Đo lường các biến đặc trưng hình học vĩ mô liên quan đến việc thu nhận các tính năng của các yếu tố hình học được xác định trong thiết kế theo kích thước và dung sai cho kích thước, hình dạng và độ lệch vị trí. Thuật ngữ ‘chiều’ liên quan đến cả đường kính của phôi đối xứng xoay và khoảng cách và góc giữa các mặt phẳng và đường thẳng và góc côn. Các cảm biến được sử dụng để đo lường có thể được phân loại theo phương pháp được sử dụng để thu được giá trị đo được thành các cảm biến cơ, điện và quang điện tử. Một tỷ lệ nhỏ làm việc bằng các phương pháp khác, ví dụ, phương pháp đo khí nén.
BM.01.03.SĐH-07b Lời nói đầu Đo lường biến đặc trưng hình học vĩ mơ liên quan đến việc thu nhận tính yếu tố hình học xác định thiết kế theo kích thước dung sai cho kích thước, hình dạng độ lệch vị trí (Hình 3.1-1) Thuật ngữ ‘chiều’ liên quan đến đường kính phơi đối xứng xoay khoảng cách góc mặt phẳng đường thẳng góc Các cảm biến sử dụng để đo lường phân loại theo phương pháp sử dụng để thu giá trị đo thành cảm biến cơ, điện quang điện tử Một tỷ lệ nhỏ làm việc phương pháp khác, ví dụ, phương pháp đo khí nén Các cảm biến chủ yếu hoạt động với việc thu thập giá trị theo điểm, thường đầu dò Các phép đo diện tích khơng tiếp xúc diện rộng biến đặc trưng hình dạng thơ thực với cảm biến quang Cho đến nay, số lượng lớn hệ thống đo lường sử dụng đo lường chiều hoạt động với đầu dò truyền học giá trị đo Để thu nhận giá trị đo, thang đo tuyến tính thường sử dụng giá trị đo truyền đến độ lệch kim, giả sử, giá đỡ bánh Chỉ định tương tự Dụng cụ đo có hình kỹ thuật số thường sử dụng hệ thống đo có thu nhận giá trị đo điện dung, điện cảm quang điện tử Vì việc nghiên cứu “ đặc trưng sensor thiết bị đo để xác định đặc trưng chất lượng phôi gia công ” vơ cần thiết trơng ngành khí BM.01.03.SĐH-07b Mục lục Lời nói đầu 3.1 Đặc điểm hình học vĩ mơ 3.1.1 Phương pháp đo học 3.1.1.1 Calip 3.1.1.2 Thước đo góc .5 3.1.1.3 Thiết bị đo micromet (panme) 3.1.1.4 Đồng hồ so 3.1.1.5 Bộ so sánh quay số 3.1.2 Phương pháp đo điện 3.1.2.1 Cảm biến dịch chuyển điện trở 3.1.2.2 Cảm biến dịch chuyển điện dung 3.1.2.3 Cảm biến dịch chuyển cảm ứng 3.1.2.4 Cảm biến tăng từ 12 3.1.2.5 Cảm biến tăng điện dung 12 3.1.2.6 Cảm biến tăng dần cảm ứng 12 3.1.3 Phương pháp đo điện 13 3.1.3.1 Đầu dị kích hoạt cảm ứng 14 3.1.3.2 Hệ thống đầu dò đo liên tục 15 3.1.4 Phương pháp đo quang điện tử 16 3.1.4.1 Phương pháp tăng dần 16 3.1.4.2 Phương pháp đo tuyệt đối 19 3.1.5 Phương pháp đo quang 19 3.1.5.1 Đo lường camera 20 3.1.5.2 Phương pháp đúc bóng 20 3.1.5.3 Tam giác điểm 21 3.1.5.4 Phương pháp tiết diện ánh sáng 21 3.1.5.5 Chiếu rìa 22 3.1.5.6 Hệ thống đo kinh vĩ 23 3.1.5.7 Chụp ảnh 23 3.1.5.8 Đo khoảng cách giao thoa kế 23 3.1.5.9 Kiểm tra mẫu giao thoa kế 24 3.1.6 Hệ thống đo khí nén 25 3.2 Đặc điểm hình học vi mơ 26 3.2.1 Phương pháp đo xúc giác 27 BM.01.03.SĐH-07b 3.2.1.1 Hệ thống thăm dò xúc giác bề mặt tham chiếu 28 3.2.1.2 Hệ thống trượt 28 3.2.1.3 Hệ thống trượt đôi 29 3.2.2 Phương pháp đo quang 30 3.2.2.1 Giao thoa ánh sáng trắng 30 3.2.2.2 Phương pháp ánh sáng tán xạ 31 3.2.2.3 Tương quan điểm ảnh 31 3.2.2.4 Tỷ lệ phản xạ tia X-Ray 33 3.2.3 Phương pháp đo đầu dò 33 3.2.3.1 Kính hiển vi điện tử quét (SEM) 34 3.2.3.2 Kính hiển vi quét đường hầm quét (STM) 35 3.2.3.3 Kính hiển vi quang học quét trường gần (SNOM) 36 3.2.3.4 Kính hiển vi điện dung quét (SCM) 37 3.2.3.5 Kính hiển vi nhiệt quét (SThM) 38 3.2.3.6 Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) 39 3.2.3.7 Kính hiển vi lực từ (MFM) 43 3.2.3.8 Kính hiển vi lực bên (LFM) 44 3.2.3.9 Kính hiển vi phát pha (PDM) 45 3.2.3.10 Kính hiển vi điều chế lực (FMM) 46 3.2.3.11 Kính hiển vi lực điện (EFM) 47 3.2.3.12 Kính hiển vi âm quét trường gần (SNAM) 47 3.3 Cảm biến cho tính chất vật lý 48 3.3.1 Giới thiệu 48 3.3.2 Kỹ thuật tham khảo phịng thí nghiệm 50 3.3.3 Cảm biến cho số lượng trình 50 3.3.3.1 Cảm biến lực 50 3.3.3.2 Cảm biến lượng 52 3.3.3.3 Cảm biến nhiệt độ 54 3.3.3.4 Cảm biến phát âm 55 3.3.4 Cảm biến cho dụng cụ 58 3.3.5 Cảm biến cho phôi 60 3.3.5.1 Cảm biến dòng điện xoáy 60 3.3.5.2 Cảm biến vi từ 61 Tham khảo 65 BM.01.03.SĐH-07b Cảm biến cho phơi 3.1 Đặc điểm hình học vĩ mơ A Weckenmann, Đại học Erlangen-Nürnberg, Erlangen, Đức Đo lường biến đặc trưng hình học vĩ mơ liên quan đến việc thu nhận tính yếu tố hình học xác định thiết kế theo kích thước dung sai cho kích thước, hình dạng độ lệch vị trí (Hình 3.1-1) Thuật ngữ ‘chiều’ liên quan đến đường kính phơi đối xứng xoay khoảng cách góc mặt phẳng đường thẳng góc Các cảm biến sử dụng để đo lường phân loại theo phương pháp sử dụng để thu giá trị đo thành cảm biến cơ, điện quang điện tử Một tỷ lệ nhỏ làm việc phương pháp khác, ví