i c, Lenz c ng nghiên c u hi n t ng c m ng đi n t và đã đ a đ nh lu t t ng quát vào n m 1833 giúp ta xác đ nh chi u c a dòng đi n c m ng, g i là đ nh lu t Lenz. Hình 2-3 : Heinrich Friedrich Emil Lenz (1804 – 1865) tr nh lu t phát bi u nh sau: Dòng đi n c m ng ph i có chi u sao cho t ng do nó sinh ra có tác d ng ch ng l i nguyên nhân sinh ra nó Có ngh a là khi t thông qua m ch t ng lên, t tr ng c m ng sinh ra có tác d ng ch ng l i s t ng c a t thông: t tr ng c m ng s ng c chi u v i t tr ng ngoài. N u t thông qua m ch gi m, t tr ng c m ng (do dòng đi n c m ng sinh ra nó) có tác d ng ch ng l i s gi m c a t thông, lúc đó t tr ng c m ng s cùng chi u v i t tr ng ngoài. D a vào đ nh lu t Lenz đ xác đ nh chi u c a dòng đi n c m ng trong thí nghi m Faraday. Khi c c B c c a thanh nam châm di chuy n vào trong lòng ng dây làm cho t thông g i qua ng dây t ng lên. Theo đ nh lu t Lenz, dòng đi n c m ng ph i sinh ra t tr ng ng c chi u v i t tr ng c a thanh nam châm đ t thông ΦB sinh ra có tác d ng làm gi m s t ng c a là nguyên nhân sinh ra nó. Mu n v y dòng đi n c m ng ph i có chi u nh trên hình 2-2. B ng l p lu n ta nh n th y n u d ch chuy n c c B c c a thanh nam châm ra xa ng dây, dòng đi n c m ng xu t hi n trong m ch s có chi u ng c l i. Trang 11 Giáo trình C m bi n Nh v y, theo đ nh lu t Lenz, dòng đi n c m ng bao gi c ng có tác d ng ch ng l i s d ch chuy n c a thanh nam châm. Do đó, đ d ch chuy n thanh nam châm, ta ph i t n công. Chính công mà ta t n đ c bi n thành đi n n ng c a dòng đi n c m ng. 2.1.3 nh lu t c m ng đi n t Khi có s bi n thiên t thông qua di n tích gi i h n b i m t m ch đi n kín thì trong m ch su t hi n dòng đi n c m ng. Chi u dòng đi n c m ng tuân theo đ nh lu t Lenz, t c là có chi u sau cho sinh ra t tr ng ch ng l i s bi n thiên c a t thông qua m ch. S xu t hi n dòng đi n c m ng ch ng t trong m ch có m t su t đi n đ ng, g i là su t đi n đ ng c m ng. Su t đi n đ ng c m ng có đ l n b ng v i t c đ bi n thiên c a t thông g i qua di n tích m ch đi n nh ng trái d u: e=− dΦ B dt ( 2.1 ) Trong đó: dΦB – bi n thiên t thông qua m ch kín Hi u ng c m ng đi n t đ c ng d ng đ xác đ nh t c đ chuy n đ ng c a v t thông qua vi c đo s c đi n đ ng c m ng. 2.2 Hi u ng nhi t đi n 2.2.1 Hi u ng Peltier L p ti p xúc gi a hai dây d n A và B khác nhau v b n ch t nh ng cùng m t nhi t đ t n t i m t hi u đi n th ti p xúc. Hi u đi n th này ch ph thu c vào b n ch t c a v t d n và nhi t đ , g i là su t đi n đ ng Peltier. PAT/ B = VM − VN ( 2.2 ) Trong đó: VM, VN – đi n áp t i các đi m M và N trên các dây d n A và B t ng ng. nh lu t Volta: Phát bi u: Trong m t chu i cách nhi t đ nhau, t ng su t đi n đ ng Peltier b ng 0. A (T) M N c c u thành t nh ng v t d n khác (T) B PAT/ B Hình 2-4 : Hi u ng Peltier – nh lu t Volta Trang 12 Giáo trình C m bi n Thí d , trong m t chu i b n v t d n A B C D m c n i ti p, t ng su t đi n đ ng s b ng không. PAT/ B + PBT/ C + PCT/ D + PDT / A = 0 Bi u th c có th đ c vi t l i: Vì: PAT/ D = − PDT / A ⇒ PAT/ B + PBT/ C + PCT/ D = − PDT / A PAT/ B + PBT/ C + PCT/ D = PAT/ D K t lu n, khi hai v t d n A và D đ c phân cách b i các v t d n trung gian và toàn h đ ng nhi t thì hi u đi n th gi a hai v t d n A và D đ u mút b ng hi u đi n th n u chúng ti p xúc tr c ti p v i nhau. 2.2.2 Hi u ng Thomson Trong m t v t d n đ ng ch t A, gi a hai đi m M và N có nhi t đ khác nhau s sinh ra m t su t đi n đ ng ph thu c vào b n ch t c a v t d n và nhi t đ TM, TN c a hai đi m đó. Su t đi n đ ng Thomson là hàm c a nhi t đ . TM E AT M TN = ∫ hA dT ( 2.3 ) TN Trong đó: hA – h s Thomson ph thu c vào b n ch t c a v t d n A. nh lu t Magnus: Phát bi u: N u hai đ u ngoài c a m t m ch ch g m m t v t d n duy nh t và đ ng ch t đ c duy trì cùng m t nhi t đ thì su t đi n đ ng Thomson b ng không. Hình 2-5 : Hi u ng Thomson 2.2.3 Hi u ng Seebeck Xét m t m ch kín đ c t o thành t hai v t d n A B và hai đi m n i đ c gi nhi t đ T1 và T2, khi đó m ch t o thành m t c p nhi t đi n. C p nhi t đi n này gây nên m t su t đi n đ ng là t ng h p tác đ ng c a hai hi u ng Peltier và Thomson. Su t đi n đ ng đó g i là su t đi n đ ng Seebeck. Hình 2-6 : Thomas Johann Seebeck (1770 – 1831) và Hi u ng Seebeck Trang 13 Giáo trình C m bi n Su t đi n đ ng các thành ph n là: T2 eab = ∫ hA dT ; T1 ecd = ∫ hB dT ; ebc = PAT/ B ; 2 T1 eda = PBT/ A 1 T2 Su t đi n đ ng Seebeck b ng t ng các su t đi n đ ng thành ph n: E T2T1 A/ B =P T2 A/ B −P T2 T1 A/ B + ∫ (hA − hB )dT ( 2.4 ) T1 Các hi u ng nhi t đi n th nhi t đ c a m t v t. 2.3 Hi u ng đ c ng d ng đ ch t o c p nhi t đi n đ đo ng quang đi n Hi u ng quang đi n là hi n t ng gi i phóng các hat d n đi n t do trong v t li u d i tác d ng c a b c x ánh sáng. Do Antoine Henri Becquerel phát hi n n m 1839. N m 1905 Albert Einstein ch ng minh đ c hi n t ng quan đi n x y ra do s h p th photon c a ánh sáng. a) b) Hình 2-7 : a) - Antoine Henri Becquerel (1850 – 1908) b) - Albert Einstein (1879 – 1955) nh lu t quang đi n: c, thì t c đ gi i - i v i m t v t li u kim lo i và t n s b c x t i bi t tr phóng quang đi n t t l thu n v i c ng đ ánh sáng t i. - i v i m t v t li u kim lo i bi t tr c, s t n t i m t t n s t i thi u c a b c x t i mà n u nh h n nó thì không có quang đi n t nào có th đ c gi i phóng. T n s này đ c g i là t n s ng ng. - Khi t n s b c x t i l n h n t n s ng ng, thì đ ng n ng c c đ i c a các quang đi n t đ c gi i phóng không ph thu c vào c ng đ mà ph thu c vào t n s c a ánh sáng t i. - Th i gian đ b c x chi u t i và gi i phóng m t quang đi n t r t nh , nh h n 10-9s. Khi b m t c a m t t m kim lo i đ c chi u b i b c x đi n t có t n s l n h n m t t n s ng ng (t n s ng ng này là giá tr đ c tr ng cho v t ch t làm nên Trang 14 Giáo trình C m bi n t m kim lo i này), các đi n t s h p th n ng l đi n (g i là dòng quang đi n). ng t các photon và sinh ra dòng Khi các đi n t b b t ra kh i b m t c a t m kim lo i, ta có hi u ng quang đi n ngoài (external photoelectric effect). Các đi n t không th phát ra n u t n s c a b c x nh h n t n s ng ng b i đi n t không đ c cung c p đ n ng l ng c n thi t đ v t ra kh i rào th (g i là công thoát). i n t phát x ra d i tác d ng c a b c x đi n t đ c g i là quang đi n t . m t s ch t khác, khi đ c chi u sáng v i t n s v t trên t n s ng ng, các đi n t không b t ra kh i b m t, mà thoát ra kh i liên k t v i nguyên t , tr thành đi n t t do (đi n t d n) chuy n đ ng trong lòng c a kh i v t d n, và ta có hiêu ng quang đi n trong (internal photoelectric effect). Hi u ng này d n đ n s thay đ i v tính ch t d n đi n c a v t d n, do đó, ng i ta còn g i hi u ng này là hi u ng quang d n. 2.3.1 Hi u ng quang đi n Trong v t ch t, các đi n t trong nguyên t có xu h ng đ c gi i phóng kh i nguyên t đ tr thành đi n t t do. gi i phóng đi n t kh i nguyên t c n ph i cung c p cho nó m t n ng l ng l n h n n ng l ng liên k t Wl. Nh v y, m t đi n t đ c gi i phóng n u nó h p th m t photon có Wφ ≥ Wl. B c sóng l n nh t c a ánh sáng có th gây nên hi n t g i là b c sóng ng ng: λs = hay hc Wl λ s (µm ) = ng gi i phóng đi n t ( 2.5 ) 1,237 Wl ( 2.6 ) Hi n t ng gi i phóng h t d n d i tác d ng c a ánh sáng gây nên s thay đ i tính ch t đi n c a v t li u g i là hi u ng quang đi n. ây là nguyên lý c b n c a các c m bi n quang. đ Lo i đi n tích đ c chi u sáng: c gi i phóng do chi u sáng ph thu c vào b n ch t c a v t li u - Khi chi u sáng vào ch t đi n môi ho c bán d n tinh khi t, các đi n tích đ gi i phóng là c p đi n t - l tr ng. c - Khi chi u sáng vào ch t bán d n pha t p s gi i phóng đi n t (ch t bán d n lo i N) ho c l tr ng (ch t bán d n lo i N). Khi chi u sáng vào v t li u b ng ánh sáng có b c sóng λ ≤ λs thì không ph i t t c các photon chi u xu ng b m t đ u tham gia gi i phóng h t d n, m t s b ph n x t b m t, m t s s chuy n n ng l ng c a chúng thành nhi t n ng. su t Φ: - i v i v t li u có h s ph n x R, b chi u sáng b i ánh sáng đ n s c có công S photon chi u t i trong m t giây: ns = Φ λΦ = hγ hc ( 2.7 ) Trang 15 Giáo trình C m bi n - S photon b h p th trong m t giây: na = (1 − R )ns = (1 − R ) S h t d n đi n đ - λΦ ( 2.8 ) hc c gi