Nghiên cứu hoàn thiện công nghệ mems trong việc chế tạo linh kiện cảm biến áp suất ứng dụng xây dựng các module đo mực nước

ĐƠN VỊ CHỦ TRÌ ỦY BAN NHÂN DÂN THÀNH PHỐ BAN QUẢN LÝ KHU CÔNG NGHỆ CAO BÁO CÁO NGHIỆM THU DỰ ÁN SẢN XUẤT THỬ NGHIỆM TÊN DỰ ÁN: NGHIÊN CỨU HỒN THIỆN CƠNG NGHỆ MEMS TRONG VIỆC CHẾ TẠO LINH KIỆN CẢM BIẾN ÁP SUẤT ỨNG DỤNG XÂY DỰNG CÁC MODULE ĐO MỰC NƯỚC Chủ nhiệm dự án: TS Trịnh Xuân Thắng Đơn vị chủ trì thực hiện: Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu công nghệ cao Đơn vị Quản lý: Ban quản lý Khu Công nghệ cao TP HCM THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH, 11/2018 Xác nhận Chủ tịch hội đồng PGS.TS Lê Hoài Quốc TÓM TẮT NỘI DUNG NGHIÊN CỨU Nội dung nghiên cứu dự án bao gồm việc hoàn thiện công nghệ chế tạo cảm biến áp suất dạng áp trở ứng dụng cảm biến áp suất hệ thống quan trắc tình trạng ngập lụt Tp Hồ Chí Minh Các cấu trúc cảm biến áp suất dải đo 0-50 kPa thiết kế tối ưu hóa nhằm đạt độ nhạy cao, độ tuyến tính tốt hoạt động ổn định Sau tối ưu hóa điều kiện cơng nghệ chế tạo, 100 cảm biến với dải đo 0-50 kPa; nhiệt độ hoạt động từ 10-50 ᴼC; diaphragm 15 μm, kích thước chip 2.6 mm × 2.6 mm chế tạo đóng gói thành cơng Các cảm biến đo đạc đặc tuyến phụ thuộc điện áp theo áp suất khảo sát phụ thuộc nhiệt độ đặc tuyến Sau chế tạo khảo sát, cảm biến áp suất lắp ráp thiết bị cảnh báo ngập WLM-0717 Bên cạnh đó, chúng tơi khảo sát địa hình vị trí lắp đặt trạm cảnh báo ngập quận địa bàn TpHCM dẫn cao độ quốc gia vị trí lắp đặt Các trạm cảnh báo ngập 15 điểm triển khai thi công lắp đặt Sau đó, chúng tơi xây dựng phần mềm trung tâm chạy web phát triển tính ứng dụng môi trường iOS Android SUMMARY OF RESEARCH CONTENT The content of this project includes completing fabrication process of piezoresistive pressure sensors and ultlizing the pressure sensors in flood monitoring system in Ho Chi Minh City The structure of pressure sensors (range 0-50 kPa) was designed and optimized in order to achieve high sensitivity, good linearity and stable working After selection of standard fabrication process, 100 pressure sensors having range 0-50 kPa, working temperature 10-50 ᴼC, thickness of diaphragm ~15 μm, dice size ~ 2.6 mm × 2.6 mm were successfully fabricated and packaged Characterization and temperature dependence of those pressure sensors were measured After fabrication and characterization, the pressure sensors were applied in flood monitoring system WLM-0717 We also studied the location of flood warning nodes in different districts of Ho Chi Minh City and compared their altitudes to the standard elevation of Vietnam Flood warning stations at 15 sites have been installed Then we built web-based software and developed application features on iOS and Android MỤC LỤC MỞ ĐẦU CHƯƠNG I TỔNG QUAN 21 I.1 Tổng quan vấn đề nghiên cứu 21 I.1.1 Công nghệ MEMS 21 I.1.2 Cảm biến áp suất dạng áp trở chế tạo công nghệ MEMS 22 I.1.3 Tình hình nghiên cứu chế tạo cảm biến áp suất