dụ, phương pháp đo khí nén Các cảm biến chủ yếu hoạt động với việc thu thập giá trị theo điểm, thường đầu dò Các phép đo diện tích khơng tiếp xúc diện rộng biến đặc trưng hình dạng thơ thực với cảm biến quang Hình 3.1-1 Độ lệch hình dạng vĩ mơ phơi 3.1.1 Phương pháp đo học Cho đến nay, số lượng lớn hệ thống đo lường sử dụng đo lường chiều hoạt động với đầu dò truyền học giá trị đo Để thu nhận giá trị đo, thang đo tuyến tính thường sử dụng giá trị đo truyền đến độ lệch kim, giả sử, giá đỡ bánh Chỉ định tương tự Dụng cụ đo có hình kỹ thuật số thường sử dụng hệ thống đo có thu nhận giá trị đo điện dung, điện cảm quang điện tử (Mục 3.1.4) 3.1.1.1 Calip Các thiết kế khác calip (DIN 862) sử dụng cho phép đo bên ngoài, bên độ sâu Chiều dài đo truyền cách học thang đo với phân chia milimet đọc hoàn toàn sử dụng Việc sử dụng thang đo Vernier cung cấp phương tiện bổ sung để hiển thị 1/10, 1/20 1/50 mm (Hình 3.1-2) Hàm, ví dụ, tỷ lệ Vernier 1/10 mm, dựa việc cung cấp chiều dài 39 mm với BM.01.03.SĐH-07b 10 điểm vạch chia khoảng thời gian Điểm điểm vạch chia thang đo chỉnh với điểm vạch chia thang đo Vernier cho biết số 1/10 mm chiều dài đo Đơi khi, phận có 20 điểm vạch chia quay số sử dụng thay thang đo Vernier với 10 điểm vạch chia Ngoại trừ thiết bị đo độ sâu, thang đo thước cặp vật đo chỉnh hồn tồn Sự vi phạm nguyên tắc so sánh Abbe gây độ lệch hình sin thang đo trượt độ lệch góc (Hình 3.1-3, Bảng 3.1-1) Khi mở rộng thành chuỗi Taylor, góc nghiêng đưa vào tuyến tính lỗi kết Do đó, chúng tơi gọi lỗi thứ Hình 3.1-2 Thước cặp Vernier Hình 3.1-3 Vi phạm nguyên tắc so sánh thước cặp 3.1.1.2 Thước đo góc Một dụng cụ đo hoạt động theo cách tương tự với calip thước đo góc chung để đo góc (Hình 3.1-4) Thước đo góc vạn có thang đo góc tuyệt đối thang đo Vernier, cho phép người dùng đọc kích thước góc bước 5’ Mơ hình với hình kỹ thuật số có sẵn Chuẩn nhỏ họ 1’ BM.01.03.SĐH-07b Hình 3.1-4 Thước đo góc (Brown Sharpe) 3.1.1.3 Thiết bị đo micromet (panme) Một số loại thiết bị đo micromet (DIN 863) sử dụng cho tác vụ tương tự calip Thước cặp micromet (Hình 3.1-5) sử dụng cho phép đo bên phép đo bên (phạm vi đo thường khoảng 25 mm) micromet độ sâu để đo độ sâu Đường kính lỗ khoan đo cách sử dụng ba điểm bên thiết bị đo micromet Một trục sử dụng để chuyển giá trị đo sang thang đo tay áo Các vạch chia tay áo bước, bước tương ứng với lượt trục ren Hơn nữa, phân khu nhỏ đánh dấu phân chia chu vi thang đo Khoảng cách tỷ lệ thường 0,01 mm Một ly hợp trượt đảm bảo lực đo giới hạn Cách nhiệt đảm bảo nhiệt từ tay không truyền đến dụng cụ đo, điều gây thay đổi chiều dài nhiệt gây Chèn đặc biệt cho đe cố định bề mặt đo trục cho phép mở rộng phạm vi ứng dụng Ví dụ, notch hình nón sử dụng, đo đường kính sườn ren tiếp điểm đo lớn sử dụng để đo chiều rộng Các mơ hình với hình số kỹ thuật số tồn Thiết bị đo micromet đảm bảo đối tượng đo thang đo chỉnh Vì ngun tắc so sánh khơng bị vi phạm, khơng có lỗi đo lường thứ xảy ra; lại lỗi thứ hai (còn gọi độ lệch cosin, Hình 3.1-6), có ý nghĩa nhiều (Bảng 3.1-2) Theo phạm vi đo, khoảng chênh lệch tổng tối đa định khoảng từ đến 13 m (DIN 863-1) Hình 3.1-5 Thước cặp micromet với đầu đo Hình 3.1-6 Độ lệch cosin phép đo thước cặp micromet BM.01.03.SĐH-07b Bảng 3.1-2 Độ lệch cosin cho chiều dài trục = 20 mm Độ lệch góc, φ Độ lệch cosin, f (μm) 1’ 5’ 10’ 10 0,001 0,021 0,85 3,046 3.1.1.4 Đồng hồ so Với hành trình pít-tơng tương đối ngắn (3 10 mm), thiết bị đo quay số (Hình 3.1-7 a, DIN 878) chủ yếu sử dụng để đo vi sai Các ứng dụng chúng kiểm tra độ thẳng, độ song song độ tròn Để xác định kích thước tuyệt thước đo giá đỡ quay số, trước tiên, cần đặt kích thước định theo yêu cầu thước đo vật liệu, giả sử, khối đo song song, sau để điều chỉnh kim đến độ lệch xác định (hiệu chuẩn) Sự dịch chuyển đầu đo truyền đến cấu bánh thông qua giá đỡ, chuyển đổi khoảng cách đo thành độ lệch kim Kết hiển thị thang đo chu vi với khoảng tỷ lệ thường 0,01 mm Vì thiết bị đo quay số biểu thị độ rộng phản ứng ngược, nên phép đo thực chạm vào đối tượng đo theo hướng hiệu chỉnh Do đó, phép đo hết hướng tâm bị ảnh hưởng lỗi hệ thống Trên thiết bị đo quay số, kim xoay quanh thang đo nhiều lần toàn hành trình pít tơng; trỏ nhỏ sau đếm số vịng quay Đồng hồ quay số có sẵn phiên kỹ thuật số Đường kính đầu dị thường mm, có nhiều bút stylus đầu dị khác, ví dụ: tiếp xúc nhọn, cạnh cắt, mặt phẳng bóng, bóng đường kính khác lăn đo Theo phạm vi đo, khoảng chênh lệch tổng tối đa định khoảng từ đến 17 m (DIN 878) Hình 3.1-7 Thiết bị đo quay số, quay số so sánh báo kiểm tra loại đòn bẩy (Mahr) 3.1.1.5 Bộ so sánh quay số Bộ so sánh quay số (Hình 3.1-7b) chủ yếu sử dụng cho phép đo vi sai, phạm vi đo nhỏ so với thiết bị đo quay