i phóng trong m t giây: G = η .na = η (1 − R ) λΦ ( 2.9 ) hc Trong đó: η - hi u su t l 2.3.2 Hi n t ng t : s h t d n đ c gi i phóng khi h p th m t photon ng quang d n Hi n t ng quang d n là hi n t ng gi i phóng h t d n đi n bên trong v t li u d i tác d ng c a ánh sáng (hi u ng quang đi n n i), làm t ng đ d n đi n c a v t li u. ây là c s v t lý c a t bào quan d n. Xét m t b n bán d n ph ng th tích V = A.L pha t p lo i n v i n ng đ ch t pha Nd có m c n ng l ng d i vùng d n m t kho ng Wd. chi u sáng V Ip A L vùng d n Wd vùng hóa tr Hình 2-8 : S chuy n m c n ng l a. ng c a đi n t d i tác d ng c a ánh sáng i u ki n trong t i, nhi t đ phòng Gi s nhi t đ phòng và t i n ng đ nguyên t ch t pha b ion hóa n0 là r t nh . - S đi n t đ c gi i phóng do nhi t trong m t đ n v th i gian t l thu n v i n ng đ nguyên t ch a b ion hóa là a(Nd – n0), trong đó: a ≈ e − qWd kT . - S đi n t tái h p v i các nguyên t đã b ion hóa trong m t đ n v th i gian t l thu n v i n ng đ các nguyên t đã b ion hóa là r .n02 , trong đó: r – h s tái h p. Ph ng trình bi u di n s thay đ i c a m t đ đi n t t do có d ng: dn0 = a( N d − n0 ) − rn02 dt ( 2.10 ) Trang 16 Giáo trình C m bi n tr ng thái cân b ng: dn0 =0 dt ⇒ n0 = − a a 2 aN d + + 2r 4r 2 r ( 2.11 ) d n trong t i: σ 0 = qµn0 ( 2.12 ) trong đó: q – tr tuy t đ i c a đi n tích, µ - đ linh đ ng c a đi n t Khi nhi t đ t ng, m t đ n0 t ng làm nh h ng r t l n đ i v i đ d n. b. Khi chi u sáng Các photon có n ng l ng l n h n Wd s ion hóa các nguyên t ch t pha, gi i phóng g đi n t trong m t đ n v th i gian trên m t đ n v th tích. g= t đ G 1 η(1 − R ) . = .Φ hν V AL ( 2.13 ) M t đ đi n t t do bao g m s đi n t đ c gi i phóng do chi u sáng, s đi n c gi i phóng do nhi t và s đi n t tái h p đ c bi u di n b ng ph ng trình: dn = a( N d − n ) + g − rn 2 dt ( 2.14 ) Thông th ng s đi n t do các photon gi i phóng l n h n r t nhi u so v i só đi n t đ c gi i phóng do nhi t: g >> a(Nd – n) Nên đi u ki n cân b ng khi chi u sáng, m t đ đi n t : g r ( 2.15 ) σ = qµn ( 2.16 ) n= d n khi chi u sáng: ta th y đ d n là m t hàm không tuy n tính theo thông l 2.3.3 Hi n t ng ánh sáng. ng quang phát x đi n t Hi u ng quang phát x đi n t là hi n t v t li u d i tác d ng c a b c x ánh sáng. Hình 2-9 : Hi n t ng các đi n t đ c gi i phóng kh i ng quang phát x đi n t Trang 17 Giáo trình C m bi n C ch phát x x y ra theo ba giai đo n: - H p th photon và gi i phóng đi n t bên trong v t li u - i nt v ađ c gi i phóng di chuy n đ n b m t v t li u - i n t thoát ra kh i b m t v t li u i v i tr ng h p bán d n riêng, vi c gi i phóng đi n t đòi h i n ng l photon t i b ng ho c l n h n b r ng vùng c m Eg. ng S di chuy n c a đi n t sau khi đ c gi i phóng mang tính ng u nhiên theo m i h ng, đó đó ch có m t l ng r t nh trong t ng s đi n t đ c gi i phóng đ n đ c b m t v t li u. Trong quá trình di chuy n các đi n t này và ch m v i các đi n t khác ho c v i các photon t i làm tiêu hao m t ph n n ng l ng c a nó. S phát x c a đi n t sau khi đ n đ c b m t ch có th x y ra n u nó có đ n ng l ng th ng đ c n ng l ng liên k t b m t v t li u. Hi u ng quang đi n đ c ng d ng đ ch t o các c m bi n quang (nh công t c t đ ng đóng ng t đèn chi u sáng). 2.4 Hi u ng quang đi n t Khi tác d ng m t t tr ng vuông góc v i b c x ánh sáng, trong v t li u bán d n đ c chi u sáng s xu t hi n hi u đi n th vuông góc v i ph ng t tr ng và ph ng b c x ánh sáng. Cho phép nh n đ c dòng đi n ho c đi n áp ph thu c vào đ chi u sáng. Hình 2-10 : Hi u ng quang-đi n-t ng d ng trong các b c m bi n đo các đ i l tin d ng ánh sáng thành tín hi u đi n. 2.5 Hi u ng quang ho c chuy n đ i thông ng Hall 2.5.1 Hi u ng Hall Hi u ng Hall là hi u ng v t lý đ n m 1879. c phát hi n b i Edwin Herbert Hall vào Trang 18 Giáo trình C m bi n Hình 2-11 : Edwin Herbert Hall (1855 – 1938) Khi cho tác d ng m t t tr ng vuông góc lên m t b n làm b ng ch t bán d n hay ch t d n đi n (thanh Hall) đang có dòng đi n ch y qua. Lúc đó, xu t hi n hi u đi n th (hi u đi n th Hall) t i hai m t đ i di n c a thanh Hall. VH = IB d .e.n ( 2.17 ) Trong đó: I–c B–c ng đ dòng đi n ng đ t tr ng d – đ dày thanh Hall e – đi n tích h t d n đi n trong thanh Hall n – m t đ các h t d n đi n trong thanh Hall T tr ng + V Dòng đi n Tr ng h p t tr Hall đ c xác đ nh: - Hình 2-12 : Hi u ng Hall ng có ph ng h p v i dòng đi n góc θ, khi đó hi u đi n th VH = 2.5.2 IB sin θ d .e.n ( 2.18 ) ng d ng - o c ng đ dòng đi n thông qua t tr ng do dòng đi n này sinh ra. Ph ng pháp đo này không c n s ti p xúc c h c tr c ti p v i m ch đi n, không t o ra đi n tr ph trong m ch đi n, không b nh h ng b i đi n áp ngu n đi n, t ng tính an toàn (đi n cao áp). - Xác đ nh v trí và chuy n đ ng. Hi u qu c a ng d ng này là không b nh h ng b i môi tr ng: khói, b i, ch t b n, đ m… hay c n ph i che ch n nh các thi t b quang h c, quang đi n, c đi n… Trang 19 Giáo trình C m bi n Hình 2-13 : C m bi n xác đ nh v trí ng d ng hi u ng Hall 2.6 Hi u Hi n t ng áp đi n ng áp đ cđ c anh em nhà Curie nghiên c u vào n m 1880. Hình 2-14 : Pierrie Curie (1859 – 1906) Hi n t ng x y ra nh sau: ng i ta tìm đ c m t lo i ch t có tính ch t hóa h c g n gi ng g m (ceramic) và nó có hai hi u ng thu n và ngh ch nh ng khi áp vào nó m t tr ng đi n thì nó bi n đ i hình d ng và ng c l i khi dùng l c c h c tác đ ng vào nó thì nó t o ra dòng đi n. Nó nh m t máy bi n đ i tr c ti p t n ng l ng đi n sang n ng l ng c h c và ng c l i. Hình 2-15: Hi n t ng áp đi n V t li u áp đi n là ch t mà c u trúc tinh th không có tâm đ i x ng. Các v t li u áp đi n th ng dùng: tinh th th ch anh, g m BaTiO3, g m PZT [Pb(TiZn)O3], ... V t li u áp đi n đ c dùng trong các b c m bi n, các thi t b đo đ a ch n, các máy phát t n s chu n (máy phát vô tuy n đi n), d ng c đo huy t áp, phát siêu âm,.. ng d ng đ đo các đ i l đi n áp trên hai c c t đi n. ng c nh áp su t, ng su t… thông qua vi c đo Trang 20 Giáo trình C m bi n 2.7 Hi u ng h a đi n M t s tinh th h a đi n có tính ch t phân c c đi n t phát ph thu c vào nhi t đ . Trên các m t đ i di n c a chúng xu t hi n các đi n tích trái d u có đ l n t l thu n v i đ phân c c đi n ph thu c vào quang thông chi u vào. c ng d ng đ đo thông l ng c a b c x ánh sáng. Khi tinh th h a đi n h p th ánh sáng, nhi t đ c a chúng t ng lên làm thay đ i phân c c đi n, xu t hi n đi n áp trên hai c c c a t đi n. Φ + V Hình 1-16: Hi u ng h a đi n 2.8 Hi u ng Doppler 2.8.1 Hi u ng Doppler Hi u ng Doppler là hi u ng v t lý, trong đó t n s và b c sóng c a các sóng đi n t hay sóng âm b thay đ i khi đ i t ng quan sát chuy n đ ng t ng đ i so vói ngu n phát. Hình 2-17 : Christian Andreas Doppler (1803 – 1853) Trong m t môi tr ng c đ nh, ngu n sóng và đ i t ng quan sát đ u chuy n đ ng t ng đ i so v i môi tr ng. Khi đó, hi u ng Doppler là s t ng h p c a các hi u ng gây ra b i s chuy n đ ng này. T n s Doppler đ c xác đ nh b i bi u th c: Fd = 2V Ft c ( 2.19 ) Trong đó: Ft – t n s sóng đ c phát ra c – t c đ lan truy n c a sóng trong môi tr v – v n t c chuy n đ ng c a đ i t ng ng Trang 21 Giáo trình C m bi n Hình 2-18 : Sóng phát ra t m t ngu n phát đang chuy n đ ng t ph i sang trái N u ngu n phát sóng và h ng chuy n đ ng c a đ i t góc θ, khi đó t n s Doppler có d ng: Fd = 2V Nh v y, khi đ i t Doppler b ng 0. 