dạng áp trở Việt Nam 25 I.1.4 Các giải pháp công nghệ dự án cảnh báo ngập TpHCM triển khai 26 I.2 Những vấn đề công nghệ mà dự án cần giải 28 I.3 Tính cần thiết việc thực dự án 30 I.4 Ý nghĩa khoa học khả áp dụng thực tiễn 31 CHƯƠNG II NỘI DUNG NGHIÊN CỨU VÀ THỰC HIỆN 33 II.1 Nội dung 1: Xây dựng thuyết minh dự án 33 II.2 Nội dung 2: Nghiên cứu thiết kế mask dùng để chế tạo cảm biến áp suất 33 II.3 Nội dung 3: Khảo sát chuẩn hóa quy trình cơng nghệ 37 II.3.1 Nội dung 3.1: Khảo sát quy trình quang khắc sử dụng chế tạo cảm biến áp suất 37 II.3.2 Nội dung 3.2: Khảo sát quy trình oxy hóa nhiệt tạo màng SiO2 ăn mòn SiO2 41 II.3.3 Nội dung 3.3: Khảo sát quy trình khuếch tán Boron chế tạo áp trở cảm biến áp suất 44 II.3.4 Nội dung 3.4: Khảo sát quy trình bốc bay Al:Si ăn mịn Al:Si 53 II.3.5 Nội dung 3.5: Khảo sát quy trình ăn mịn Si từ mặt sau để tạo cấu trúc màng diaphragm công nghệ bảo vệ mặt trước q trình ăn mịn 64 II.3.6 Nội dung 3.6: Nghiên cứu hồn thiện cơng nghệ wafer bonding phiến pyrex Si khảo sát quy trình cắt phiến sau bonding 79 II.4 Nội dung 4: Chế tạo đóng gói cảm biến áp suất 80 II.4.1 Lựa chọn thông số cho quy trình cơng nghệ 80 II.4.2 Các bước chế tạo cảm biến áp suất 82 II.4.3 Kết chế tạo cảm biến áp suất 85 II.5 Nội dung 5: Đo lường kiểm định chất lượng cảm biến áp suất 86 II.5.1 Nội dung 5.1: Chế tạo buồng nhiệt độ 86 II.5.2 Nội dung 5.2: Chế tạo nguồn áp suất chuẩn dùng để đo lường hàng loạt cảm biến áp suất 99 II.5.3 Nội dung 5.3: Đo đặc tuyến cảm biến áp suất phụ thuộc điện áp vào áp suất; phụ thuộc nhiệt độ 104 II.5.4 Nội dung 5.4: Chế tạo buồng thay đổi áp suất để đo độ bền cảm biến áp suất 107 II.5.5 Nội dung 5.5: Nghiên cứu đo độ bền cảm biến áp suất sau chu kỳ thay đổi áp suất 107 II.6 Nội dung 6: Khảo sát địa hình vị trí lắp đặt trạm cảnh báo ngập quận địa bàn TpHCM 107 II.6.1 Nội dung 6.1: Khống chế cao độ thủy chuẩn kỹ thuật địa hình cấp IV 108 II.6.2 Nội dung 6.2: Đo vẽ mặt cắt dọc tuyến, địa hình cấp IV 108 II.6.3 Nội dung 6.3: Đo vẽ mắt cắt ngang tuyến, địa hình cấp IV 108 II.7 Nội dung 7: Dẫn cao độ quốc gia vị trí lắp đặt 108 II.7.1 Nội dung 7.1: Báo cáo vị trí chọn mốc hạng IV 108 II.7.2 Nội dung 7.2: Báo cáo kết đo ngắm GPS 108 II.7.3 Nội dung 7.3: Báo cáo phục vụ KTNT đo GPS 108 II.8 Nội dung 8: Thiết kế lắp ráp thiết bị cảnh báo ngập WLM-0717 sử dụng chip PS50 109 II.8.1 Nội dung 8.1: Xây dựng sơ đồ khối tính cho thiết bị cảnh báo ngập WLM-0717 sử dụng chip PS50 109 II.8.2 Nội dung 8.2: Thiết kế PCB cho mạch điện tử WLM-0717 113 II.8.3 Nội dung 8.3: Viết firmware mô tả protocol truyền liệu 122 II.8.4 Nội dung 8.4: Xây dựng tính cập nhật firmware thơng qua website 124 II.8.5 Nội dung 8.5: Xây dựng tính cấu hình/thay đổi chức thiết bị SMS 124 II.8.6 Nội dung 8.6: Xây dựng tính logfile cảnh báo theo yêu cầu 126 II.8.7 Nội dung 8.7: Thiết kế vỏ hộp chứa mạch điện tử WLM-0717 127 II.9 Nội dung 9: Xây dựng phần mềm trung tâm chạy web 128 II.9.1 Nội dung 9.1: Xây dựng đồ dựa