số, thường mm, với khoảng cách tỷ lệ nhỏ hơn, 0,5 m theo tiêu chuẩn (DIN 879-1, DIN 879-3) Độ lệch kim kéo dài phạm vi góc thang đo chuyển động đầu đo truyền đến điểm thơng qua cấu địn bẩy lị xo xoắn, cho thấy độ rộng không BM.01.03.SĐH-07b đáng kể phản ứng ngược Quay số so sánh với giới hạn tiếp xúc sử dụng, ví dụ, để vi phạm phạm vi dung sai với đơn vị hiển thị đặc biệt Khoảng chênh lệch tổng tối đa định 1,2 lần khoảng tỷ lệ (DIN 879-1) 3.1.1.6 Các số kiểm tra loại đòn bẩy Các báo kiểm tra loại đòn bẩy (Hình 3.1-7 c, DIN 2270) tương tự quay số so sánh hình thức chức Độ lệch góc bút stylus truyền đến kim thơng qua cấu địn bẩy Một thang đo chu vi với khoảng tỷ lệ 0,002 mm sử dụng để hiển thị Phạm vi đo nhỏ mm Mặc dù báo kiểm tra loại đòn bẩy sử dụng thang đo chu vi, không giống thiết bị đo quay số, nhiều vòng quay kim xung quanh thang đo không ghi lại kim nhỏ bổ sung Độ lệch chấp nhận định 3.1.2 Phương pháp đo điện Đo chiều điện có lợi rõ ràng so với phương pháp học: + lực đo thấp; + kích thước nhỏ giá trị thu đo; + tách riêng giá trị đo đơn vị hiển thị; + khuếch đại đơn giản kết hợp tín hiệu đo; + khả xử lý chiều dài đo; + dễ dàng kết nối với máy tính xử lý liệu Điều bù đắp nỗ lực xử lý lớn Có thể phân biệt ba loại đo chiều điện (Hình 3.1-8): + cảm biến dịch chuyển điện trở; + cảm biến dịch chuyển điện dung; + cảm biến dịch chuyển cảm ứng Một độ dài có liên tục tương tự tăng dần Trong hệ thống gia tăng, nhiều phần tử đo (ví dụ: nam châm) xếp liên khoảng xác định thang đo số lượng giao điểm mà bu lơng đo tạo tín hiệu đo qua phần tử đo tính Giá trị đo được số hóa Các phương pháp gia tăng phổ biến chức đo chiều điện từ tính, điện dung điện cảm Những tất cảm biến giá trị đo gia tăng có điểm chung dấu tham chiếu mà chúng yêu cầu phép phép đo tuyệt đối Các khoảng thời gian xác định tăng dần sau đề cập đến dấu tham chiếu tiếp cận bật cơng cụ Hình 3.1-8 Ngun tắc làm việc phép đo kích thước điện BM.01.03.SĐH-07b 3.1.2.1 Cảm biến dịch chuyển điện trở Cảm biến dịch chuyển điện trở dạng chiết áp cho phép đo chiều dài góc Điện trở thay đổi theo tỷ lệ trực tiếp với chuyển vị tuyến tính góc thơng qua tiếp xúc trượt Điện áp, phụ thuộc vào điện trở, đo (Hình 3.1-9) Cho điện trở đầu vào đủ cao vôn kế, áp dụng sau: 𝑈𝑎 = 𝑠 𝑠0 𝑈0 ℎ𝑎𝑦 𝑈𝑎 = 𝜑 𝜑0 𝑈0 (3.1-1) Dịch chuyển điện trở có sẵn với dây trở kháng thân cách điện, với lớp điện trở liên tục áp dụng cho chất vật liệu Nhược điểm mặc tiếp xúc trượt Hình 3.1-9 Đo chiều dài góc đo 3.1.2.2 Cảm biến dịch chuyển điện dung Đo chuyển vị điện dung sử dụng hiệu ứng mà điện dung tụ điện phụ thuộc vào khoảng cách tụ Trên phơi dẫn điện, đo khơng tiếp xúc; bề mặt phơi sau sử dụng tụ điện di động Ưu điểm nằm việc thu giá trị đo gần quán tính, ví dụ, cho phép đo vòng tròn trục phận hình trụ quay với tốc độ cao Do đó, ứng dụng theo dõi q trình trục máy cơng cụ Trên phơi có độ dẫn điện khơng đủ, phép đo kích thước phải truyền đến tụ điện chuyển động thông qua bu lông đo cứng Nếu tất tụ cảm biến dịch chuyển điện dung sử dụng phương pháp vi sai giống hệt nhau, đo điện áp Ua tùy thuộc vào độ dài s (Hình 3.1-10 cho thấy thiết lập cảm biến dịch chuyển điện dung) Áp dụng sau: 𝑠 𝑈𝑎 = 𝑈0 (3.1-2) 2𝑠0 Trong đo lường chiều, cảm biến dịch chuyển điện dung thực sử dụng Chúng trở nên phổ biến làm đầy máy đo mức cho phép đo độ dày vật liệu không tiếp xúc 3.1.2.3 Cảm biến dịch chuyển cảm ứng Hầu hết cảm biến đo chiều điện hoạt động theo cảm ứng, có hai loại cảm biến dịch chuyển cảm ứng khác nhau: cảm biến lõi pít tơng, độ tự cảm cuộn dây thay đổi theo chức đo chiều dài cảm biến biến áp, khớp nối biến đổi hai cuộn dây khác hàm chiều dài đo BM.01.03.SĐH-07b Các đầu dò cảm ứng sử dụng hiệu ứng cuộn dây mang AC, điện áp xoay chiều cảm ứng có cực tính ngược với điện áp kích thích Độ lớn điện áp phụ thuộc vào độ tự cảm cuộn dây Độ tự cảm thay đổi cách di chuyển lõi từ tính (lõi pít tơng) từ trường cuộn dây Do độ tự cảm đo thông qua điện áp cảm ứng phụ thuộc vào dịch chuyển lõi từ tính theo cách phi tuyến, nên cuộn dây nối mạch vi sai đầu dị cảm ứng tạo tín hiệu đầu phụ thuộc tuyến tính vào dịch chuyển lõi từ tính sau pha- phụ thuộc cải Hai loại đầu dị khác sử dụng phổ biến: đầu dò nửa cầu nguyên lý cảm biến lõi pít tơng đầu dị LVDT ngun lý cảm biến máy biến áp (Hình 3.1-11) Hình 3.1-10 Cảm biến dịch chuyển điện dung phương pháp vi phân Hình 3.1-11 Ngun tắc làm việc đầu dị quy nạp Hình 3.1-12 Thiết kế đầu dị nửa cầu cảm ứng (TESA) 10 BM.01.03.SĐH-07b Hình 3.3-5 Ảnh hưởng cơng suất mài cụ thể đến trạng thái tồn vẹn bề mặt thép P”c cao gây biến dạng cấu trúc dạng khu vực phục hồi với ủ bề mặt phụ giảm ứng suất kéo giải thích trước Brinksmeier phân tích nhiều quy trình mài khác để thiết lập mơ hình