Khái niệm • Cảm biến là bộ phận dùng để cảm nhận và biến đổi các đại lượng vật lý cần đo có tính chất điện hoặc không thành các đại lượng đo thường mang tính chất điện chứa đựng thông ti
Trang 1MÔN HỌC: CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP
Chương 1: Khái niệm và các đặc trưng cơ bản
Chương 2: Cảm biến đo quang
Chương 3: Cảm biến đo nhiệt độ
Chương 4: Cảm biến đo vị trí & dịch chuyển
Chương 5: Cảm biến đo biến dạng
Chương 6: Cảm biến đo lực
Chương 7: Cảm biến đo vận tốc, gia tốc và rung
Chương 8: Cảm biến đo áp suất
Chương 9: Cảm biến đo lưu lượng và mức chất lưu
Đọc thêm: Cảm biến đo một số chỉ tiêu công nghệ -
Truyền kết quả đi xa - Cảm biến thông minh
Trang 2TÀI LIỆU THAM KHẢO
1 Bài giảng CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP
2 Giáo trình CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP –
Hoàng Minh Công – NXB XÂY DỰNG NĂM 2007.
Trang 3Chương I CÁC KHÁI NIỆM
VÀ ĐẶC TRƯNG CƠ BẢN
1 Khái niệm và phân loại cảm biến
2 Các đặc trưng cơ bản của cảm biến
3 Nguyên lý chung chế tạo cảm biến
Trang 41 Khái niệm và phân loại
1.1 Khái niệm
• Cảm biến là bộ phận dùng để cảm nhận và biến đổi các đại lượng vật lý cần đo (có tính chất điện hoặc không) thành các đại lượng đo (thường mang tính chất điện) chứa đựng thông tin cho phép xác định giá trị của đại lượng cần đo.
Trang 5• Đại lượng đầu vào (hay kích thích) (m):
Tác động của đại lượng cần đo (có tính chất điện hoặc không)
• Đại lượng đầu ra (hay đáp ứng )(s): Tín
hiệu ra của CB (thường mang tính chất điện)
• Đáp ứng (s) là hàm đơn trị của đại lượng cần đo (m):
Thông qua đo (s) → xác định giá trị (m).s F ( m )
1.1 Khái niệm
Trang 61.2 Phân loại cảm biến
Trang 72 Các đặc trưng cơ bản của cảm
2.5 Độ nhanh và thời gian hồi đáp
2.6 Giới hạn sử dụng
Trang 82.1 Đường cong chuẩn
a) Khái niệm đường cong chuẩn: đường
cong biểu diễn sự phụ thuộc của đáp ứng (s) ở đầu ra của cảm biến vào giá trị của đại lượng đo (m) ở đầu vào
• Biểu diễn:
+ Bằng biểu thức đại số
+ Bằng đồ thị
Trang 92.1 Đường cong chuẩn
• Biểu diễn bằng biểu thức đại số
s= F(m)
Ví dụ cảm biến tuyến tính:
s= a.m +b Trong đó: a, b là các hằng số
Trang 102.1 Đường cong chuẩn
Biểu diễn bằng đồ thị
s
mi
si
m a) Dạng chung
0
s
m b) Dạng tuyến tính
0
Trang 112.1 Đường cong chuẩn
b) Chuẩn cảm biến: phép đo xác lập
mối quan hệ giữa giá trị (s) đo được của đại lượng đầu ra của CB và giá trị (m) của đại lượng cần đo có tính đến các yếu tố ảnh hưởng, trên cơ
sở đó xây dựng đường cong chuẩn dưới dạng tường minh (đồ thị hoặc biểu thức đại số)
Trang 122.1 Đường cong chuẩn
b) Phương pháp chuẩn:
• Chuẩn đơn giản: áp dụng khi cảm biến
chỉ chịu tác động của một đại lượng đo duy nhất
• Chuẩn nhiều lần: áp dụng khi cảm biến
có phần tử trễ, kết quả đo theo hai chiều tăng giảm của đại lượng đo khác nhau
Trang 132.1 Đường cong chuẩn
• Chuẩn đơn giản: đo các giá trị của đại lượng
đầu ra (si) ứng với một loạt các giá trị xác định không đổi của đại lượng đầu vào (mi).
Chuẩn trực tiếp: giá trị của đại lượng đo lấy từ
các mẫu chuẩn hoặc các phần tử so sánh có giá trị biết trước với độ chính xác cao.
Chuẩn gián tiếp: kết hợp CB cần chuẩn với
một CB so sánh đã có sẵn đường cong chuẩn (trong cùng điều kiện làm việc).
Trang 142.1 Đường cong chuẩn
• Chuẩn nhiều lần: đo các giá trị (si) của đại lượng đầu ra ứng với một loạt các giá trị (mi) của đại lượng đầu vào theo hai
chiều tăng và giảm của đại lượng cần đo s
Trang 152.2 Độ nhạy
a) Độ nhạy trong chế độ tĩnh: xác định bởi
tỉ số giữa biến thiên đầu ra (s) trên biến thiên đầu vào (m)
- Cảm biến tuyến tính:
Không phụ thuộc điểm làm việc của CB
m
s S
const m
Trang 162.2 Độ nhạy
- Cảm biến phi tuyến tính:
Độ nhạy phụ thuộc điểm làm việc của CB
const m
s S
i m m
s
m α
(si,mi)
Trang 172.2 Độ nhạy
b) Hệ số chuyển đổi tĩnh: xác định bởi tỷ
số giữa giá trị ở đầu ra và giá trị ở đầu vào tại điểm làm việc Qi đang xét:
Hệ số CĐT bằng độ nhạy S khi đặc trưng
tĩnh của cảm biến là đường thẳng đi qua gốc tọa độ
Trang 182.2 Độ nhạy
c) Độ nhạy trong chế độ động: được xác
định khi đại lượng đo biến thiên tuần hoàn theo thời gian
Trang 192.3 Độ tuyến tính
a) Khái niệm:
• Trong chế độ tĩnh, độ tuyến tính biểu thị sự
không phụ thuộc của độ nhạy vào giá trị của đại lượng đo đặc trưng tĩnh là đoạn thẳng.