liệu STNMT cung cấp 130 II.9.2 Nội dung 9.2: Cập nhật sở liệu đồ từ liệu Sở TNMT TpHCM cung cấp cho toàn TpHCM 130 II.9.3 Nội dung 9.3: Xây dựng mơ hình CSDL Gis cho phần mềm trung tâm ứng dụng 131 II.9.4 Nội dung 9.4: Xây dựng ứng dụng liệu đồ 134 II.9.5 Nội dung 9.5: Xây dựng ứng dụng khai thác đồ (dịch vụ web truy vấn thông tin) 134 II.9.6 Nội dung 9.6: Xây dựng tính phân quyền quản trị sử dụng 134 II.9.7 Nội dung 9.7: Xây dựng tính phân quyền quản trị sử dụng 134 II.9.8 Nội dung 9.8: Xây dựng chức nhận liệu phân tích, vẽ biểu đồ theo thời gian thực 135 II.9.9 Nội dung 9.9: Xây dựng chức thông báo qua email, đồ GIS 135 II.9.10 Nội dung 9.10: Xây dựng chức báo cáo thông kê xuất file excel, pdf 135 II.9.11 Nội dung 9.11: Xây dựng chức cập nhật GPS theo thời gian thực 136 II.10 Nội dung 10: Phát triển tính ứng dụng môi trường iOS Android 136 II.10.1 Nội dung 10.1: Dữ liệu trích xuất từ máy chủ thông qua subdomain http://canhbaongap.shtplabs.org 136 II.10.2 Nội dung 10.2: Xây dựng chức đăng nhập 138 II.10.3 Nội dung 10.3: Xây dựng giao diện tương tác cho người dùng 141 II.10.4 Nội dung 10.4: Xây dựng tính báo cáo thơng tin đồ GIS 146 II.10.5 Nội dung 10.5: Xây dựng tính định vị thơng báo vị trị xung quanh với bán kính tùy chọn 152 II.10.6 Nội dung 10.6: Xây dựng tính thơng báo điểm ngập từ điểm đến điểm cần đến 153 II.11 Nội dung 11: Triển khai thi công lắp đặt trạm cảnh báo ngập 15 điểm 159 II.11.1 Nội dung 11.1: Thiết kế vẽ trụ (kích thước, đường kính, chất liệu…) 160 II.11.2 Nội dung 11.2: Bản vẽ thi công chi tiết trạm 161 II.11.3 Nội dung 11.3: Xây dựng quy trình thi cơng 161 II.12 Nội dung 12: Báo cáo tổng kết 161 Tài liệu tham khảo 162 CHƯƠNG III KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ 163 MỞ ĐẦU I THÔNG TIN CHUNG VỀ DỰ ÁN Tên dự án: Nghiên cứu hồn thiện cơng nghệ MEMS việc chế tạo linh kiện cảm biến áp suất ứng dụng xây dựng module đo mực nước Thời gian thực hiện: 10 tháng (Từ tháng 11/2017 đến tháng 09/2018) Cấp quản lý: Thành phố Cơ sở Thuộc Chương trình (ghi rõ tên chương trình) Thuộc dự án KH&CN “Thí điểm hỗ trợ thương mại hố sản phẩm từ công nghệ cao hoạt động nghiên cứu triển khai Khu Công Nghệ Cao TP HCM giai đoạn 2017-2018” Tổng vốn thực đề tài: 3.767.206.894 đồng, đó: Nguồn Từ ngân sách nghiệp khoa học thành phố Vốn tự có tổ chức chủ trì Cơng ty TNHH Một thành viên nước thị Tp.HCM (UDC) Kinh phí (triệu đồng) 1.100.645.000 Công ty Cổ phần phát triển Cơ điện tử MEMSITECH 1.041.824.000 1.624.737.894 Chủ nhiệm dự án: - Họ tên: Trịnh Xuân Thắng - Ngày tháng năm sinh: 15/3/1984 Giới tính: nam - Học hàm, Học vị: Tiến sỹ Chuyên ngành: Vật lý bán dẫn - Năm đạt học vị: 2015 - Chức danh khoa học: Năm phong chức danh: - Tên quan công tác: Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu Công nghệ cao - Chức vụ: Phó trưởng phịng Ứng dụng cơng nghệ thơng tin - Địa quan: Lô I3, đường N2, Khu Công nghệ cao, Quận 9, TP HCM - Điện thoại quan: 08 3736 0889 Fax: 08 3736 0890 - Địa nhà