thực nghiệm cho mối tương quan cơng suất mài cụ thể dựa đo lực trạng thái ứng suất dư tính tốn tia X [1] Kết cho thấy khơng thể dự đốn trạng thái ứng suất dư dựa công suất mài cụ thể mà hàm truyền tương ứng Các biến thể phân phối nhiệt đặc tính bánh mài khác nhau, động học q trình thơng số phổ biến Tuy nhiên, nói rõ phép đo lực đặc biệt lực tiếp tuyến phương pháp phù hợp để kiểm sốt trạng thái tồn vẹn bề mặt phơi gia cơng Để tóm tắt ví dụ trình bày, nói phép đo lực có thành phần định phương pháp hiệu để tránh thiệt hại nhiệt bề mặt gia công để quay mài Nhược điểm lớn yếu tố hạn chế cho sử dụng công nghiệp rộng rãi đầu tư cao cần thiết cho kỹ thuật Các giải pháp khác bên cạnh cảm biến dựa áp điện giới thiệu Chương 3.3.3.2 Cảm biến lượng Trong trình cắt đặc biệt phay khoan, cảm biến công suất mô-men xoắn thường áp dụng cho trục để theo dõi q trình Mục đích để tránh tải trục hỏng dụng cụ, ví dụ, gãy lưỡi cắt toàn dụng cụ (xem Mục 4.3.3) Một mối tương quan trực tiếp tín hiệu cảm biến với tính tồn vẹn bề mặt bề mặt gia cơng khơng phải mục đích ứng dụng chúng Để biến thép cứng, nỗ lực thực để sử dụng cơng suất trục đo Hallsensor để tìm mối tương quan với trạng thái toàn vẹn bề mặt [5] Tuy nhiên, điều tra cho thấy độ nhạy cảm biến không đủ cao để đăng ký thay đổi tính chất vật lý phôi Trong mài, giám sát quyền lực thường sử dụng Lý cài đặt dễ dàng mà không ảnh hưởng đến không gian làm việc máy cơng cụ chi phí tương đối thấp Tuy nhiên, nghiên cứu khác rõ ràng phản ứng động cảm biến cơng suất trục bị hạn chế [ví dụ: 10] Phần lượng sử dụng 52 BM.01.03.SĐH-07b để loại bỏ vật liệu phần tổng mức tiêu thụ lượng Tuy nhiên, ưu điểm đề cập loại cảm biến cho ứng dụng mài Trong [10] kết giám sát cơng suất để phát vết cháy q trình mài bên cơng bố Chất mài mịn thông thường sử dụng để mài thép nhẹ, đỉnh cao phát tín hiệu cơng suất thời gian mài phải quy cho vết cháy nghiêm trọng Trong hầu hết trường hợp, việc tăng tín hiệu khơng phải ngoạn mục, mà tăng đặn theo thời gian mài mài mòn liên tục bánh mài, đặc biệt sử dụng siêu âm Một kết điển hình thể Hình 3.3-6 cho trình mài bánh vành vát xoắn ốc, giới thiệu bánh mài CBN liên kết thủy tinh [11] Theo dõi công suất nghiền cho thấy gia tăng vừa phải liên tục việc loại bỏ vật liệu V w Tại loại bỏ vật liệu cụ thể đốt mài 8100 mm3 / mm lần phát cách khắc nital Phép đo vĩ mô vi mô phôi thứ 28 nằm dung sai, đó, tiêu chí tuổi thọ dụng cụ trạng thái toàn vẹn bề mặt Đối với loại sản xuất quy mơ vừa chí quy mơ lớn ngành công nghiệp ô tô sử dụng đá mài có tuổi thọ cao, giám sát cơng suất cách hiệu để tránh thiệt hại nhiệt phơi để loại bỏ q trình ăn mịn có hại cho mơi trường Một hệ thống tương tự theo dõi mức tiêu thụ lượng trục mài đầu mục máy mài bánh Ngồi ra, vịng quay trục mài giám sát cảm biến cảm ứng nhạy để phát sai lệch, đặc biệt lối vào lối bánh mài khơng gian răng, ví dụ, biến dạng sau xử lý nhiệt [12] Những kết cho thấy giám sát cơng suất kỹ thuật cảm biến phù hợp để tránh thay đổi toàn vẹn bề mặt trình mài Ứng dụng hứa hẹn nhìn thấy cho siêu vật liệu, gia tăng chậm mịn bánh mài xác định rõ ràng với phương pháp hạn chế động Hình 3.3-6 Giám sát cơng suất mài bánh côn xoắn ốc để tránh bị cháy 53 BM.01.03.SĐH-07b 3.3.3.3 Cảm biến nhiệt độ Ngoài lực cơng suất, lượng q trình quan trọng khác nhiệt độ kết vùng tiếp xúc Các chế hình thành chip Hình 3.3-1 dẫn đến biến đổi gần toàn lượng học thành nhiệt Do đó, tất thành phần tham gia vùng tiếp xúc phôi, dụng cụ, chip và, sử dụng, chất làm mát nạp nhiệt Do đó, phân phối nhiệt kết có tầm quan trọng lớn trạng thái tồn vẹn bề mặt tạo phôi gia công Nỗ lực thử nghiệm để đo nhiệt độ vùng tiếp xúc cao Thường phơi cơng cụ phải phá hủy để cài đặt hệ thống cảm biến chọn vùng tiếp xúc Tất kỹ thuật để cắt mài phân biệt phép đo dựa dẫn nhiệt xạ nhiệt [2] Một mô tả chi tiết thiết lập phổ biến đưa Chương Trong phần sau đây, ví dụ đo xạ nhiệt phép đo chuyển động cứng dẫn nhiệt trình nghiền thảo luận Schmidt chọn kỹ thuật xạ nhiệt với camera hồng ngoại, đo nhiệt độ phơi bên hạt dao (Hình 3.3-7, bên trái) [5] Nhiệt độ đo phơi sau sử dụng để tính nhiệt độ bề mặt tối đa vùng tiếp xúc thông qua phép ngoại suy cách áp dụng xấp xỉ vi phân cho phương trình dẫn nhiệt Trong Hình 3.3-7 (phải), nhiệt độ bề mặt phôi tối đa hiển thị cho dạng hình học cạnh cắt khác thơng số cắt với công suất ma sát cụ thể liên quan đến chiều dài tiếp xúc mặt sườn, P, suy từ phép đo lực (xem Phần 3.3 3.1) Thức ăn cao góc cào âm dẫn đến gia tăng nhiệt độ bề mặt phôi tối đa, tốc độ cắt khơng có ảnh hưởng đáng kể Công suất ma sát cụ thể liên quan đến chiều dài tiếp xúc mặt sườn, P, cho thấy mối tương quan tốt với nhiệt độ đo tính tốn, điều kiện hình học vùng tiếp xúc