Các đề tài seminar 1. Tổng quan: - Phòng sạch (yêu cầu, tạo phòng sạch….) - Các thiết bị chiếu sáng - Mặt nạ - Chất cản quang - Quá trình truyền hình ảnh - Các kĩ thuật tăng độ phân giải 2. Các phương pháp khắc (mỗi phương pháp nêu nguyên lý, thiết bị, quá trình khắc, ưu và nhược điểm ứng dụng…) - Khắc bằng chùm điện tử - Khắc bằng tia tử ngoại - Khắc bằng tia X - Khắc bằng chùm tia ion 3. Ăn mòn ướt - Si - SiO2 - SiN, Si đa tinh thể - Al - GaAs 4. Ăn mòn khô - Plasma - Cơ chế ăn mòn - Chẩn đoán plasma - Điều khiển điểm kết thúc - Các kĩ thuật và thiết bị - Ứng dụng Trên đây là 9 đề tài dành cho buổi seminar sắp tới. Duy phân các bạn thành từng nhóm để làm nhé. Tài liệu tham khảo dựa trên các file đã đưa. Hình thức chuẩn bị: trình chiếu powerpoint. Thời gian mỗi nhóm báo cáo : 15-30’ (chuẩn bị theo nội dung đã cho ở trên) 1 2 4 5 6 7 8 9 3 . Các đề tài seminar 1. Tổng quan: - Phòng sạch (yêu cầu, tạo phòng sạch….) - Các thiết bị chiếu sáng - Mặt nạ - Chất cản quang - Quá trình truyền hình ảnh -. tia ion 3. Ăn mòn ướt - Si - SiO2 - SiN, Si đa tinh thể - Al - GaAs 4. Ăn mòn khô - Plasma - Cơ chế ăn mòn - Chẩn đoán plasma - Điều khiển điểm kết thúc - Các kĩ thuật và thiết bị - Ứng dụng Trên