riêng: Căn hộ A 06.08, tầng Block A, Chung cư Hoang Anh Riverview, 37 Nguyễn Văn Hưởng, Phường Thảo Điền, Quận 2, Tp HCM - Điện thoại nhà riêng: - Điện thoại di động: 0988352299 - E-mail: thang.trinhxuan@shtplabs.org Thư ký dự án: - Họ tên: Nguyễn Tuấn Khoa - Ngày tháng năm sinh: 15/10/1979 - Học hàm, Học vị: Kỹ sư Giới tính: Nam Chuyên ngành: Điện tử - Viễn thông - Năm đạt học vị: 2006 - Chức danh khoa học: Năm phong chức danh: - Tên quan công tác: Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu công nghệ cao (SHTPLABS) - Chức vụ: Chuyên viên - Địa quan: Lô I3, đường N2, Khu Công nghệ cao, Quận 9, TP HCM - Điện thoại: 08 3736 0889 Fax: 08 3736 0890 - Địa nhà riêng: 30 Bàn Cờ, Phường 3, Quận 3, TpHCM - Điện thoại nhà riêng: - Điện thoại di động: 0909 988 986 - E-mail: khoa.nguyentuan@shtplabs.org Tổ chức chủ trì thực dự án - Tên tổ chức chủ trì nhiệm vụ: Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu công nghệ cao (SHTP Labs) - Điện thoại: 08 3736 0889 Fax: 08 3736 0890 - E-mail: contact@shtplabs.org Website: http://shtplabs.org - Địa chỉ: Lô I3, đường N2, Khu Công nghệ cao, Quận 9, TP HCM - Họ tên thủ trưởng tổ chức: NGÔ VÕ KẾ THÀNH - Số tài khoản: 3713.0.1032625.00000 - Kho bạc Nhà nước/Ngân hàng: Kho bạc Nhà nước quận 9 TT Các cán thực dự án SXT Họ tên, học hàm học vị Tổ chức công tác Chức danh TS Trịnh Xuân Thắng SHTPLABS Chủ nhiệm ThS Nguyễn Khoa SHTPLABS Thư ký Tuấn Nội dung công việc tham gia - Thuyết minh - Nội dung - Công việc: 2.1; 2.4; 2.6 - Nội dung - Công việc 4.1; 4.2; 7.4; 9.1; 9.2;9.4; 9.6; Báo cáo tổng kết - Nội dung: 1; Công việc 2.2; 2.4; 2.6; - Nội dung - Công việc 4.1; 4.3; 7.2 Báo cáo tổng kết Thời gian làm việc cho dự án (ngày công) 110 78 TT Họ tên, học hàm học vị Tổ chức công tác Chức danh TS Phan Anh Tuấn SHTPLABS Thành viên ThS Trương Hữu Lý SHTPLABS Thành viên KS Vũ Lê Thành Long SHTPLABS Thành viên ThS Hồng Cơng Đức SHTPLABS Thành viên ThS Hưng SHTPLABS Thành viên CN Huỳnh Trọng Phát SHTPLABS Thành viên KS Trần Duy Hồi SHTPLABS Thành viên 10 KS Nguyễn Tuấn Anh SHTPLABS Thành viên 11 TS Nguyễn Văn Tâm MEMSTECH Thành viên 12 ThS Nguyễn Thanh MEMSTECH Huyền Thành viên 13 ThS Hà Sinh Nhật MEMSTECH Thành viên 14 CN Phạm Tài Nhân MEMSTECH Thành viên 15 ThS Dương Thị Thùy MEMSTECH Dung Thành viên Nguyễn Việt Nội dung cơng việc tham gia Xây dựng thuyết minh - Công việc: 2.1; 4.3; 7.5; 8.1; 8.5; 9.1; 9.3; 9.5 - Thuyết minh - Công việc 2.1; 2.3; 2.4; 2.5; 2.6; 4.1; 4.2; 4.4; 7.1; 7.7; 8.5; 8.8; 9.1; - Nội dung: 3.1; 3.3; - Công việc 2.3; 2.5; 4.1; 4.4; 4.5; 8.1; 8.2 - Công việc 2.1; 2.2; 2.5; 2.6; 8.6 - Công việc 2.1; 2.2; 2.3 - Nội dung: 3.1; 3.3; 3.4; 8.2; 8.3 Nội dung 1; Công việc 2.3; 2.4; 8.2 - Nội dung: 3.1; 3.2 - Công việc 4.2; 4.3; 4.4; 4.5; 8.2; 8.6 - Nội dung: - Công việc 4.4; 4.5; 8.1; 8.2; 8.6 - Thuyết minh - Công việc 2.1; 2.4; 2.6; 4.1; 4.3; 4.5; 8.3 - Nội dung: 1; 3.3; 3.4 - Nội dung: - Công việc 2.1; 2.2; 2.6; 2.5; 4.2; 4.4 - Công việc 2.1; 2.2; 2.4; 