2.8.2 ng t o v i nhau m t Ft cosθ c ( 2.20 ) ng chuy n đ ng ngang qua m t c a ngu n phát, t n s ng d ng K t h p c ch siêu âm và hi u ng Doppler, ng i ta ch t o súng b n t c đ trong giao thông. Súng phát ra m t sóng radio có t n s xác đ nh f0, sau đó thu l i sóng ph n x có t n s f1 t ph ng ti n giao thông đang chuy n đ ng v i v n t c v. T f0 và f1 ta tính ra đ c v n t c chuy n đ ng c a ph ng ti n giao thông đó. Hi u ng Doppler còn đ c ng d ng trong r t nhi u l nh v c: y h c, thám hi m đáy bi n, đo kho ng cách… Hình 2-19 : Thi t b siêu âm y h c và súng b n t c đ Trang 22 Giáo trình C m bi n Câu h i ôn t p 1. Hi n t ng các h t d n t do trong v t li u đ sáng là hi n t ng c a: a. Hi u ng quang đi n. b. Hi u ng quang phát x đi n t . c. Hi u ng quang – đi n – t . d. T t c đ u sai. c gi i phóng d 2. Khi cho dòng đi n ch y qua v t li u bán d n đ t trong t tr thành góc v i dòng đi n s xu t hi n đi n áp VH: a. Vuông góc v i B, có đ l n VH = KBsin . b. Vuông góc v i I, có đ l n VH = KIsin . c. Vuông góc v i B và I, có đ l n VH = KIBsin . d. Vuông góc v i B và I, có đ l n VH = KIBcos i tác d ng c a ánh ng B có ph ng t o 3. i u ki n đ m t điên t có n ng l ng liên k t Wl, gi i phóng kh i nguyên t khi: a. i n t đó nh n đ c m t n ng l ng nh h n n ng l ng liên k t Wl. b. i n t đó h p th m t photon có n ng l ng W nh h n n ng l ng liên k t. c. i n t đó h p th m t photon có b c sóng λ ≤ hc Wl d. T t c đ u sai. Trang 23 Giáo trình C m bi n Ch ng 3 C M BI N NHI T 3.1 Các đ c tr ng c a nhi t đ Nhi t đ là tính ch t v t lý c a v t ch t (nóng và l nh). V t ch t có nhi t đ cao h n thì nóng h n. Nhi t đ đ c đ nh ngh a chính xác d a vào các đ nh lu t nhi t đ ng l c h c. Thang nhi t đ : a. Thang Kelvin Trong h th ng đo l ng qu c t , Kelvin là đ n v đo c b n cho nhi t đ , ký hi u: K. Thang nhi t đ này đ c l y theo tên nhà v t lý William Thomson, nam t c Kelvin I. Nhi t đ 0K trong thang Kelvin g i là nhi t đ tuy t đ i, đây là nhi t đ nh nh t mà v t ch t có th đ t đ c. Nhi t đ c a đi m cân b ng n c–n c đá – h i n c là 273,15K (t ng ng 0°C). M i đ K trong thang Kelvin b ng m t đ trong thang Celcius (1°C). b. Thang Celsius Celsius (°C hay đ C) là đ n v đo nhi t đ đ c đ t tên theo nhà thiên v n h c ng i Th y i n Anders Celsius (1701–1744), ông đ u tiên đ ngh h th ng đo nhi t đ gi ng nó vào n m 1742. Vào kho ng 1750, đ C đ c g i đ bách phân, tuy đã đ c đ i tên theo ông Celsius vào n m 1948 nh ng tên c v n còn đ c s d ng ph bi n. T(°C) = T(K) – 273,15 ( 3.1 ) c. Thang Fahrenheit ng i Fahrenheit (°F hay đ F) là m t thang nhi t đ đ c, Daniel Gabriel Fahrenheit (1686–1736). c đ t theo tên nhà v t lý Thang nhi t đ này xác đ nh theo hai đi m nhi t đ chu n là nhi t đ đóng b ng và nhi t đ sôi c a n c, t c là 32°F (0°C) và 212°F (100°C) Thang nhi t đ Fahrenheit đã đ c s d ng khá lâu Châu Âu, cho t i khi b thay th b i thang nhi t đ Celsius. Thang nhi t đ Fahrenheit ngày nay v n đ c s d ng r ng rãi M và m t s qu c gia nói ti ng Anh khác. T ( O C ) = {T ( O F ) − 32}. 5 9 ( 3.2 ) 9 T ( O F ) = T ( O C ) + 32 5 ( 3.3 ) Trang 24 Giáo trình C m bi n Nhi t đ i m 0 tuy t đ i H n h p n c-n c đá Cân b ng n c-n c đá-h i n N c sôi c Kelvin (K) 0 273,15 273,16 373,15 Celsius (°C) Fahrenheit (°F) -273,15 -459,67 0 32 0,01 32,018 100 212 B ng 3-1: B ng giá tr m t s nhi t đ quang tr ng 3.2 Ph các thang đo ng pháp đo nhi t đ Có nhi u ph ng pháp đo nhi t đ : - Ph ng pháp quang h c: d a trên s phân b ph b c x nhi t do dao đ ng nhi t. - Ph ng pháp c h c: d a trên s giãn n c a v t r n, l ng, khí, d a trên v n t c sóng âm. - Ph ng pháp đi n: d a trên s ph thu c c a đi n tr vào nhi t đ , ho c d a trên s thay đ i t n s dao đ ng c a th ch anh. Nhi t đ đo đ c chính là b ng nhi t đ c a c m bi n, ký hi u Tc, ph thu c vào nhi t đ môi tr ng Tx (nhi t đ c n đo) và s trao đ i nhi t trong đó. Có hai bi n pháp đ gi m s khác bi t gi a Tx và Tc: - T ng s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng đo. - Gi m s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng bên ngoài. đo nhi t đ c a m t v t r n b ng c m bi n nhi t đ , t b m t c a v t ng i ta khoan m t l nh v i đ ng kính d và đ sâu L. L này dùng đ đ a c m bi n vào sâu trong v t r n. t ng đ chính xác c a k t qu , ph i đ m b o hai đi u ki n: il nđ ng kính (L ≥ 10r). - Chi u sâu l khoan ph i b ng ho c l n h n g p m - Gi m tr kháng nhi t gi a v t r n và c m bi n b ng cách gi m kho ng cách gi a v c m bi n và thanh l khoan. Kho ng tr ng gi a v c m bi n và thành l khoan ph i đ c l p đ y b ng m t v t li u d n nhi t t t. 3.3 C m bi n nhi t đi n tr 3.3.1 H s nhi t đ c a đi n tr Giá tr đi n tr là m t hàm ph thu c vào nhi t đ R(T) = R0F(T – T0) ( 3.4 ) Trong đó: R0 – đi n tr nhi t đ T0 F – hàm đ c tr ng cho v t li u (F = 1 khi T = T0) Trang 25 Giáo trình C m bi n Khi bi n thiên nhi t đ ∆T quanh giá tr T nh , đi n tr có th xem nh thay đ i theo hàm tuy n tính: R(T + ∆T) = R(T).(1 + αR∆T) Khi đó: αR = ( 3.5 ) 1 dR R (T ) dT ( 3.6 ) αR – h s nhi t đ c a đi n tr hay đ nh y nhi t nhi t đ T. H s nhi t đ αR ph thu c vào v t li u và nhi t đ . Thí d , 0°C, platin có h s αR = 3,9.10-3 °C-1 S thay đ i đi n tr theo nhi t đ ph thu c đ ng th i vào đi n tr ρ và kích th c hình h c c a đi n tr . i v i m t dây đi n tr chi u dài l, ti t di n s, h s nhi t đ đ c tính b ng bi u th c: αR = 1 dR 1 dρ 1 dl 1 ds = + − R dT ρ dT l dT s dT ( 3.7 ) Trong đó: 1 dρ = α ρ - h s nhi t đ c a đi n tr su t ρ dT 1 dl = α l - h s co giãn c a v t li u l dT 1 ds = 2α l s dT Do đó: αR = αρ - αl Th c t , các nhi t đi n tr có các h s αρ ~ 10-3 °C-1 và αl ~ 10-5 °C-1, nên αR = αρ. 3.3.2 i n tr kim lo i D a vào d i nhi t đ c n đo và các tính ch t đ c bi t ng i ta th Platin (Pt), Niken (Ni), ng (Cu), ho c Wonfram (W) làm đi n tr . ng dùng - Platin đ c ch t o v i đ tinh khi t cao (99,99%) cho phép t ng đ chính xác c a các tính ch t đi n. Platin tr v hóa h c và c u trúc tinh th n đ nh b o đ m s n đ nh các đ c tính đi n c a đi n tr . Các đi n tr làm b ng platin ho t đ ng t t trong d i nhi t đ khá r ng t -200°C đên 1000°C. Giá tr đi n tr 100°C g p 1,385 l n 0°C. - Niken có đ nh y nhi t cao h n nhi u so v i platin. Niken d b oxy hóa khi nhi t đ làm vi c t ng, làm gi m tính n đ nh và h n ch d i nhi t đ làm vi c c a đi n tr . Thông th ng các đi n tr làm b ng niken làm vi c nhi t đ th p h n 250°C. Giá tr đi n tr 100°C g p 1,617 l n 0°C. - ng có s thay đ i đi n tr nhi t có đ hóa h c c a đ ng quá l n nên các đi n tr 180°C. Bên c nh đó, đi n tr su t c a đ cao ph i t ng chi u dài, làm t ng kích th tuy n tính cao. Tuy nhiên, ho t tính ch đ c s d ng nhi t đ th p h n ng nh nên mu n có giá tr đi n tr c c a đi n tr . Trang 26 Giáo trình C m bi n - Wonfram có đ nh y nhi t cao h n platin, có th s d ng nhi t đ cao và đ tuy n tính t t h n. Có th kéo thành các s i r t m nh đ ch t o các đi n tr có tr s cao, ho c gi m kích th c c a đi n tr . Tuy nhiên các đi n tr wonfram có đ n đ nh th p h n so v i các đi n tr platin. Nhi t đ nóng ch y Nhi t l ng riêng d n nhi t H s giãn n i n tr su t H s nhi t đ c a đi n tr su t Cu 1083 400 400 16,7.10-6 1,72.10-8 3,9.10-3 Ni 1453 450 90 12,8.10-6 10.10-8 4,7.10-3 Pt 1769 135 73 8,9.10-6 10,6.10-8 3,9.10-3 B ng 3-2: B ng li t kê đ c tính các v t li u ch t o đi n tr W 3380 125 120 6.10-6 5,25.10-8 4,5.10-3 nhi t đ 20°C S thay đ i nhi t đ c a đi n tr làm xu t hi n ∆R = Rα∆T s t o ra đi n áp đo Vm = ∆R.i, trong đó i là dòng đi n ch y qua đi n tr (th ng có giá tr vài mA đ không làm nóng đ u đo). M t khác, đ có đ nh y cao c n s d ng đi n tr có giá tr t Mu n v y c n ph i: ng đ i l n. - Gi m ti t di n dây, b h n ch vì ti t di n càng nh dây càng d b đ t. - T ng chi u dài dây, c ng b gi i h n vì làm t ng kích th c c a đi n tr . N u dùng Platin có đ ng kính c vài ch c µm, chi u dài kho ng 10cm, giá tr đi n tr R ~ 100Ω 0°C, sau khi cu n l i có đ c chi u dài nhi t k c 1cm. Trên th c t các s n ph m th ng m i có đi n tr 0°C là 50Ω, 500Ω và 1000Ω. Các đi n tr l n th ng đ c s d ng đo d i nhi t đ th p cho phép có đ nh y t ng đ i t t. i v i môi tr ng công nghi p, các nhi t k có v b c t t ch ng đ c va ch m m nh và rung đ ng. i n tr đ c bao b c trong th y tinh ho c g m đ t trong v thép. V t li u v b c ph i có đ cách đi n t t đ tránh hi n t ng đi n phân làm h ng kim lo i. M i lo i v b c ch đ c dùng trong m t kho ng nhi t đ nh t đ nh đ tránh ng su t giãn n (th y tinh – d i 500°C và g m – d i 1000°C). Hình 3-1 : Nhi t k công nghi p dùng đi n tr Pt Trang 27 Giáo trình C m bi n đo nhi t đ trên b m t c a v t r n, đi n tr th ng đ c ch t o b ng ph ng pháp quang kh c và s d ng các v t li u là Ni, Fe-Ni ho c Pt. Chi u dày l p kim lo i c vài µm, kích th c kho ng 1cm2. Khi s d ng, nhi t k đ c dán trên b m t c n đo nhi t đ . Hình 3-2 : Nhi t k b m t 3.3.3 Nhi t đi n tr Nhi t đi n tr có đ nh y nhi t r t cao, l n h n kho ng 10 l n so v i đi n tr kim lo i. Ngoài ra h s nhi t có giá tr âm và ph thu c nhi u vào nhi