tính đến Đại lượng P xác định phù hợp tốt với trạng thái ứng suất dư đo tia X bề mặt phôi sau quay cứng Phép đo nhiệt độ dựa xạ nhiệt sử dụng thành công để xác minh thiết lập lượng trình mới, P, để mơ tả đặc tính tồn vẹn bề mặt dựa phép đo lực dễ dàng để áp dụng Hình 3.3-7 Đo nhiệt độ quay cứng dựa xạ nhiệt Nguồn: Schmidt [5] 54 BM.01.03.SĐH-07b Trong trình mài, vấn đề tương tự liên quan đến giá trị nhiệt độ độ dốc lớn liên quan đến thời gian khơng gian có mặt, tăng cường số lượng lớn cạnh cắt khơng xác định mặt hình học cần thiết gần chung cho chất làm mát Các kỹ thuật cảm biến dựa dẫn nhiệt xạ nhiệt giải thích Phần 4.4.3.5 Một ví dụ đo nhiệt độ thành công với loại cặp nhiệt điện khác trình mài bề mặt thể Hình 3.3-8 [13] Trong nghiên cứu này, dây nhiệt hàn ứng dụng mạch kín cặp nhiệt điện màng mỏng bay đến phôi thử nghiệm Kết cho thấy khác biệt có hệ thống hai loại cảm biến Nhiệt độ xác định với cặp nhiệt điện màng mỏng trung bình thấp 30% so với ứng dụng mạch kín, điều giải thích cách điện khơng hồn hảo điểm hàn q lớn cho cảm biến bay [13] Bất kể khác biệt này, phát hành vi vượt trội bánh mài CBN liên kết thủy tinh so với mài mịn corundum thơng thường điều kiện mài Kết đo nhiệt độ cắt mài với nỗ lực kỹ thuật cao Việc sửa đổi phôi công cụ với đầu tư tài thời gian hạn chế phép đo nghiên cứu sử dụng cơng nghiệp khơng thể Hình 3.3-8 Cấu hình nhiệt độ mài bề mặt với chất mài mòn khác Nguồn: Choi [13] 3.3.3.4 Cảm biến phát âm Việc áp dụng cảm biến phát xạ âm (AE) trở nên phổ biến nhiều loại quy trình gia cơng hai thập kỷ qua Cảm biến AE kết hợp số yêu cầu quan trọng hệ thống cảm biến chi phí tương đối thấp, khơng ảnh hưởng tiêu cực đến độ cứng máy công cụ, dễ lắp chí có khả truyền tín hiệu từ phận quay Kết phát thải âm công bố vào năm 1950 cho thử nghiệm độ bền kéo Kể từ đó, nhiều thập kỷ trơi qua phương pháp lần sử dụng để giám sát trình cắt Các chế dẫn đến phát xạ âm biến dạng thơng qua sai lệch mặt phẳng mạng 55 BM.01.03.SĐH-07b bị biến dạng, hình thành song sinh cấu trúc đa tinh thể, chuyển pha, ma sát, hình thành vết nứt lan truyền [ví dụ 14] Do loại khác này, phát xạ âm xuất dạng tín hiệu dạng nổ phát xạ liên tục Trong trình cắt, nguồn phát xạ âm quan trọng ma sát mặt cào, ma sát phôi dụng cụ, biến dạng dẻo vùng cắt, vỡ chip, tiếp xúc chip với phơi cạnh cắt, hình thành vết nứt, hiển thị hình 3.3-9 [15] Quá trình mài đặc trưng tiếp xúc đồng thời nhiều cạnh cắt khác nhau, tạo hình ngẫu nhiên, với bề mặt phôi Mỗi lần tiếp xúc hạt giả sử để tạo xung ứng suất phơi Trong q trình vận hành, tính chất hạt đơn phân bố tổng thể chúng chu vi bánh mài thay đổi xuất mài mịn Do đó, nhiều nguồn phát xạ âm khác phải xem xét trình nghiền, Hình 3.3-9 Sự thay đổi từ cấu trúc austenite thành martensite vật liệu kim loại tạo phát xạ âm, hàm lượng lượng thấp đáng kể so với nguồn khác Do đó, hiệu ứng đơn lẻ phải coi nguồn gốc mặt trước sóng truyền qua vật thể rắn Các loại đánh giá tín hiệu khác áp dụng cho đầu cảm biến AE Các đại lượng quan trọng giá trị trung bình bình phương gốc, tín hiệu phát âm thơ phân tích tần số Cảm biến AE thường áp dụng để cắt, đặc biệt thao tác xoay [ví dụ: 16] Khi biến thép cứng, mối quan tâm tránh loại thiệt hại tồn vẹn bề mặt ứng suất dư cao khu vực khắc trắng (xem Hình 3.3-4) Một cảm biến AE cho mục đích giám sát áp dụng mà khơng có vấn đề nào; thơng thường gắn thân Schmidt chọn vị trí bên thân gần khu vực tiếp xúc (Hình 3.3-10, bên trái) Tín hiệu bình phương trung bình gốc cảm biến cài đặt lọc dải tần số gần 150 250 kHz truyền đến máy sóng kỹ thuật số để phân tích thêm Lý cho hạn chế nhằm mục đích tách biệt ảnh hưởng hao mòn dụng cụ khỏi ảnh hưởng thơng số cắt khác Bằng cách phân tích phổ tần số, xác định phạm vi thích hợp [5] Hình 3.3-10 (bên phải) cho thấy ví dụ kết đạt với chiến lược Hình 3.3-9 Các nguồn phát âm trình cắt mài 56 BM.01.03.SĐH-07b Sự gia tăng hao mịn cơng cụ dẫn đến giảm gần tuyến tính giá trị bình phương trung bình gốc, UAE, RMS, dải tần số chọn Trạng thái ứng suất dư bề mặt tương ứng, đo phương pháp nhiễu xạ tia X, cho thấy xu hướng ngược lại Do đó, dường theo dõi trạng thái tồn vẹn bề mặt phơi gia cơng cứng cách phân tích tín hiệu AE dải tần số gần Cần nghiên cứu thêm để đánh giá ảnh hưởng đại lượng hệ thống khác nhau, chẳng hạn công cụ máy, cắt chèn phôi dải tần số Trong trình mài, ứng dụng cảm biến AE phức tạp so với quay Do quay nhanh bánh mài thường xuyên nguồn cung cấp chất làm mát, có thêm nguồn nhiễu, có ảnh hưởng đáng kể đến tín hiệu đo Vị trí cảm biến AE mài trình bày Mục 4.4.3 Từ khởi đầu ứng dụng AE trình mài, nỗ lực thực để tương quan tín hiệu với xuất trình mài Trong điều tra ban đầu, có thiệt hại cực đoan tạo để phát [17], điều tra phôi