• Trong chế độ động, biểu thị sự không phụ
thuộc của độ nhạy S, của các thông số hồi
đo.
Trang 202.3 Độ tuyến tính
b) Đường thẳng tốt nhất: đường thẳng xây
dựng trên cơ sở các số liệu thực nghiệm khi chuẩn cảm biến sao cho sai số là bé nhất
Trong đó:
b m
a
2
i
2 i
i i
i i
m m
N
m
s m
s
N a
i i
i
2 i i
m m
N
m
s m m
s b
Trang 21m
Trang 222.4 Sai số và độ chính xác
a) Sai số: sai lệch giữa giá trị đo được (m)
và giá trị thực của đại lượng cần đo (A)
• Sai số tuyệt đối:
• Sai số tương đối: (%)
• Theo nguyên nhân chia ra:
- Sai số hệ thống
- Sai số ngẫu nhiên
A
m
Trang 232.4 Sai số và độ chính xác
• Sai số hệ thống: sai số mà giá trị và quy
luật có thể biết trước
Trang 242.4 Sai số và độ chính xác
• Sai số ngẫu nhiên: Sai số xuất hiện ngẫu
nhiên, dấu và biên độ của nó mang tính không xác định.
• Nguyên nhân:
+ Sai số do tính không xác định của đặc trưng cảm biến;
+ Sai số do tín hiệu nhiễu ngẫu nhiên;
+ Sai số do sự thay đổi của các đại lượng ảnh hưởng.
Trang 262.4 Sai số và độ chính xác
1
2
3y
1 y
n
2n
2 2
Trang 272.4 Sai số và độ chính xác
b) Độ chính xác: đánh giá bởi tính đúng đắn và
tính trung thực của cảm biến
• Tính đúng đắn cao: sai số hệ thống bé, giá trị
xác suất thường gặp gần với giá trị thực.
• Tính trung thực cao: sai số ngẫu nhiên nhỏ, kết
quả các lần đo tập trung xung quanh giá trị trung bình.
CB có độ chính xác cao là CB biến cho kết quả đo đơn lẽ gần với giá trị thực của đại lượng đo.
Trang 282.4 Sai số và độ chính xác
Giá trị thực y
b)Tính trung thực cao
m
c) Độ chính xác cao
Giá trị thực
m y
Trang 29mi
Trang 302.5 Độ nhanh và thời gian hồi đáp
a) Khái niệm: Độ nhanh là khả năng theo
kịp về thời gian của đại lượng đầu ra khi đại lượng đầu vào biến thiên xác định bởi thời gian hồi đáp (th): khoảng thời gian cần thiết phải chờ đợi sau khi có sự biến thiên của đại lượng cần đo để lấy giá trị của đầu ra với độ chính xác định trước
Trang 312.5 Độ nhanh và thời gian hồi đáp
t trê
Trang 322.6 Giới hạn sử dụng của cảm biến
a) Vùng làm việc danh định: tương ứng với
những điều kiện sử dụng bình thường của cảm biến
• Giới hạn của vùng là các giá trị ngưỡng
mà các đại lượng đo, các đại lượng vật lý liên quan, các đại lượng ảnh hưởng thường xuyên đạt tới mà không làm thay đổi các đặc trưng làm việc danh định của cảm biến
Trang 332.6 Giới hạn sử dụng của cảm biến
b) Vùng không gây nên hư hỏng: vùng mà
khi các đại lượng đo, các đại lượng vật lý có liên quan, các đại lượng ảnh hưởng vượt qua ngưỡng của vùng làm việc danh định nhưng vẫn còn nằm trong phạm vi:
• Không gây nên hư hỏng.
• Các đặc trưng của cảm biến có thể bị thay đổi mang tính thuận nghịch.
Trang 342.6 Giới hạn sử dụng của cảm biến
c)Vùng không phá hủy: các đại lượng đo,
các đại lượng vật lý có liên quan, các đại lượng ảnh hưởng vượt qua ngưỡng của vùng không gây nên hư hỏng nhưng vẫn còn nằm trong phạm vi:
Trang 353 Nguyên lý chế tạo CB
3.1 Nguyên lý chế tạo cảm biến tích cực: dựa
trên các hiệu ứng vật lý:
• Hiệu ứng nhiệt điện
• Hiệu ứng hoả điện
• Hiệu ứng áp điện
• Hiệu ứng cảm ứng điện từ
• Hiệu ứng quang điện
• Hiệu ứng quang - điện - từ
• Hiệu ứng Hall
Trang 363.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
t1
t2(B)
Trang 373.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
Hiệu ứng hoả điện
v
Trang 383.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
V F F
F
Hiệu ứng áp điện
Trang 393.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
e
B
Hiệu ứng cảm ứng điện từ
Trang 403.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
Trang 413.1 Nguyên lý chế tạo CB tích cực
B
Trang 423.2 Nguyên chế tạo cảm biến thụ động
• Cảm biến là một trở kháng có các thông
số chủ yếu nhạy với đại lượng cần đo
Khi đại lượng đo tác động đến kích thước hình học hoặc tính chất điện (, , …)vào giá trị của đại lượng )
hoặc đồng thời cả hai thay đổi trở
kháng Đo trở kháng đại lượng đo