t đ . nh y nhi t cao c a nhi t đi n tr cho phép ng d ng đ phát hi n nh ng bi n thiên nhi t đ r t nh (10-4 ÷ 10-3K) Nhi t đi n tr đ c làm t h n h p các oxit bán d n đa tinh th : MgO, MgAl2O4, Mn2O3, Fe3O4, Co2O3, NiO, ZnTiO4. Các b t oxit đ c tr n v i nhau theo m t t l thích h p, sau đó đ c nén đ nh d ng và thiêu k t nhi t đ 1000°C. Nhi t đi n tr đ c ch t o v i nhi u hình d ng khác nhau (đ a, vòng, hình tr …), các ph n t nh y nhi t có th đ c b c kín ho c đ tr n. V t li u th ng s d ng có đi n tr su t cao cho phép ch t o đi n tr có giá tr thích h p v i l ng v t li u và kích th c t i thi u. Kích th c nh cho phép đo nhi t đ t i t ng đi m và t c đ đáp ng cao do nhi t dung nh . Hình 3-3: i n tr c a nhi t đi n tr Trang 28 Giáo trình C m bi n n đ nh ph thu c vào vi c ch t o nhi t đi n tr và đi u ki n s d ng. t ng tính n đ nh và b o v nhi t đi n tr không b phá h y hóa h c ng i ta th ng dùng v b c. C n tránh s thay đ i nhi t đ đ t ng t có th làm r n n t v t li u. D i nhi t đ làm vi c t vài đ tuy t đ i đ n kho ng 300°C tùy thu c vào lo i nhi t đi n tr . Ta có th m r ng d i nhi t đ này nh ng tr s đi n tr s t ng đáng k khi làm vi c nhi t đ cao, c n ph i ch n các v t li u đ c bi t (cacbua silic) và có bi n pháp đ c bi t đ ch ng phá h y hóa h c. đo nhi t đ th p, ng i ta s d ng các nhi t đi n tr có tr s nh 25°C (t 50Ω đ n 100Ω). đo nhi t đ cao c n s d ng nh ng nhi t đi n tr có tr s l n 25°C (100Ω đ n 500Ω). Hình 3-4: 3.3.4 nh y nhi t c a nhi t đi n tr i n tr silic ây là đi n tr bán d n có nh ng đ c đi m sau: - H s nhi t c a đi n tr su t có giá tr d ng (0,7%/°C 25°C). thay đ i nhi t t ng đ i nh có th tuy n tính hóa đ c tuy n c a c m bi n trong d i nhi t đ làm vi c b ng cách m c thêm đi n tr ph . - D i nhi t đ làm vi c b h n ch t -50°C đ n 120°C. silic. i n tr silic đ c ch t o b ng công ngh khu ch tán t p ch t vào đ n tinh th thay đ i nhi t c a đi n tr su t ph thu c vào n ng đ pha t p và nhi t đ . - Khi nhi t đ nh h n 120°C, đi n tr su t t ng khi nhi t đ t ng. B i vì n ng đ các h t d n đi n t o ra do pha t p l n h n r t nhi u so v i n ng đ các h t d n đi n đ c t o ra b i s ion hóa do nhi t. H s nhi t c a đi n tr càng nh khi pha t p càng m nh. - Khi nhi t đ l n h n 120°C, đi n tr su t gi m khi nhi t đ t ng. Vì quá trình ion hóa do nhi t chi m u th làm n ng đ các h t d n đi n t ng lên l n h n nhi u so v i n ng đ pha t p. H s nhi t c a đi n tr su t không ph thu c vào pha t p (tr ng h p bán d n riêng). Trang 29 Giáo trình C m bi n Hình 3-5: S ph thu c nhi t đ c a đi n tr silic Hình 3-6 : ng d ng nhi t đi n tr đ ch t o nhi t k đi n t 3.4 C p nhi t đi n 3.4.1 c tr ng C p nhi t đ c ch t o d a trên nguyên lý c a các hi u ng nhi t đi n. C u t o g m hai dây d n A và B có b n ch t khác nhau, đ c n i vói nhau b ng hai m i hàn có nhi t đ T1 và T2. Su t đi n đ ng E ph thu c vào b n ch t v t li u làm các dây d n A, B và nhi t đ T1, T2. Thông th ng nhi t đ c a m t m i hàn đ c gi n đ nh giá tr bi t tr c, g i là nhi t đ chu n (T1 = Tref). Khi đ t m i hàn th hai trong môi tr ng đo nó s đ t t i nhi t đ T2 = Tc ch a bi t. Nhi t đ Tc là hàm c a nhi t đ Tx và các quá trình trao đ i nhi t. Kích th c c p nhi t nh nên có th đo nhi t đ t ng đi m và t ng t c đ đáp ng do nhi t dung nh . Su t đi n đ ng do c p nhi t t o ra trong khi đo không c n có dòng đi n ch y qua do đó không có hi u ng đ t nóng. Trang 30 Giáo trình C m bi n Tuy nhiên, c n ph i bi t tr là sai s Tc. c nhi t đ chu n Tref, vì v y sai s Tref c ng chính Su t đi n đ ng c a c p nhi t là hàm không tuy n tính c a Tc. M i lo i c p nhi t có m t b ng chu n ghi giá tr c a su t đi n đ ng ph thu c vào nhi t đ và bi u th c mô t s ph thu c đó. Thí d , đ i v i c p nhi t platin – 30% rodi/platin – 6% rodi, trong kho ng nhi t đ t 0°C đ n 1820°C theo chu n NF C 42-321 bi u th c mô t s ph thu c có d ng: i =8 E = ∑ aiT i ( 3.8 ) i =0 trong đó, E (µV) và T (°C) Giá tr c th c a các h s ai, nh sau: a0 = 0 a1 = -2,4674601620.10-1 a2 = 5,9102111169.10-3 a3 = -1,4307123430.10-6 a4 = 2,1509149750.10-9 a5 = -3,1757800720.10-12 a6 = 2,4010367459.10-15 a7 = -9,0928148159.10-19 a8 = 1,3299505137.10-22 M t s c p nhi t có d i nhi t đ làm vi c đ c chia ra nh ng vùng nh . Trong m i vùng, m i quan h gi a su t đi n đ ng và nhi t đ đ c mô t b ng bi u th c đ c tr ng riêng. C p nhi t có d i nhi t đ làm vi c r ng h n nhi u so v i nhi t k đi n tr . M i lo i c p nhi t có m t gi i h n c a d i nhi t đ làm vi c. Thí d , t -270°C đ i v i c p nhi t đ ng/vàng-coban đ n 2700°C đ i v i c p nhi t wofram-reni 5%/wonfram-reni 26%. nh y nhi t c a c p nhi t đi n là hàm c a nhi t đ , đ c xác đ nh b ng bi u th c: s (Tc ) = dE A / B dTc (µV/°C) ( 3.9 ) Thí d : - C p nhi t Fe/constantan: - C p nhi t Pt – Rh 10%/Pt: s(0°C) = 6,4 µV/°C; s(1400°C) = 11,93 µV/°C 3.4.2 Ph s(0°C) = 52,9 µV/°C; s(700°C) = 63,8 µV/°C ng pháp ch t o và s đ đo a. Ch t o Trong quá trình ch t o c p nhi t c n ph i tránh t o ra nh ng c p nhi t ký sinh do g p khúc dây, nhi m b n hóa h c, b c x hât nhân. M i hàn c ng ph i nh , b i vì n u vùng hàn có kích th c l n s t o ra su t đi n đ ng ký sinh do chênh l ch nhi t đ gi a các đi m khác nhau trên m i hàn. tránh ti p xúc v i bên ngoài, m i hàn và dây đ c đ t trong s cách đi n tr v hóa h c và có đi n tr l n. b o v c u trúc c p nhi t – s cách đi n, ng i ta Trang 31 Giáo trình C m bi n trang b thêm l p v b c bên ngoài làm b ng s ho c thép. V b c này kín không đ không khí l t vào và ch ng đ c s thay đ i nhi t đ t ng t. N u v b c làm b ng thép thì m i hàn có th ti p xúc v i v thép đ gi m th i gian đáp ng. b. S đ đo Hình 3-7 : S đ l p ráp c p nhi t v i thi t b đo L p ráp t ng đôi cùng nhi t đ : các m i hàn c a c p nhi t A/M1 và B/M1; các m i hàn c a dây d n trung gian M1/M2 và M2/M3. Khi đó trong m ch ch có su t đi n đ ng Seebeck c a c p nhi t: e=P Tc A/ B −P Tref A/ B + Tref ∫ (h B − hA )dT = E A / B TcTref ( 3.10 ) Tc S đ vi sai: đo nhi t đ gi a hai đi m hai m i hàn A/B c a c p nhi t. Các m i hàn gi ng nhau đ t cùng nhi t đ A/M1, M1/M2, M2/M3. Hình 3-8 : S đ vi sai N u kho ng nhi t đ t Tc1 đ n Tc2 nh , ta có: E ATc/ BTc = s (Tc1 − Tc2 ) 1 c. Ph 2 ( 3.11 ) ng pháp đo xác đ nh chính xác su t đi n đ ng c p nhi t ta ph i gi m s s t áp trong các ph n t c p nhi t và dây d n do có dòng đi n ch y qua, thông th ng r t khó xác đ nh đi n tr c a các ph n t này vì đi n tr là hàm c a nhi t đ môi tr ng và nhi t đ c n đo. Trang 32 Giáo trình C m bi n H S d ng milivon k có đi n tr n i r t l n đ gi m s t áp trên dây d n. Hình 3-9 : o su t đi n đ ng b ng milivonk i n áp gi a hai đ u milivon k : Vm = E A / B TcTref Do không th xác đ nh đ ch n sao cho: Rv >> Rt + Rl Rv Rt + Rl + Rv ( 3.12 ) c đi n tr c a c p nhi t và dây n i, đ gi m sai s ta Khi đó: E A / B = Vm TcTref H Dùng ph ng pháp xung đ i đ dòng đi n qua c p nhi t b ng không. Hình 3-10 : o su t đi n đ ng b ng ph ng pháp xung đ i i u ch nh dòng đi n qua Re (b ng Rh) sao cho kim đi n k G ch s 0 (không có dòng đi n qua c p nhi t). Ta có: E A / B = Re I TcTref 3.4.3 Các c p nhi t đi n th ( 3.13 ) ng dùng trong th c t D i nhi t đ làm vi c đ i v i m t c p nhi t đi n th ng b h n ch . nhi t đ th p n ng su t nhi t đi n c a nó gi m đi. nhi t đ cao c p nhi t có th b nhi m b n do môi tr ng đo ho c x y ra hi n t ng bay h i m t trong các ch t thành ph n c a h p kim làm c p nhi t, ho c b t ng kích th c h t tinh th d n đ n làm t ng đ dòn c h c, th m chí có th b nóng ch y. Trang 33 Giáo trình C m bi n C p nhi t đi n ng/Constantan Φ = 1,63mm S t/Constantan Φ = 3,25mm Chromel/Alumel Φ = 3,25mm Chromel/Constantan Φ = 3,25mm Platin-Rodi(10%)/Platin Φ = 0,51mm Platin-Rodi(13%)/Platin Φ = 0,51mm Platin-Rodi(30%)/PlatinRodi(6%) Φ = 0,51mm Wonfram-Reni(5%)/ Wonfram-Reni(26%) Nhi t đ làm vi c (°C) -270 ÷ 370 -6,258 ÷ 19,027 -210 ÷ 800 -8,096 ÷ 45,498 -270 ÷ 1250 -5,354 ÷ 50,633 -270 ÷ 870 -9,853 ÷ 66,473 -50 ÷ 1500 -0,236 ÷ 15,576 -50 ÷ 1500 -0,226 ÷ 17,445 0 ÷ 1700 0 ÷ 12,426 0 ÷ 2700 0 ÷ 38,45 E (mV) B ng 3-3: M t s lo i c p nhi t đi n th chính xác (-100°C ÷ -40°C): ±2% (-40°C ÷ 100°C): ±0,8% (100°C ÷ 350°C): ±0,75% (0°C ÷ 400°C): ±3% (400°C ÷ 800°C): ±0,75% (0°C ÷ 400°C): ±3% (400°C ÷ 1250°C): ±0,75% (0°C ÷ 400°C): ±3% (400°C ÷ 1250°C): ±0,75% (0°C ÷ 600°C): ±2,5% (600°C ÷ 1500°C): ±0,4% (0°C ÷ 538°C): ±1,4% (538°C ÷ 1500°C): ±0,25% (870°C ÷ 17500°C): ±0,5% ng g p trong th c t Hình 3-11 : M t d ng c p nhi t đi n và thi t b đo nhi t đ 3.5 o nhi t đ b ng diode và transistor Có th s d ng các linh ki n bán d n là diode hay transistor m c theo ki u diode (n i B v i C) phân c c thu n v i dòng I không đ i đ đo nhi t đ . Khi đó, đi n áp gi a hai c c là hàm c a nhi t đ . Trang 34 Giáo trình C m bi n v v I I Hình 3-12 : S d ng diode, transistor làm c m bi n nhi t đ nh y nhi t: S= dV dT ( 3.14 ) nh y nhi t có giá tr kho ng -2,5mV/°C. nh y nhi t ph thu c vào dòng ng c I0, dòng đi n này thay đ i r t khác đ i v i linh ki n khác nhau, vì v y nên ch n các linh ki n có đ c tr ng t ng t nhau. lo i tr nh h ng c a dòng ng dùng m t c p transistor m c đ i nhau. c I0 và t ng đ tuy n tính, ng V1 i ta th ng V2 Vd I1 I2 Hình 3-13 : C p transistor m c theo ki u diode đ i Gi s dòng I0 c a hai transistor là nh nhau, dòng đi n ch y qua các transistor và đi n áp B-E t ng ng là I1, I2 và V1, V2. Khi đó: I1 = I 0 exp qV1 KT ⇒ V1 = I 2 = I 0 exp qV2 KT ⇒ V2 = Vd = V1 − V2 = KT I1 ln q I0 KT I 2 ln q I0 KT I1 KT ln = ln n q I2 q v i n= I1 I2 Ta có đ nh y nhi t: S= dVd K = ln n = 8,56.ln n (µV.K-1) dT q ( 3.15 ) nh y nhi t này nh h n so v i tr ng h p ch s d ng m t diode ho c m t transistor, nh ng không ph thu c vào nhi t đ T do đó đ tuy n tính đ c cài thi n đáng k . Trang 35 Giáo trình C m bi n c đi m: tr . - nh y nhi t l n h n nhi u so v i c p nhi t nh ng nh h n so v i nhi t đi n c bi t là không c n nhi t đ chu n. D i nhi t đ làm vi c b h n ch so s thay đ i tính ch t đi n c a c m bi n các nhi t đ gi i h n. C m bi n có đ n đ nh cao trong kho ng t -50°C đ n 150°C. 3.6 C m bi n nhi t LM35D 3.6.1 c đi m Hình 3-14 : S đ chân LM35D và s d ng LM35D là lo i c m bi n nhi t đ có đi n áp ngõ ra ph thu c vào nhi t đ . - nh y 10mV/°C - D i nhi t đ làm vi c t 0°C đ n 100°C - Ph m vi đi n áp s d ng t 4V đ n 30V - chính xác ±1°C. tuy n tính t t (sai s phi tuy n t i đa ±0,5°C) - Dòng đi n tr ng thái t nh nh (80mA) - V ngoài gi ng nh các transistor (ki u TO-92) Khi s d ng không c n linh ki n ngoài, c ng nh không c n tinh ch nh, ch c n n i v i vôn k 1V ho c VOM s có th dùng làm máy đo nhi t đ . Trang 36 Giáo trình C m bi n 3.6.2 Các m ch ng d ng a. M ch đi u ch nh nhi t đ n c Hình 3-15 : M ch đi u ch nh nhi t đ n c dùng LM35D M ch so sánh có ngõ vào không đ o chi t áp t PR1 (dùng đ t nhi t đ c n thi t). Ngõ vào không đ o l y đi n áp ngõ ra c a b c m bi n nhi t đ LM35D. Khi nhi t đ n c th p h n nhi t đ đ t tr c, ngõ vào không đ o có đi n áp cao h n ngõ vào đ o, đi n áp ngõ ra b so sánh m c cao, đèn D2 sáng (bi u hi n đang gia nhi t). Q1 d n, đèn D3 sáng, đi n tr Rcds nh n ánh sáng t D3 chi u vào, đi n tr s t xu ng kho ng 1kΩ, triac d n, b gia nhi t đ c c p đi n, nhi t đ n c t ng lên. Khi nhi t đ n c b ng ho c cao h n nhi t đ đ t tr c, đi n áp ngõ vào đ o cao h n đi n áp ngõ vào không đ o. i n áp ngõ ra b so sánh xu ng m c th p, đèn D1 sáng (báo ng ng gia nhi t). Q1 ng ng, đèn D3 t t, Rcds không đ c chi u sáng có giá tr l n kho ng 1MΩ, triac ng ng d n, b gia nhi t b ng t đi n ng ng gia nhi t. b. M ch đo nhi t đ trung bình Hình 3-16 : M ch đo nhi t đ trung bình Trang 37 Giáo trình C m bi n Ba c m bi n T1, T2, T3 đ c đ t ba v trí khác nhau, đi n áp Vo cho phép xác đ nh nhi t đ trung bình c a môi tr ng đo. Ch n: R1 = R2 = R3 = 3R5 Vo = ; R4 = R6 1 (Vo1 + Vo2 + Vo3 ) 3 c. M ch đo sai l ch nhi t đ Hai c m bi n T1 và T2 đo nhi t đ hai n i. Hình 3-17 : M ch đo sai l ch nhi t đ Trang 38 Giáo trình C m bi n Câu h i ôn t p 1. Bi u th c nào d i đây bi u di n m i quan h gi a thang Kelvin và thang Celsius: a. T(°C) = T(K) – 273,15 b. T(K) = T(°C) – 273,15 c. T(°C) = 273,15 – T(K) d. T(K) = 273,15 – T(°C) 2. Bi u th c nào d Fahrenheit. i đây bi u di n m i quan h gi a thang Celsius và thang 3. đo nhi t đ chính xác c n gi m hi u s Tx – Tc (Tx: nhi t đ môi tr ng đo, Tc: nhi t đ c m bi n). Biên pháp nào d i đây có th gi m đ c hi u s này: a. T ng s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng đo; t ng s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng bên ngoài. b. T ng s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng đo; gi m s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng bên ngoài. c. Gi m s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng đo; t ng s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng bên ngoài. d. Gi m s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng đo; gi m s trao đ i nhi t gi a c m bi n và môi tr ng bên ngoài. 4. i v i nhi t đi n tr kim lo i, đ đo v i đ nh y t t, ta c n: a. Dùng các đi n tr có tr s l n đ đo d i nhi t đ th p. b. Dùng các đi n tr có tr s nh đ đo d i nhi t đ th p. c. Dùng các đi n tr có tr s l n đ đo d i nhi t đ cao. d. S d ng các đi n tr có giá tr tùy ý. 5. Trình bày nguyên lý ho t đ ng c a m ch đi n đi u ch nh nhi t đ n L35D là c m bi n nhi t đ . c. Trong đó, Trang 39 Giáo trình C m bi n Ch ng 4 C M BI N QUANG 4.1 Ánh sáng và các đ i l ng quang h c Ánh sáng là các b c x đi n t có b c sóng n m trong vùng quang ph nhìn th y đ c b ng m t th ng (t c là t kho ng 400 nm đ n 700 nm). Gi ng nh m i b c x đi n t , ánh sáng có th đ c mô t nh nh ng đ t sóng h t chuy n đ ng g i là photon. Ánh sáng do M t Tr i t o ra còn đ c g i là ánh n ng (hay còn g i là ánh sáng tr ng bao g m nhi u ánh sáng đ n s c bi n thiên liên t c t đ đ n tím); do đèn t o ra còn đ c g i là ánh đèn (ánh sáng nhân t o); do các loài v t phát ra g i là ánh sáng sinh h c. "Ánh sáng l nh" là ánh sáng có b c sóng t p trung g n vùng quang ph tím. "Ánh sáng nóng" là ánh sáng có b c sóng n m g n vùng đ . Ánh sáng có quang ph tr i đ u t đ đ n tím là ánh sáng tr ng; còn ánh sáng có b c sóng t p trung t i vùng quang ph r t h p g i là "ánh sáng đ n s c". Hình 4-1 : Phân b t n s và b c sóng c a ánh sáng 4.1.1 Tính ch t c a ánh sáng Ánh sáng có hai tính ch t c b n là sóng và h t. a. Tính ch t sóng Sóng ánh sáng là sóng đi n t phát ra khi có s chuy n m c n ng l đi n t c a nguyên t ngu n sáng. ng c a các Trang 40 Giáo trình C m bi n T c đ c a sóng ánh sáng truy n đi trong không gian là c = 299792 km/s. Trong môi tr ng có chi t su t n, ánh sáng có v n t c: v= T n s ánh sáng γ và b c n ( 4.1 ) c sóng λ có bi u th c liên h : λ= v ( 4.2 ) γ b. Tính ch t h t Ánh sáng bao g m các h t photon mang n ng l ng, ph thu c vào t n s : Wφ = hγ trong đó: h – h ng s Planck (h = 6,6256.10-34 Js) ( 4.3 ) 4.1.2 Các đ n vi đo quang - N ng l ng b c x (Q) là n ng l d ng b c x , đ n v đo là J. ng phát x , lan truy n ho c h p th d i - Thông l ng ánh sáng (Φ) là công su t phát x , lan truy n ho c h p th : dQ Φ= , đ n v đo là W. dt ng đ ánh sáng (I) là dòng n ng l ng phát ra theo m t h dΦ , đ n v đo là W/steradian. đ n v góc kh i: I = dΩ - C ng d im t chói (L) là t s gi a c ng đ ánh sáng t m t ph n t b m t dA theo ng xác đ nh và di n tích hình chi u c a ph n t này lên m t ph ng P vuông góc dI , đ n v đo là W/steradian.m2; trong đó dAn = dA.cosθ (θ - góc v i h ng đó: L = dA h p b i m t ph ng P và m t ph ng ch a dA) h r i (E) là t s gi a dòng n ng l ng thu đ c b i m t ph n t b m t và dΦ , đ n v đo là W/m2 (lux). di n tích c a ph n t đó: E = dA - 4.2 Ngu n sáng 4.2.1 èn s i đ t wonfram C u t o: G m m t s i dây wonfram đ t trong m t bóng th y tinh ho c thanh anh có ch a khí hi m ho c halogen (I2) đ gi m bay h i s i đ t. c đi m: - Nhi t đ s i wonfram gi ng nhi t đ c a m t v t đen tuy t đ i. - Ph phát x n m trong vùng ph nhìn th y. - Quán tính nhi t l n nên không th thay đ i b c x nhanh chóng, th i gian s ng nh , d v . Trang 41 Giáo trình C m bi n - Thông l ng l n, d i ph r ng. Dây đ t Bóng th y tinh Giá đ Hình 4-2 : C u t o đèn Wonfram 4.2.2 Diode phát sáng N ng l ng gi i phóng trong quá trình tái h p đi n t - l tr ng ti p P-N c a diode làm phát sinh các photon. g n chuy n Hình 4-3 : Diode phát