2.5; 2.6; 4.1; 4.2; 4.3; 4.4; 4.5; 8.1 - Nội dung: - Thuyết minh - Công việc 2.3; 8.1; 8.3; 8.6 - Nội dung: 1; 3.1; - Công việc 2.3; 4.1; Thời gian làm việc cho dự án (ngày công) 91 96 117 91 96 75 97 96 118 120 117 105 135 10 } this.stationsProvider.getStation().subscribe(data => { if (data) { this.stations = data as StationModel[]; console.log(this.stations); } }); private getDistricts() { this.stationsProvider.getDistrict().subscribe(data => { if (data) { this.districts = data as DistrictModel[]; } }); } ionViewDidLoad() { if (this.plt.is('ios')) { this.diagnostic.isLocationEnabled().then(success => { if (success) { this.getCurrentLocation(); } else { let alert = this.alertCtrl.create({ title: "Thơng bao ", message: "Vui lịng bật báo bật GPS ", buttons: [ { text: "Cancel", handler: () => { console.log('Cancel clicked'); } }, { text: "OK", handler: () => { this.diagnostic.switchToLocationSettings(); } } ] }); alert.present(); } }); } if (this.plt.is('android')) { this.diagnostic.isGpsLocationEnabled().then(success => { if (success) { this.getCurrentLocation(); } else { let alert = this.alertCtrl.create({ title: "Thông bao ", message: "Vui lòng bật báo bật GPS ", buttons: [ { text: "Cancel", handler: () => { console.log('Cancel clicked'); } }, 155 { } } }); text: "OK", handler: () => { this.diagnostic.switchToLocationSettings(); } } ] }); alert.present(); } checkGPS() { } initMap(lat, lng) { this.map = new google.maps.Map(this.mapElement.nativeElement, { zoom: 12, center: {lat: lat, lng: lng} }); this.addMarkersToMap(this.stations); } this.directionsDisplay.setMap(this.map); getCurrentLocation() { this.geoLocation.getCurrentPosition().then((resp) => { this.currentLatitude = resp.coords.latitude; this.currentLongitude = resp.coords.longitude; this.map = new google.maps.Map(this.mapElement.nativeElement, { zoom: 12, center: {lat: this.currentLatitude, lng: this.currentLongitude} }); this.directionsDisplay.setMap(this.map); this.initMap(this.currentLatitude, this.currentLongitude); }).catch((error) => { console.log('Error getting location', error); }); } // getDistrict(){ // this.districtProvider.getDistrict().subscribe(data =>{ // // tới dc chưa lay luon di // console.log('data == > ',data); // this.districts = data as DistrictModel[]; // covert data to model // }) // } addMarkersToMap(stations) { for (let station of stations) { var position = new google.maps.LatLng(station.Latitude, station.Longitute); let markerIcon = ''; switch (station.Muc_Do_Ngap_ID) { case 0: markerIcon = './assets/marker/green.png'; 156 break; case 1: markerIcon = './assets/marker/yellow.png'; break; case 2: markerIcon = './assets/marker/orange.png'; break; case 3: markerIcon = './assets/marker/red.png'; break; } } } var marker = new google.maps.Marker({ position: position, ma_tram: station.Ma_Tram, ten_tram: station.Ten_Tram, dia_chi: station.Dia_Chi, trang_thai_tram_id: station.Trang_Thai_Tram_ID, trang_thai_tram_text: station.Trang_Thai_Tram_Text, muc_do_ngap_text: station.Muc_Do_Ngap_Text, h: station.h, icon: markerIcon }); marker.setMap(this.map); this.addInfoWindowToMarker(marker); addInfoWindowToMarker(station) { console.log(station, 'station') var infoWindowContent = this.formatOutputInfoWindow(station); var infoWindow = new google.maps.InfoWindow({ content: infoWindowContent }); station.addListener('click', () => { infoWindow.open(this.map, station); }); } formatOutputInfoWindow(station) { let html = ''; html += 'Mã trạm: ' + station.ma_tram + ''; html += 'Tên trạm: ' + station.ten_tram + ''; html += 'Trạng thái trạm: ' + station.trang_thai_tram_text + ''; html += 'Địa chỉ: ' + station.dia_chi + ''; html += 'Độ cao mực nước: ' + station.h + ''; html += 'Mức độ ngập: ' + station.muc_do_ngap_text + ''; return html; } updateSearch(event) { if (this.autocomplete.query == '') { this.autocompleteItems = []; 157 return; } let $this = this; let config = { types: ['cities'], // other types available in the API: 'establishment', 'regions', and 'cities' input: this.autocomplete.query, componentRestrictions: {country: 'VN'} } this.service.getPlacePredictions({ input: this.autocomplete.query, componentRestrictions: {country: 'VN'} }, function (predictions, status) { $this.autocompleteItems = []; $this.zone.run(function () { if (predictions && predictions.length > 0) { predictions.forEach(function (prediction) { $this.autocompleteItems.push(prediction.description); }); } }); }); } chooseItem(item: any) { this.autocompleteItems = []; this.autocomplete.query = item; this.geoCode(item); } } geoCode(address: any) { let geoCoder = new google.maps.Geocoder(); geoCoder.geocode({'address': address}, (results, status) => { this.currentLatitude = results[0].geometry.location.lat(); this.currentLongitude = results[0].geometry.location.lng(); this.initMap(this.currentLatitude, this.currentLongitude); }); } - Xây dựng tính kết nối với hệ thống back-end Code: import {Injectable} from '@angular/core'; import {Http, Response, RequestOptions, URLSearchParams, Headers} from '@angular/http'; import {Observable} from 'rxjs/Observable'; import 'rxjs/add/operator/map'; import 'rxjs/add/operator/timeout'; import 'rxjs/add/operator/retryWhen'; import 'rxjs/add/operator/delay'; import "rxjs/add/operator/catch"; /* Generated class for the StationsProvider provider See https://angular.io/guide/dependency-injection for more info on providers 158 and Angular DI */ @Injectable() export class StationsProvider { endPoint = 'http://118.69.174.109/CANHBAONGAP/API/'; private onCatch: any; constructor(public http: Http) { console.log('Hello StationsProvider Provider'); } get(endpoint: string, params?: any, options?: RequestOptions): Observable { if (!options) { options = new RequestOptions(); } } // Support easy query params for GET requests if (params) { let p = new URLSearchParams(); for (let k in params) { p.set(k, params[k]); } // Set the search field if