chuẩn bị đặc biệt [18] phận thực máy quay [19] công bố Các nghiên cứu Klumpen [20] Saxler [21] liên quan trực tiếp đến khả phát vết bỏng cảm biến AE Một kết tất biến thể trình, cuối tạo trình nghiền, chẳng hạn tăng loại bỏ vật liệu cung cấp chất làm mát giảm chất lỏng, dẫn đến gia tăng hoạt động AE trình nghiền Klumpen [20] xác định đốt cháy cách áp dụng phân tích tần số tín hiệu AE để xác định độ nghiêng chênh lệch tích phân Điều phải coi bất lợi lớn, phân tích tần số thường thực sau mài Giải pháp q trình mong muốn địi hỏi đầu tư cao vào việc phân tích phần cứng Vì lý này, Saxler [21] tập trung vào tín hiệu AE miền thời gian Trong Hình 3.3-11, kết cơng việc anh hiển thị Hình 3.3-10 phân tích AE để theo dõi toàn vẹn bề mặt quay cứng Nguồn: Schmidt [5] Dựa nghiên cứu cân nhắc lý thuyết mình, ơng kết luận cảm biến AE phải gắn vào phôi để nhạy với phát bỏng mài mong muốn Tất nhiên, nhược điểm lớn cho ứng dụng thực tế Một thử nghiệm công nghiệp tiến hành trình mài bánh bánh hành tinh với 57 BM.01.03.SĐH-07b bánh mài CBN mạ điện Với trợ giúp mạng nơ ron nhân tạo, đạt giá trị đặc trưng q trình ghi khơng mài từ giá trị AE dải tần số khác miền thời gian Những nỗ lực cao để đào tạo mạng lưới thần kinh nhân tạo vấn đề liên quan đến việc lắp cảm biến phía phơi phải coi yếu tố hạn chế cho ứng dụng công nghiệp rộng lớn Tuy nhiên, kết rõ ràng hệ thống AE coi cảm biến số lượng trình phù hợp cắt mài để theo dõi thay đổi tồn vẹn bề mặt Hình 3.3-11 Phát bỏng mài với phát xạ âm Nguồn: Saxler [21] 3.3.4 Cảm biến cho dụng cụ Số lượng hệ thống cảm biến có sẵn sử dụng cơng cụ để thu thập thơng tin trạng thái tồn vẹn bề mặt hạn chế Trong trình cắt, khơng có cảm biến cụ thể biết sử dụng cơng cụ để dự đốn tính chất vật lý đạt Trong q trình mài, hệ thống cảm biến thích hợp phải có khả đo hình học vi mơ cơng cụ, điều có tầm quan trọng thiết yếu việc tạo đặc tính tồn vẹn bề mặt Hệ thống hứa hẹn dựa phương pháp tam giác laser Hình 3.3-12 cho thấy yếu tố diode laser có cơng suất sóng liên tục 40 mW (c.w.) đầu dị nhạy cảm vị trí (PSD) với khuếch đại hai thấu kính [22, 23] Cảm biến gắn truyền động bước hai trục di chuyển theo hướng bình thường đến bề mặt bánh mài theo hướng trục để thực phép đo dấu vết khác chu vi bánh mài Để xác định đại lượng hình học vĩ mơ dịng chảy xun tâm, khơng có giới hạn thực tế tồn tốc độ bề mặt tối đa chí vượt q 300 m / s [22] Đối với phép đo hình học vi mơ, điều tra tiết lộ tốc độ tối đa bánh mài không vượt 20 m / s, dựa giới hạn phần cứng phần mềm Điều có nghĩa hầu hết ứng dụng, bánh mài phải giảm tốc để đo Hạn chế lớn giới hạn lĩnh vực ứng dụng thực tế Ứng dụng thú vị cho cảm biến nhìn thấy giám sát siêu vật liệu, đặc biệt bánh xe mài CBN Sự suy giảm địa hình chúng thường dẫn đến hư hỏng nhiệt phôi Trong [24] hệ thống cảm biến kiểm tra chuyên sâu trình mài cấu hình bánh với bánh mài CBN mạ điện 58 BM.01.03.SĐH-07b Phép đo thực hồ sơ không liên quan bánh mài 10 dấu vết Một đường thẳng xấp xỉ chiều rộng đo không cần thêm độ nghiêng cảm biến Phép đo thực thời gian thay phơi Hình 3.3-13 (bên trái) hiển thị thiết lập điều tra Ở bên phải kết ứng dụng cảm biến trình bày Đại lượng đo chiều cao cực đại giảm, Rpk, suy từ đường cong tỷ số chịu lực (xem Mục 4.4.4), sử dụng để mơ tả thay đổi địa hình bánh mài đầu hạt Như ra, thay đổi dấu vết tương quan rõ ràng với xuất vết bỏng, xác định phương pháp khắc nital kiểm tra phương pháp luyện kim tia X sau Mặc dù kết hứa hẹn, số vấn đề phải xem xét Các phép đo mô tiết lộ tương quan kết độ nhám cảm biến chắn với kiểu hao mòn cụ thể Điều cần thiết xác định điểm tới hạn mà tình trạng khơng ổn định bánh mài CBN bắt đầu Ngoài thời điểm này, thay đổi đáng kể số lượng cảm biến theo hướng khác tìm thấy Quét khu vực lớn cách chuyển cảm biến sang dấu vết khác luôn cần thiết để đăng ký thay đổi cách chắn Điều với đơn vị định vị cài đặt, tăng thời gian đo Việc bảo vệ cảm biến chống lại loại chất làm mát swarf cần thiết Tuy nhiên, hệ thống cảm biến phương pháp nghiêm túc để tương quan đại lượng đo không gian làm việc máy công cụ bánh mài với xuất thay đổi toàn vẹn bề mặt Nó nhanh; phép đo lặp lại 10 dấu vết tốc độ giảm tối đa phút, gần thời gian thay đổi phôi năm bánh đơn vị kẹp đặc biệt Đối với bánh mài CBN đắt tiền phôi có giá trị cao, chiến lược mang lại tiềm cao Hình 3.3-12 Nguyên tắc đo hệ thống tam giác laser Nguồn: Werner [22] 59 BM.01.03.SĐH-07b Hình 3.3-13 Nhận dạng vết cháy cách sử dụng cảm biến tam giác laser Nguồn: Nhiếp [24] 3.3.5 Cảm biến cho phôi Cách tốt để nghiên cứu ảnh hưởng trình cắt mài tính chất vật lý phơi gia cơng đo trực tiếp bề mặt tạo Tuy nhiên, có cảm biến có sẵn để đáp ứng nhu cầu Sau đây, hai kỹ thuật mơ tả có tiềm cao cho mục đích này, phương