quang (LED) c đi m: - Th i gian đáp ng nh kho ng ns, có kh n ng đi u bi n sáng hoàn toàn xác đ nh, đ tin c y cao và đ b n t t. - Thông l ng t t n s cao, ph ánh ng đ i nh , nh y v i nhi t đ , ph m vi s d ng h p. 4.2.3 Laser Laser (Light Amplification by Stimulated Emission Radiation) là hi n t khu ch đ i ánh sáng b ng b c x kích thích. ng Ngu n sáng laser r t đ n s c, đ chói l n, đ đ nh h ng cao và liên k t m nh. T t c b c x đ u cùng phân c c, cùng pha do đó khi ch ng chéo lên nhau s t o thành m t sóng duy nh t. C u t o g m 4 b ph n chính: - C c u kích thích - Môi tr - C c u ph n x - B ph i ghép đ u ra ng tác đ ng. Trang 42 Giáo trình C m bi n C c u kích thích dùng đ đ a n ng l kích thích: quang, đi n và hóa n ng. ng vào môi tr ng tác đ ng. Có 2 lo i Hình 4-4: Mô hình h th ng laser Môi tr ng tác đ ng là t p h p các nguyên t , ion ho c phân t có kh n ng b c x , trong đó x y ra hi n t ng b c x kích thích. ó là môi tr ng phát sáng trong laser, có th là ch t r n, l ng, khí hay bán d n. Tên laser th ng l y theo môi tr ng tác đ ng (h ng ng c, CO2). B c sóng phát x c a laser ph thu c vào môi tr ng tác đ ng, vì m i nguyên t có m c n ng l ng xác đ nh. C c u ph n x g m các g ng đ u cu i môi tr ng tác đ ng. G ng ph n x ánh sáng trong môi tr ng tác đ ng tr vào theo tr c ng, t o nên các h c c ng h ng ánh sáng. G ng c u lõm th ng đ c dùng đ đ i h ng tia ph n x . B ph i ghép đ u ra đ c ng h ng ra ngoài. c thi t k đ truy n m t ph n tr m ánh sáng trong h c Hình 4-5: Laser ch t r n v i ngu n kích thích quang h c Trang 43 Giáo trình C m bi n Hình 4-6 : Laser ch t khí kích thích b ng đi n c đi m: cao. - B c sóng đ n s c hoàn toàn xác đ nh. Thông l ng l n, có kh n ng nh n đ c chùm tia r t m nh v i đ đ nh h ng Truy n đi trên kho ng cách r t l n (đo đ n v tinh). 4.3 C m bi n quang bán d n 4.3.1 T bào quang d n C s v t lý c a t bào quang d n d a trên hi n t ng quang d n: hi n t ng gi i phóng h t t i đi n bên trong v t li u d i tác d ng c a ánh sáng (hi u ng quang đi n n i), làm t ng đ d n đi n c a v t li u. T bào quang d n là m t trong các c m bi n quang có đ nh y cao. Hình 4-7: T bào quang d n a. V t li u ch t o T bào quang d n th ng đ c ch t o t các v t li u bán d n đa tinh th ho c đ n tinh th , bán d n riêng ho c pha t p. - a tinh th : CdS, CdSe, CdTe, PbS, PbSe, PbTe n tinh th : Ge, Si tinh khi t ho c pha t p Au, Cu, Sb, In; SbIn, AsIn, Pin, CdHgTe. Trang 44 Giáo trình C m bi n Hình 4-8: D i ph làm vi c c a các v t li u quang d n b. Các đ c tr ng - i n tr : i n tr Rc c a t bào quang d n gi m r t nhanh khi đ r i t ng lên. S thay đ i này là m t hàm không tuy n tính c a đ r i sáng. Hình 4-9 : S ph thu c c a đi n tr và đ r i sáng i n tr c a t bào quang d n có th xem t song song v i m t đi n tr Rcp: Rc = ng đ ng đi n tr t i Rco m c Rco Rcp ( 4.4 ) Rco + Rcp Giá tr đi n tr t i Rco ph thu c vào hình d ng, kích th ch t c a v t li u quang d n. - PbS, CdS, CdSe có đi n tr t i r t l n: t 104Ω đ n 109Ω - SbIn, SbAs, CdHgTe có đi n tr t i t c, nhi t đ và b n 25°C ng đ i nh : t 10Ω đ n 103Ω 25°C Trang 45 Giáo trình C m bi n i n tr Rcp xác đ nh b i hi u ng quang đi n, có d ng: Rcp = aΦ −γ ( 4.5 ) Trong đó: a – h s ph thu c m nh vào v t li u, nhi t đ và ph b c x ánh sáng γ có giá tr t 0,5 đ n 1 Thông th ng, Rcp ng nh y v i s ng s c t trong v t li u s t t và trong thay đ i kho ng cách gi a các lõi s t c n ch n lf , bi u th c trên có d ng: µf L= µ0 N 2 S l0 ( 5.10 ) Trang 69 Giáo trình C m bi n S d ch chuy n ∆x làm thay đ i ∆l0 = 2∆x, khi đó h s t c m có giá tr : µ0 N 2 S 1 L + ∆L = . 2∆x l0 1+ l0 ⇒ ( 5.11 ) 2∆x 1 ∆L =− . L l0 1 + 2∆x l0 ( 5.12 ) Hình 5-10 : M ch t có khe t bi n thiên 1 – lõi s t t ; 2 – cu n dây; 3 – đ i t ng di đ ng t ng đ nh y và đ tuy n tính c a c m bi n, ng i ta k t h p hai m ch t v i nhau. bi n thiên h s t c m c a cu n L’ đ ∆L' = c bi u di n b ng bi u th c: 2µ 0 N 2 S ∆x . 2 2∆x l0 1− l0 ( 5.13 ) c. Cu n dây có lõi t C m bi n g m m t cu n dây đ dài l g m N vòng dây, bên trong có lõi s t t . Ph n c a lõi s t n m trong cu n dây có đ dài lf thay đ i. Hình 5-11 : Cu n dây có lõi t Trang 70 Giáo trình C m bi n H s t c m L c a cu n dây ph thu c vào chi u dài lf c a lõi t : L = µ0 { N2 s0l + (µ f − 1)s f l f + 2k s0 [s0 + (µ f − 1)s f ]. (l − l f ).l f l2 } ( 5.14 ) Trong đó: k – h s ghép n i, có giá tr t 0 đ n 1 s0 và sf – ti t di n ngang c a m ch t và c a kho ng gi a các lõi t t c m là hàm không d ch chuy n ∆lf c a lõi t làm thay đ i đ t c m. c i thi n s không tuy n tính b ng cách ghép hai cu n dây đ ng tuy n tính c a ∆lf. d ng vào thành hai nhánh k sát nhau c a m t c u đi n tr có cùng chung m t lõi s t. 5.4.2 C m bi n đo v n t c a. T c k đi n t đo v n t c dài Trong tr ng h p d ch chuy n th ng có biên đ nh , có th ch t o c m bi n b ng cách k t h p m t nam châm và m t cu n dây, m t c đ nh, ph n còn l i g n v i v t chuy n đ ng. Khi chuy n đ ng t ng đ i gi a cu n dây và nam châm s gây nên m t su t đi n đ ng gi a hai đ u cu n dây t l v i v n t c chuy n đ ng. N u cu n dây là đ ng, nó s đ c đ t trong t tr châm. Su t đi n đ ng xu t hi n trong cu n dây có d ng: e = 2π.r .n.B .v = l .B .v ng xuyên tâm c a nam ( 5.15 ) Trong đó: r – bán kính vòng dây, n – s vòng dây; l = 2πrn – t ng chi u dài dây qu n B – giá tr c m ng t v – v n t c d ch chuy n c a cu n dây T c k lo i này đo đ 1 c đ d ch chuy n đ n vài mm v i đ nh y kho ng V . (m / s ) Trong tr ng h p d ch chuy n l n h n (0,5m), ng chuy n theo tr c c a hai cu n dây. i ta cho nam châm d ch Khi nam châm chuy n đ ng, su t đi n đ ng c m ng trong t ng cu n dây t l v i t c đ c a nam châm nh ng có d u ng c nhau, vì các c c ng c nhau chuy n đ ng trong hai cu n dây. Hai cu n dây đ c đ u n i ti p và ng c chi u đ có su t đi n đ ng khác không. b. T c k đo t c đ quay C m bi n t tr bi n thiên cu n đo có lõi t ch u tác đ ng b i t tr ng c a nam châm v nh c u. Cu n đo đ t đ i di n v i m t đ a quay làm b ng s t t có r ng (bánh r ng). Khi đ a quay, t tr c a m ch t bi n thiên m t cách tu n hoàn làm xu t hi n trong cu n dây su t đi n đ ng có t n s t l v i t c đ quay. Trang 71 Giáo trình C m bi n Hình 5-12 : Nguyên lý và c u t o c a c m bi n t tr bi n thiên Biên đ E c a su t đi n đ ng trong cu n dây ph thu c vào hai y u t : - Kho ng cách gi a cu n dây và đ a quay (khe t ): kho ng cách càng l n thì su t đi n đ ng càng nh . Thông th ng s thay đ i kho ng cách này không v t quá vài mm. - T c đ quay: biên đ c a su t đi n đ ng t l thu n v i t c đ quay. Do đó, s có vùng t c đ quá bé (t c đ “ch t”) không th đo đ c su t đi n đ ng. Khe t càng l n thì vùng này càng r ng. D i đo c a c m bi n t tr bi n thiên ph thu c vào s r ng p c a đ a. T c đ đo đ c t i thi u Vmin càng nh khi p càng l n. T c đ đo đ c t i đa Vmax càng l n khi p càng nh . Thí d : đ a quay có 60 r ng t c đ đo đ c t 50 đ n 500 vòng/phút; đ a quay có 15 r ng, d i t c đ đo đ c t 500 đ n 10000 vòng/phút. 5.5 C m bi n công t c 5.5.1 Công t c l đ i gà C u t o g m hai ti p đi m t đ t trong m t bóng th y tinh ch a khí tr ho c c hút chân không. Hình 5-13 : Công t c l i gà Khi m t nam châm đi qua công t c, các ti p đi m t đ li u t s t ng tác v i nhau. c ch t o t các v t M t s tr ng h p, công t c l i gà đ c đ t trong m t cu n dây, khi đó đi n áp DC là tác nhân làm đóng công t c. Thi t b này còn đ c g i là relay l i gà. Trang 72 Giáo trình C m bi n c đi m: - Hi u su t c m bi n không ch u nh h ng b i nhi t đ và đ m. chính xác cao. - Giá thành th p - C n tránh xa nam châm v nh c u có th gây h ng công t c. 5.5.2 Công t c th y ngân Hình 5-14 : Công t c th y ngân Công t c th y ngân đ c ch t o t th y ngân d n đi n d ng l ng ch a trong bóng th y tinh kín và m t s ti p đi m đi n. Tùy thu c vào góc nghiêng c a bóng th y tinh, công t c t o ra s k t n i gi a hai ti p đi m. Công t c th y ngân có tu i th ti p đi m cao, do không có s t ng tác c h c. 5.5.3 Công t c gi i h n Công t c gi i h n là m t d ng công t c nh . Khi c n c m ng b nén b i m t s chuy n đ ng, ti p đi m bên trong s đóng l i. Hình 5-15 : Công t c gi i h n t cđ C m bi n công t c đ c dùng nhi u trong các ng d ng