we have params and don't already have // a search field set in options options.search = !options.search && p || options.search; } return this.http.get(this.endPoint + '/' + endpoint, options) retryWhen(error => error.delay(500)) timeout(5000) map((res: Response) => res.json()); getStation(page: number = 1, params?: any, options?: RequestOptions): Observable { return this.get('Station', params, options) } getDistrict(page: number = 1, params?: any, options?: RequestOptions): Observable { return this.get('District', params, options) } } login(params: any, options?: RequestOptions): Observable { return this.get('User', params, options) } countStation(params?: any, options?: RequestOptions): Observable { return this.get('StationReport', params, options) } II.11 Nội dung 11: Triển khai thi công lắp đặt trạm cảnh báo ngập 15 điểm STT Tuyến Quận Vị trí lắp đặt Đường số 41 Nhà đối diện số nhà 32 đường 41 Quốc Hương Số nhà 42 Quốc Hương (Chùa An Hoà) Bến Bình Đơng 1387 Bến Bình Đơng, P15, Q8 159 Xa lộ Hà Nội Chân cầu Rạch Chiếc Đỗ Xuân Hợp 525 Đỗ Xuân Hợp Bàn Cờ Bàn Cờ - Điện Biên Phủ Bình Quới Khu cơng nghệ cao Vịng xoay D1 D2 Khu công nghệ cao Transmico 10 Huỳnh Tấn Phát Nhà Bè Số nhà 2423 Huỳnh Tấn Phát 11 Lê Văn Lương Nhà Bè 671 Lê Văn Lương 12 Đặng Thị Rành Thủ Đức 13 Quốc lộ 13 Thủ Đức 14 Linh Trung Thủ Đức 15 Đặng Thị Rành, Trương Văn Ngư 63 đường số 2, hiệp bình phước thủ đức Số nhà 177 Linh Trung 15 Gò Dưa Thủ Đức 218 Quốc lộ 1A Bình Thạnh Khách sạn Nhật Nguyệt, Bến Đị II.11.1 Nội dung 11.1: Thiết kế vẽ trụ (kích thước, đường kính, chất liệu…) Hình 2.124: Bản thiết kế chi tiết trụ trạm quan trắc ngập 160 Hình 2.125: Bản thiết kế tổng quan trụ quan trắc ngập II.11.2 Nội dung 11.2: Bản vẽ thi công chi tiết trạm Tài liệu thi cơng đính kèm Cơng ty TNHH MTV nước thị TpHCM làm chủ đầu tư II.11.3 Nội dung 11.3: Xây dựng quy trình thi cơng Tài liệu thi cơng đính kèm Cơng ty TNHH MTV nước thị TpHCM làm chủ đầu tư II.12 Nội dung 12: Báo cáo tổng kết Hoàn thành báo cáo tổng kết 161 Tài liệu tham khảo Smith, C S Piezoresistance effect in Germanium and Silicon Phys Rev 94, 42 (1954) Cao, G., Wang, X., Xu, Y & Liu, S A Micromachined Piezoresistive Pressure Sensor with a Shield Layer 1–13 (2016) doi:10.3390/s16081286 Judy, J W Microelectromechanical systems ( MEMS ): fabrication , design and 1115, Zou, Q., Wang, Z & Lin, R Micromachined pressure sensors : review and recent developments Pramanik, C., Saha, H & Gangopadhyay, U A bossed diaphragm piezoresistive pressure sensor with a peninsula – island structure for the ultra-low-pressure range with high sensitivity doi:10.1088/0957-0233/27/12/124012 Sandmaier, H & Kuhl, K A Square-Diaphragm Piezoresistive Pressure Sensor with a Rectangular Central Boss for Low-Pressure Ranges 1754–1759 (1993) Tian, B et al The design and analysis of beam-membrane structure sensors for micropressure measurement The design and analysis of beam-membrane structure sensors for micro-pressure