pháp dịng điện xốy phương pháp vi từ Các kỹ thuật siêu âm, sử dụng để phát vết nứt, khơng có khả giám sát bề mặt gia cơng, chúng khơng thể giải thay đổi vật liệu 100 m từ bề mặt giới hạn tần số [1] Đây khu vực quan trọng đặc tính tồn vẹn bề mặt bị ảnh hưởng q trình cắt mài 3.3.5.1 Cảm biến dịng điện xốy Ngun lý đo dịng điện xốy để phát vết nứt dựa thực tế vết nứt bề mặt phơi làm xáo trộn dịng điện xốy, nằm vùng đo cuộn dây có kích thích AC [25] Tất loại vật liệu dẫn điện kiểm tra Độ sâu thâm nhập xác định tần số kích thích Cả độ dẫn độ thấm phơi nghiên cứu Ứng dụng phương pháp giám sát tính chất vật liệu quan trọng xử lý nhiệt để đảm bảo độ cứng độ sâu độ cứng thích hợp trước vận hành thành cơng [26] Trong cắt, khơng có ứng dụng phương pháp cho đặc tính tồn vẹn bề mặt biết đến Trong q trình nghiền, cảm biến dịng điện xoáy giới thiệu để theo dõi xuất vết nứt Hình 3.3-14 (bên trái) cho thấy thiết lập cho phép đo dựa dịng điện xốy sử dụng để xác định vết nứt tạo trình mài bề mặt cánh tuabin 60 BM.01.03.SĐH-07b Hình 3.3-14 Phát vết nứt dịng xoáy sau mài bề mặt cánh tuabin Nguồn: Westkämper Tạo vết nứt vấn đề đặc biệt vật liệu khó gia cơng thành phần động máy bay hợp kim niken, coban- titan Mục đích ứng dụng xác định vết nứt không gian làm việc máy công cụ sau mài cách di chuyển cầu có cảm biến mặt đất [27] Hình 3.3-14 (bên phải) cho thấy kết phép đo Vết nứt sau điều tra với trợ giúp kính hiển vi điện tử quét có chiều rộng m Cảm biến dịng điện xốy xác định rõ vết nứt phép đo tiếp xúc Kích thước phải coi độ phân giải tối thiểu cảm biến Cảm biến phải đặt theo hướng vng góc với bề mặt, độ nghiêng làm giảm độ nhạy Do đó, tùy chọn thay đổi bổ sung thực cầu di chuyển Mặc dù tốc độ đo nhỏ tốc độ bàn mài, kiểm tra máy mài chấp nhận nhu cầu bảo mật cao phôi Tuy nhiên, yếu tố hạn chế thực tế xác định vết nứt bề mặt phôi gia công, điều đáng quan tâm phạm vi vật liệu hạn chế 3.3.5.2 Cảm biến vi từ Những thay đổi tính chất vật lý bề mặt gia cơng vật liệu kim loại xác định với trợ giúp kỹ thuật từ tính vi mơ Ngun lý đo dựa thực tế ứng suất dư, giá trị độ cứng cấu trúc lớp bề mặt ảnh hưởng đến miền từ vật liệu sắt từ Các tường Bloch tách miền sắt từ liền kề với hướng từ hóa cục khác Một từ trường thú vị gây chuyển động Blochwall Kết là, tổng từ hóa phơi thay đổi Với cuộn dây dẫn nhỏ bề mặt phơi, thay đổi từ hóa chuyển động tường Bloch đăng ký xung điện Q trình từ hóa đặc trưng vịng trễ trễ tiếng (Hình 3.3-15) Sự diện phân bố ứng suất đàn hồi vật liệu ảnh hưởng đến tường Bloch để tìm hướng định hướng dễ dàng cho dịng từ thơng Sau đó, tồn ứng suất nén vật liệu sắt từ làm giảm cường độ tiếng ồn Barkhausen, ứng suất kéo làm tăng tín hiệu [9] Các đại lượng quan trọng suy từ tín 61 BM.01.03.SĐH-07b hiệu biên độ cực đại nhiễu Barkhausen, Mmax độ cưỡng bức, HcM Việc ứng dụng công nghệ vi từ vào phôi gia cơng phụ thuộc vào tính linh hoạt cảm biến Hình 3.3-15 Cấu trúc số lượng từ vi mơ suy từ vịng trễ Về ngun tắc, thiết bị từ hóa thu tín hiệu phải điều chỉnh theo hình dạng phơi Biên độ nhiễu Barkhausen phát với cuộn dây khơng khí cường độ cưỡng chế với đầu dị Hall Độ sâu thâm nhập thay đổi tần số phân tích khác Nếu tính từ tính thép cứng, độ sâu thâm nhập tối thiểu đạt khoảng 15 m Trong trường hợp, thời gian đo ngắn vài giây, lợi kỹ thuật Cái gọi thiết lập từ tính vi hai tham số cải thiện cách thêm môđun để đo độ thấm tăng dần, sóng hài trường thú vị dịng điện xốy [24] Mục đích hệ thống đa tham số để phân tách ảnh hưởng tính chất vật liệu ban đầu khỏi thay đổi hoạt động gia công Kỹ thuật cải tiến thử nghiệm bề mặt thép cứng bề mặt đất Trong Hình 3.3-16, kết từ phép đo phơi làm cứng với độ mịn cơng cụ khác phần chèn PCBN hiển thị [5] Tổng cộng có 50 phơi thử nghiệm Việc điều tra từ tính thực vài phút, bao gồm xử lý phôi, điều tra tia X thực với 20 thời gian đo túy Kết cho thấy mối tương quan tốt hai phương pháp, đặc biệt có tính đến việc điều tra tia X đo điểm đo bề mặt, giá trị vi từ biểu thị kết trung bình chu vi 62 BM.01.03.SĐH-07b Hình 3.3-16 Ứng suất dư xác định tia X vi từ tính sau tiện cứng Nguồn: Schmidt [5] Hình 3.3-17 Mơ tả tính tồn vẹn bề mặt vi từ tính bánh hành tinh mặt đất Nguồn: Regent [24] Trong trình mài, số lượng ứng dụng kỹ thuật cao so với quay cứng [ví dụ: 28, 29] Trong [9], nghiên cứu chi tiết tiềm phương pháp tiếp cận từ vi hai tham số để mơ tả trạng thái tồn vẹn bề mặt phơi với xử lý nhiệt khác đưa Sau đó, kỹ thuật chuyển sang ứng dụng thực tế Hình 3.3-17 cho thấy kết thử nghiệm công nghiệp lớn mặt đất bánh hành tinh với bánh mài CBN mạ điện [23, 24] Sự phù hợp hình học cảm biến từ kích thích vi mơ hiển thị bên trái chế độ xem bên Trong trường hợp này, kích thích tách khỏi cuộn đo phần