robot. C m bi n công c s d ng v i nhi u m c đích, ch ng h n: - C m bi n va ch m (ti p xúc): c m bi n công t c đ c dùng đ phát hi n khi có va ch m c h c v i m t v t nào đó. Thí d , c m bi n công t c t o ra m t s chuy n m ch khi thân robot ch y vào t ng ho c ch m gi i h n đ ng ch y c a robot. - C m bi n gi i h n: t ng t nh c m bi n ti p xúc, c m bi n gi i h n phát hi n m t v t đã di chuy n đ n cu i hành trình c a nó, khi đó tín hi u đi u khi n motor s t t. - Mã hóa tr c quay (shaft): m t tr c quay k t h p v i m t công t c ch m s đ c n m t l n m t vòng quay. Ph n m m đ m s l n n đ xác đ nh s vòng và t c đ quay c a tr c. Trang 73 Giáo trình C m bi n 5.6 Encoder quang Encoder là m t thi t b c m bi n chuy n đ i tín hi u v t lý d ng chuy n đ ng thành tín hi u đi n, đ c s d ng trong m t s thi t b đi u khi n (ch ng h n PLC) đ đi u khi n các c c u ch p hành khác trong vi c đ nh v t a đ hay đi u khi n t c đ c a các lo i đ ng c . Có nhi u k thu t đ ch t o encoder, thông d ng nh t là các k thu t c , t , tr kháng và quang h c. Các thành ph n chính c a encoder quang bao g m m t ngu n sáng, m t đ u thu quang (photodiode ho c phototransistor) và đ a encoder. a enocoder đ c g n đ ng tr c v i v t quay có các vùng ph n x ho c trong su t đ c b trí tu n hoàn xen k v i các ph n ch n sáng gi a ngu n sáng và đ u thu quang. Hình 5-16 : C u t o encoder Trang 74 Giáo trình C m bi n Hình 5-17 : Nguyên t c ho t đ ng c a encoder x g đ t Ánh sáng t ngu n sáng phát ra đ n đ a encoder n u g p ph n trong su t (ph n ) s xuyên qua (ph n x ) đ a và đ c nh n đ c t i đ u thu quang. N u ánh sáng p các ph n ch n sáng s không đ n đ c đ u thu. Do đó khi v t quay chuy n đ ng, u thu s nh n đ c m t thông l ng đ c bi n đi u và nó phát ra tín hi u có t n s l v i t c đ quay. Có hai d ng encoder chính bao g m endcoder cho phép xác đ nh s t ng tín hi u (endcoder d ng t ng) và encoder cho phép xác đ nh giá tr chính xác c a tín hi u (endcoder chính xác). 5.6.1 Encoder d ng t ng Xác đ nh s t ng tín hi u d a vào m t chu i các sóng cao và th p cho phép xác đ nh s di chuy n t v trí này sang v trí khác, d ng này ch phát hi n đ c s thay đ it ađ . a. Tachometer encoder ây là lo i encoder d ng t ng đ n gi n nh t. Th ng dùng trong các h th ng ch quay m t h ng và đòi h i thông tin đ n gi n v v trí và v n t c. i v i lo i encoder này ng i dùng ch có th xác đ nh đ c v n t c quay nh ng không th xác đ nh đ c h ng quay, do đó không th s d ng nh c m bi n v trí. Hình 5-18 : a tachometer encoder Trang 75 Giáo trình C m bi n b. Phase-Quadrature encoder kh c ph c nh c đi m c a Tachometer enocder, ng kênh th hai l ch v i kênh th nh t 90° vào đ a encoder. đ i ta b sung thêm m t D a vào s l ch pha c a hai tín hi u đáp ng c a hai kênh ta có th xác đ nh c chi u quay c a v t quay. Hình 5-19 : a phase-quadrature encoder 5.6.2 Encoder chính xác Encoder chính xác cho phép ng i dùng xác đ nh m t cách chính xác giá tr các thông tin v v n t c, v trí, h ng quay… b ng cách s d ng đ a quay nhi u kênh có các ph n trong su t ho c ph n x đ c s p x p theo th t các lo i mã nh phân, Gray… Hình 5-20 : Các thành ph n chính c a encoder chính xác Hình 5-21 : Các d ng đ a encoder chính xác Trang 76 Giáo trình C m bi n 5.7 Cáp quang 5.7.1 C u t o và tính n ng Cáp quang bao g m m t lõi chi t su t n1, bán kính a (10 ÷ 100µm) và m t v chi t su t n2 < n1 dày ~ 50µm. a n2 n1 Hình 5-22 : M t c t c a cáp quang Các v t li u s d ng đ ch t o cáp quang bao g m: - SiO2 tinh khi t ho c pha t p nh . - Th y tinh, thành ph n c a SiO2 và ph gia Na2O3, B2O3, PbO… - Polyme. m t phân cách gi a 2 môi tr ng có chi t su t t ng ng b ng n1 và n2, các góc θ1, θ2 do m t tia sáng t o thành v i đ ng tr c giác c a m t ph ng: n1.sinθ1 = n2.sinθ2 ( 5.16 ) Khi n1 > n2 s x y ra ph n x toàn ph n n u: ⎛n ⎞ θ1 > arcsin⎜⎜ 1 ⎟⎟ = θ0 ⎝ n2 ⎠ ( 5.17 ) θ2 n2 n1 n1 > n2 θ0 θ1 Hình 5-23 : Hi n t ng khúc x , ph n x Trong cáp quang, tia sáng s b giam gi trong lõi và đ x liên t c n i ti p nhau. 5.7.2 c truy n đi b ng ph n ng d ng a. Truy n thông tin Truy n thông tin d i d ng tín hi u ánh sáng lan truy n trong cáp quang là đ tránh các tín hi u đi n t ký sinh ho c đ đ m b o cách đi n gi a m ch đi n ngu n và máy thu. Trong nh ng ng d ng lo i này, thông tin đ c truy n đi ch y u b ng cách Trang 77 Giáo trình C m bi n mã hóa các xung ánh sáng. Ngoài ra ng i ta còn có th truy n thông tin đi b ng cách bi n đi u biên đ ho c t n s c a ánh sáng. b. Quang sát và đo đ c b ng ph ng ti n quang h c Cáp quang cho phép quan sát ho c đo đ c b ng các ph ng pháp quang nh ng ch khó ti p c n ho c trong các môi tr ng đ c h i. S d ng cáp quang có th d n ánh sáng đ n nh ng v trí mà trong đi u ki n bình th ng ánh sáng không th chi u t i đ c. Ngu n sáng phát ra b c x d i d ng xung đ phân bi t nó v i ánh sáng môi tr ng. B c x này đ c d n đ n khu v c đo b ng cáp quang Fa. Các đ i l ng đo có th là v trí c a m t v t th (ph n x ho c h p th ánh sáng), t c đ quay, thành ph n hóa h c c a môi tr ng, nhi t đ … Trong khu v c đo, tia b c x b thay đ i và s thay đ i này ph thu c vào đ i l ng đo. Tùy t ng tr ng h p c th mà ta thu đ c nh ng thay đ i khác nhau c a tia b c x : - Thay đ i c ng đ trong tr ng h p đo v trí - Bi n đi u t n s t l v i t c đ quay - Thay đ i b c sóng trong tr ng h p đo nhi t đ : ánh sáng t i làm phát quang v t li u, ánh sáng do v t li u b c x ra có ph ph thu c vào nhi t đ . Các tia ph n x tr l i, tia b truy n tr l i ho c tia m i phát x đ c thu l i b ng cáp quang Fr và đ c đ a đ n m t c m bi n quang. C m bi n s cung c p tín hi u đi n ch a thông tin v đ i l ng c n đo. Trong nh ng ng d ng này, trong m t s tr ng h p tín hi u quang d i tác đ ng c a m t đ i l ng v t lý làm thay đ i tính ch t quang c a cáp quang và do đó thay đ i đi u ki n lan truy n sóng. Lúc này cáp quang đóng vai trò c m bi n đ chuy n đ i đ i l ng v t lý c n đo thành tín hi u quang. 5.8 M t s ng d ng c a c m bi n 5.8.1 Tachometer quang hi n th t c đ quay b ng LED Hình 5-24 : Tachometer quang a. c đi m - Có th l a ch n các d i t c đ làm vi c: 0 – 4000 rpm, 0 – 8000 rpm, 0 – 16000 rpm, 0 – 32000 rpm. - phân gi i: 250 rpm, 500 rpm, 1000 rpm, 2000 rpm. i n áp s d ng: 9V pin alkaline ho c 4 x AA 4,8V pin NiCd/NiMH C m bi n: phototransistor NPN Trang 78 Giáo trình C m bi n b. M ch đi n Các linh ki n chính: - Phototransistor PT501 - LM393 b so sánh đi n áp - LM555 dùng đ t o b dao đ ng t o t n s chu n 133,3 Hz - 74393 b đ m, chia t n 4 bit - 74373 b ch t 8 bit - 74154 b gi i mã 4 å 16 Ho t đ ng c a m ch đi n: i n áp t i c c thu PT501 ph thu c vào c ng đ ánh sáng chi u vào thay đ i t 0,7V (sáng) đ n 5V (t i). i n áp này đ c so sánh v i đi n áp t chi t áp R6 thông qua b so sánh đi n áp LM393. Tín hi u ngõ ra m ch so sánh đ c đ a vào b đ m 4 bit 74393, các ngõ ra b đ m này bi u di n s xung đ c nh n vào. Các ngõ ra c a b đ m 4 bit đ c đ a vào b n ngõ vào b ch t 8 bit 74373. B ch t này có ch c n ng “gi ” l i giá tr s đ m trong m t kho ng th i gian trì hoãn đ c t o ra b i b dao đ ng t LM555. Các ngõ ra c a b ch t đ c đ a vào b gi i mã 4 å 16 74154. Giá tr nh phân đ c gi i mã và hi n th thông qua 16 LED t ng ng ngõ ra b gi i mã. B dao đ ng t LM555 có t n s t i ngõ ra là 133,3Hz. Ngõ ra này đ c đ a vào b chia t n 4 bit. Các ngõ ra QA, QB, QC, QA có t n s l n l t là 66,67Hz, 33,33Hz, 16,67Hz và 8,333Hz. Công t c chuy n m ch S1 s ch n m t trong các ngõ ra này đ đ t th i gian trì hoãn cho b ch t. Hình 5-25 : M ch đi n tachometer quang Trang 79 Giáo trình C m bi n N u c n đo v n t c quay trong d i t 0 đ n 16000rpm, ta c n đ m t 0 đ n 32000 xung/phút (hai cánh qu t) t c là 533,3 xung/s. Do b đ m xung ch đ m t 0 đ n 15 nên ta không th đ m theo giây. Th c t ta đ m trong t ng 1/33,33 giây (30ms). Trong kho ng th i gian, đó v i m t ngõ vào 1600rpm, b đ m nh n đ c 16 xung có ngh a là s đ m s quay v không. Do đó, t i ngõ vào 15999rpm, nó ch nh n đ c 15 xung, ta c n “gi ” ngõ ra b đ m và sau đó reset trong m i 30ms. làm đ c đi u này ta c n có m t chu i xung 33,33Hz. T ng t , cho ba tr ng h p 0 – 4000rpm, 0 – 8000rpm và 0 – 32000rpm ta c n các chu i xung t ng ng 8,333Hz, 16,67Hz và 66,67Hz t b dao đ ng dùng LM555. 