measurement 045003, Kumar, S S & Pant, B D Design principles and considerations for the ‘ ideal ’ silicon piezoresistive pressure sensor : a focused review Microsyst Technol 20, 1213–1247 (2014) Clifford, M & Engineer, A AN1950, Water Level Monitoring 1–24 (2006) 10 Clark, S K & Wise, kensall D Pressure sensitivity in anisotropically etched thin- diaphragm pressure sensor IEEE Trans Electron Devices 26, 1887 (1979) 11 Báo cáo kết khảo sát địa hình, chủ đầu tư Cơng ty TNHH MTV Thốt nước thị TpHCM, công ty TNHH Tư vấn xây dựng TM Việt Tiến thực 162 CHƯƠNG III KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ Đã hồn thiện cơng nghệ chế tạo cảm biến áp suất, khảo sát đưa lựa chọn thích hợp cho quy trình cơng nghệ chế tạo Đã chế tạo thành công 100 cảm biến áp suất, khảo sát đặc tuyến cảm biến áp suất Ứng dụng cảm biến áp suất vào việc xây dựng 15 trạm ngập lụt Thành phố Hồ Chí Minh Xây dựng ứng dụng hệ thống cảnh báo ngập Hoàn thiện tất sản phẩm dự án thực nội dung yêu cầu dự án Kết thương mại hoá: - Đơn đặt hàng từ Trung tâm điều hành chương trình ngâp nước Thành phố Hồ Chí Minh (Phụ lục đính kèm) - Triển khai thực nhiệm vụ KHCN thực năm 2018: Nghiên cứu, thiết kế, chế tạo triển khai lắp đặt thiết bị quan trắc ngập điểm thường xuyên ngập nặng thuộc đô thị sáng tạo kết nối công nghệ thị thơng minh Thành phố Hồ Chí Minh, Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu công nghệ cao chủ trì - Tính sản phẩm thương mại hố: Tên thiết bị Thiết bị quan trắc ngập đường sông Yêu cầu kỹ thuật - MCU: ARM 32 bits Công suất thấp, - Truyền thông GPRS/3G - GPS: Độ xác vị trí: < 15m - Hỗ trợ hiệu chỉnh cảm biến qua UART/RS232 - Chức cảnh báo chống trộm - Hỗ trợ cập nhật firmware, cấu hình thiết bị từ xa (SMS, Web) - Nguồn cung cấp: 3.6V ~ 36V - Lithium Battery: 3000mAh + lương mặt trời - Hỗ trợ chuẩn giao tiếp với cảm biến - Đo mực nước: + Biên độ đo: mét + Sai số cho phép phép đo: < ± 5cm - Đo nhiệt độ/độ ẩm: + Dải đo độ ẩm : ~ 100% RH + Sai số cho phép phép đo: < ± 6% + Dải đo nhiệt độ: - 40 ~ 123 ℃ + Sai số cho phép phép đo: < ± 1℃ - Đo lượng mưa: + Sai số cho phép phép đo: < ± 5% (mỗi giờ) + Độ phân giải: 0.1mm, 0.2mm, 0.5mm, 1.0mm, 0.01 inch - Giám sát thơng số đo qua hình ảnh (camera) - Khả chống nước IP66 163 - Chứng nhận hợp chuẩn hợp quy - Khả chống sét Kiến nghị: cho phép nghiệm thu dự án Chủ nhiệm dự án (Họ tên, chữ ký) Chủ tịch Hội đồng (Họ tên, chữ ký) Đơn vị Chủ trì (Họ tên, chữ ký, đóng dấu) Cơ quan Quản lý (Họ tên, chữ ký, đóng dấu) 164 PHỤ LỤC Quyết định chấp nhận đơn hợp lệ “Hệ thống cảnh báo ngập lụt đa chức năng” Cục sở hữu trí tuệ Giấy chứng nhận đăng ký quyền tác giả “Phần mềm thu thập, phân tích quản lý liệu từ trạm quan trắc” Cục quyền tác giả Đơn đặt hàng sản phẩm công nghệ Hệ thống cảnh báo ngập lụt Trung tâm điều hành chương trình chống nhập nước Thành phố Hồ Chí Minh 165 PHỤ LỤC 1: QUYẾT ĐỊNH CHẤP NHẬN HỢP LỆ 166 PHỤ LỤC 2: QUYỀN TÁC GIẢ 167 PHỤ LỤC 3: ĐẶT HÀNG SẢN PHẨM 168 169