tử Hall Xi lanh khí nén sử dụng để tiếp cận bánh kẹp kích thích Ở bên phải, kết thu suốt vòng đời bánh xe mạ điện hiển thị Biên độ nhiễu Barkhausen điều chỉnh để xem xét thay đổi nhỏ trường kích thích Có thể thấy tất bánh với vết bỏng xác định cách khắc nital nhận với thiết lập từ tính vi mơ Tuy nhiên, ngồi ra, bánh có Mmax cao, giá trị xuất hiện, không hiển thị dạng thiệt hại sử dụng phương pháp 63 BM.01.03.SĐH-07b khắc nital Một lời giải thích cho khác biệt độ sâu thâm nhập khác phương pháp Khắc Nital cung cấp thông tin lớp phôi hư hỏng bề mặt phụ đăng ký Các phép đo từ tính tiết lộ thiệt hại tùy thuộc vào dải tần số Cần đề cập thêm thời gian đo cần thiết để quét tất sườn bánh dài đáng kể so với thời gian mài Với chiến lược thông minh tăng số lượng cảm biến sử dụng song song, thời gian rút ngắn để thử nghiệm ngẫu nhiên phù hợp Đo lường hoàn tồn tự động Ngồi ứng dụng thành công phương pháp hai tham số, thử nghiệm với hệ thống đa tham số cải tiến thực để mài bề mặt [24] Hơn nữa, phịng thí nghiệm, thử nghiệm phép đo trình thay đổi tính tồn vẹn bề mặt dựa cảm biến từ tính vi mơ tiến hành để mài đường kính ngồi mài bề mặt [24, 30] Trong hình 3.3-18, kết phương pháp trình mài bề mặt thép trình bày Cảm biến với kích thích tích hợp di chuyển bề mặt phía sau bánh mài với tốc độ bàn chọn m / phút Một bánh mài corundum thông thường sử dụng trường hợp thép cứng làm mát cung cấp nhũ tương 5% Liên hệ thường trực đảm bảo mùa xuân tải Phép đo tia X thực điểm bề mặt đất kết từ tính vi mơ biểu thị mức trung bình tồn chiều dài phơi Độ lệch khu vực ứng suất dư nén ứng suất dư kéo thấp 100 MPa, khu vực có thiệt hại đáng kể với ứng suất kéo cao 200 MPa độ lệch tăng Điều giải thích xuất vết nứt sau mài tải nhiệt cao phơi Hình 3.3-18 Phép đo q trình vi từ tính tồn vẹn bề mặt q trình mài Nguồn Regent [24] Những vết nứt ứng suất kéo tạo cao, đo trình dẫn đến giải phóng đáng kể trạng thái ứng suất dư cho điều tra tia X thực sau Mặc dù nghiên cứu sâu khả chống mài mòn đầu cảm biến, ảnh hưởng lâu dài chất làm mát, tốc độ phơi tối đa, hạn chế hình học thơng số khác phải thực hiện, cảm biến cung cấp khả đo tồn vẹn bề mặt phơi trình cho lần 64 BM.01.03.SĐH-07b Tham khảo Brinksmeier, E., Habilitationsschrift; Universität Hannover, 1991 Tönshoff, H.K., Spanen – Grundlagen; Berlin: Springer, 1995 König, W., Berktold, A., Koch, K.F., Ann CIRP 42 (1993) 39–43 Wobker, H.-G., Habilitationsschrift; Universität Hannover, 1997 Schmidt, J., Dissertation; Universität Hannover, 1999 Field, M., Kahles, J.F., The Surface Integrity of Machined and Ground High Strength Steels, Defense Metals Information Center Report 210; 1964, pp 65–77 Macherauch, E., Wohlfahrt, H., HTM 28 (1973) 201–211 Brandt, D., Dissertation; Universität Hannover, 1995 Karpuschewski, B., Dissertation; Universität Hannover, 1995 10 Inasaki, I., CIRP 40 (1991) 359–362 11 Haupt, F., Seidel, T., Karpuschewski, B., Zahnflankenschleifen Bogenverzahnter Kegelradsätze mit CBN-Schleifscheiben, VDI-Z 139, No (1997) 62–65 12 ZF Friedrichshafen, Reilhofer K.G., 13 Choi, H.Z., Dissertation; Universität Hannover, 1986 14 Cremer, L., Heckl, M., Körperschall – Physikalische Grundlagen und Technische Anwendungen; Berlin: Springer, 1967 15 Dornfeld, D.A., König, W., Ketteler,G., VDI-Ber 988 (1993) 363–376 16 Blum, T., Inasaki, I., J Eng Ind 112 (1990) 203–211 17 Eda, H., Kishi, K., et al., Bull Jpn Soc.Prec Eng 18 (1984) 299–304 18 Webster, J., Marinescu, I., et al., Ann.CIRP 43 (1994) 299–304 19 Roberts, D.A., Leete, D.L., Sens Rev.(1983) 72–75 20 Klumpen, T., Dissertation; RWTH Aachen, 1994 21 Saxler, W., Dissertation; RWTH Aachen, 1997 22 Werner, F., Dissertation; Universität Hannover, 1994 23 Tönshoff, H.K., Karpuschewski, B., Regent, C., in: 30th International Symposium on Automotive Technology and Automation (ISATA), Florence, 16.–19 1997, Vol 30 Mec1, pp 373–380 24 Regent, C., Dissertation; Universität Hannover, 1999 25 Cahn, R.W., Haasen, P., Kramer, E J (eds.), Materials Science and Technology, Vol 3A and 3B: Electronic and Magnetic Properties of Metals and Ceramics; Weinheim: VCH, 1994 26 Förster, F., in: Höller, P., et al (eds.), Nondestructive Characterization of Materials; Berlin: Springer, 1989, pp 505–515 65 BM.01.03.SĐH-07b 27 Lange, D., in: Internationales Braunschweiger Feinbearbeitungskolloquium, 24.– 26 1996, pp 16/1–16/19 28 Fix, R.M., Tiitto, K., Tiitto, S., Mater Eval 48 (1990) 904–908 29 Shaw, B.A., Hyde, T.R., Evans, J.T., in: 1st International Conference on Barkhausen Noise and Micromagnetic Testing, Hannover, 1–2 1998, pp 14/1–10 30 Tönshoff, H.K., Karpuschewski, B., et al., in: Moderne Schleiftechnologie, 14 May 1998, Furtwangen, pp 7.1–7.13 66