5.8.2 ng d ng c m bi n khí phát hi n khí metan C m bi n khí ho t đ ng nh m t bi n tr (đi n tr c a nó ph thu c vào n ng đ gas), khi gas đi qua b m t c m bi n đi n tr ch t bán d n gi m xu ng. Dòng kích SCR t ng lên, kích SCR d n. LED D1 sáng, đ ng th i IC555 đ c reset, phát ra âm thanh báo đ ng. Hình 5-26: Thi t b phát hi n khí metan 5.8.3 B đ c mã v ch Mã v ch là nh ng v ch đ m ho c m nh dùng đ mã hóa s hay ch cái. Có nhi u lo i mã v ch khác nhau, ph biên nh t là mã s n ph m thông d ng (Universal Product Code – UPC) và mã nh n d ng ký t b ng quang h c (Optical Character Recognition – OCR). Có hai lo i mã v ch th ng g p nh t là: - V ch đen là 1, v ch tr ng là 0. - Mã v ch n t m ph n t : v ch đen/tr ng r ng là 1, v ch đen/tr ng h p là 0. Máy quét mã v ch phát tia laser công su t th p. Tia sáng g p mã v ch ph n x l i m t c m bi n quang. C m bi n này chuy n tín hi u quang mang thông tin mã v ch thành tín hi u đi n. - Ngu n sáng chuy n đ ng nh g ng đa giác quay, mã c đ nh. Trang 80 Giáo trình C m bi n - Ngu n sáng c đ nh, mã chuy n đ ng. Bút quang: Tia laser đ c led phát ra h i t qua th u kính hình c u lên mã v ch. Tia ph n x đ c h i t qua th u kính v c m bi n. C m bi n cho tín hi u kho ng 1,1V khi g p ph n tr ng và 0V khi g p ph n đen. V n t c quét t i đa 1m/s. Mã v ch đ c gi i mã thành ký t ASCII. B gi i mã là vi đi u khi n chuyên dùng, mã ASCII đ c truy n đ n máy tính thông qua giao ti p RS232. B gi i mã đ c n i v i loa nh , phát âm thanh báo hi u khi quét xong. Tr ng i chính là không th đ c chính xác n u các v ch b b n ho c in nhòe. Hình 5-27: S đ b đ c mã v ch 5.8.4 o m c ch t l u ng d ng này s d ng các c m bi n này chuy n đ i m c ch t l ng thành tín hi u đi n. a. C m bi n đ d n Ch dùng cho các ch t l u d n đi n ( ≈ 50µScm-1), không n mòn kim lo i. C u t o g m hai đi n c c hình tr , n u bình ch a b ng kim lo i thì bình ch a là m t đi n c c. u đo đ c nuôi b ng đi n áp xoay chi u ≈ 10V đ tránh hi n t ng phân c c. Có hai ch đ đo: - o liên t c: u đo đ c đ t theo v trí th ng đ ng, chi u dài đ u đo b ng chi u cao c a m c ch t l ng c n đo. Dòng đi n gi a các đi n c c t l v i chi u dài đi n c c ng p trong ch t l u. l n tín hi u đi n ph thu c vào đ d n c a ch t l u. Trang 81 Giáo trình C m bi n Hình 5-28: S đ b trí đo liên t c - Phát hi n theo ng ng: i n c c đ c đ t theo ph ng n m ngang, v trí m i đi n c c t ng ng m t m c ch t l u. Khi ch t l ng đ t đ n m c đi n c c, xu t hi n dòng đi n có biên đ không đ i. Hình 5-29: S đ b trí đo theo ng ng b. C m bi n t đi n c s d ng khi ch t l ng là ch t cách đi n, h ng s đi n môi c a ch t l u ph i l n h n h ng s đi n môi không khí, th ng là g p đôi. Có th t o thành t đi n b ng hai đi n c c (thành bình ch a kim lo i và m t đi n c c). Ch t đi n môi g a hai đi n c c là ph n ng p ch t l ng và ph n không khí. M c ch t l u đ c chuy n thành đi n dung t đi n. i n dung này thay đ i theo m c ch t l u. N u ch t l u d n đi n, s d ng m t đi n c c có ph ch t cách đi n, l p cách đi n đóng vai trò là đi n môi, ch t l ng là đi n c c th hai. Trang 82 [...]... phát hi n s thay đ i giá tr c a ng đo nh nh t theo th i gian Trang 6 Giáo trình C m bi n c B ng thông T t c c m bi n đ u có gi i h n th i gian đáp ng đ i v i s bi n thiên c a đ i l ng đo M t s lo i c m bi n có th i gian đáp ng t t d n, t c là kho ng th i gian đáp ng gi m d n thay đ i theo đ i l ng đo 1.4 Gi i h n s d ng Trong quá trình s d ng, c m bi n luôn ch u tác đ ng c a ng l c c khí ho c nhi t... v i các nguyên t đã b ion hóa trong m t đ n v th i gian t l thu n v i n ng đ các nguyên t đã b ion hóa là r n02 , trong đó: r – h s tái h p Ph ng trình bi u di n s thay đ i c a m t đ đi n t t do có d ng: dn0 = a( N d − n0 ) − rn02 dt ( 2.10 ) Trang 16 Giáo trình C m bi n tr ng thái cân b ng: dn0 =0 dt ⇒ n0 = − a a 2 aN d + + 2r 4r 2 r ( 2.11 ) d n trong t i: σ 0 = qµn0 ( 2.12 ) trong đó: q – tr tuy... càng nh khi pha t p càng m nh - Khi nhi t đ l n h n 120°C, đi n tr su t gi m khi nhi t đ t ng Vì quá trình ion hóa do nhi t chi m u th làm n ng đ các h t d n đi n t ng lên l n h n nhi u so v i n ng đ pha t p H s nhi t c a đi n tr su t không ph thu c vào pha t p (tr ng h p bán d n riêng) Trang 29 Giáo trình C m bi n Hình 3-5: S ph thu c nhi t đ c a đi n tr silic Hình 3-6 : ng d ng nhi t đi n tr đ ch... s đ t t i nhi t đ T2 = Tc ch a bi t Nhi t đ Tc là hàm c a nhi t đ Tx và các quá trình trao đ i nhi t Kích th c c p nhi t nh nên có th đo nhi t đ t ng đi m và t ng t c đ đáp ng do nhi t dung nh Su t đi n đ ng do c p nhi t t o ra trong khi đo không c n có dòng đi n ch y qua do đó không có hi u ng đ t nóng Trang 30 Giáo trình C m bi n Tuy nhiên, c n ph i bi t tr là sai s Tc c nhi t đ chu n Tref, vì v... vi s d ng c Thông s mô hình thay th d D ng kích thích 3 Th nào là sai s h th ng và sai s ng u nhiên? Nêu m t s nguyên nhân d n đ n sai s c m bi n 4 nh y c a c m bi n đ c xác đ nh nh th nào? Trang 9 Giáo trình C m bi n Ch ng 2 CÁC HI U 2.1 Hi n t NG V T LÝ NG D NG TRONG C M BI N ng c m ng đi n t N m 1831, Faraday th c hi n thí nghi m ch ng minh r ng t tr ng có th sinh ra dòng đi n Khi cho t thông qua... đi n c m ng Ic Ic Ic Hình 2-2 : Thí nghi m Faraday - N u rút thanh nam châm ra, dòng đi n c m ng có chi u ng - Di chuy n thanh nam châm càng nhanh, c l n c l i ng đ dòng đi n c m ng Ic càng Trang 10 Giáo trình C m bi n - Gi thanh nam châm đ ng yên so v i ng dây, dòng đi n c m ng s b ng không - N u thay nam châm b ng m t ng dây có dòng đi n ch y qua, r i ti n hành các thí nghi m nh trên, ta c ng có nh... dòng đi n c m ng ph i có chi u nh trên hình 2-2 B ng l p lu n ta nh n th y n u d ch chuy n c c B c c a thanh nam châm ra xa ng dây, dòng đi n c m ng xu t hi n trong m ch s có chi u ng c l i Trang 11 Giáo trình C m bi n Nh v y, theo đ nh lu t Lenz, dòng đi n c m ng bao gi c ng có tác d ng ch ng l i s d ch chuy n c a thanh nam châm Do đó, đ d ch chuy n thanh nam châm, ta ph i t n công Chính công mà ta... t Volta: Phát bi u: Trong m t chu i cách nhi t đ nhau, t ng su t đi n đ ng Peltier b ng 0 A (T) M N c c u thành t nh ng v t d n khác (T) B PAT/ B Hình 2-4 : Hi u ng Peltier – nh lu t Volta Trang 12 Giáo trình C m bi n Thí d , trong m t chu i b n v t d n A B C D m c n i ti p, t ng su t đi n đ ng s b ng không PAT/ B + PBT/ C + PCT/ D + PDT / A = 0 Bi u th c có th đ c vi t l i: Vì: PAT/ D = − PDT / A... m t su t đi n đ ng là t ng h p tác đ ng c a hai hi u ng Peltier và Thomson Su t đi n đ ng đó g i là su t đi n đ ng Seebeck Hình 2-6 : Thomas Johann Seebeck (1770 – 1831) và Hi u ng Seebeck Trang 13 Giáo trình C m bi n Su t đi n đ ng các thành ph n là: T2 eab = ∫ hA dT ; T1 ecd = ∫ hB dT ; ebc = PAT/ B ; 2 T1 eda = PBT/ A 1 T2 Su t đi n đ ng Seebeck b ng t ng các su t đi n đ ng thành ph n: E T2T1 A/... phóng m t quang đi n t r t nh , nh h n 10-9s Khi b m t c a m t t m kim lo i đ c chi u b i b c x đi n t có t n s l n h n m t t n s ng ng (t n s ng ng này là giá tr đ c tr ng cho v t ch t làm nên Trang 14 Giáo trình C m bi n t m kim lo i này), các đi n t s h p th n ng l đi n (g i là dòng quang đi n) ng t các photon và sinh ra dòng Khi các đi n t b b t ra kh i b m t c a t m kim lo i, ta có hi u ng quang đi ... ng sai l ch trình ch t o c m bi n Tuy nhiên, t m th c nghi m có th xây d ng đ c đ ng th ng bi u di n s n tính c a c m bi n ng th ng g i đ ng th ng t t nh t, có bi u th c: Trang Giáo trình C m bi... b ion hóa r n02 , đó: r – h s tái h p Ph ng trình bi u di n s thay đ i c a m t đ n t t có d ng: dn0 = a( N d − n0 ) − rn02 dt ( 2.10 ) Trang 16 Giáo trình C m bi n tr ng thái cân b ng: dn0 =0... Vì trình ion hóa nhi t chi m u th làm n ng đ h t d n n t ng lên l n h n nhi u so v i n ng đ pha t p H s nhi t c a n tr su t không ph thu c vào pha t p (tr ng h p bán d n riêng) Trang 29 Giáo trình

Ngày đăng: 11/10/2015, 20:58

Xem thêm: GIÁO TRÌNH cảm BIẾN, đại học cần THƠ

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TRÍCH ĐOẠN

TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

w