... đợc cũng khác nhau và phụ thuộc vào lực tác dụng. Trên hình 3 và 4 biểu diễn một số kết quả của các phép đo này. Dáng điệu của các đờng đặc trng cho thấy, trong phạm vi nhỏ của lực tác dụng, ... số góc của đờng đặc trng trong vùng làm việc tuyến tính. Từ các đáp tuyến của cảm biến theo lực tác dụng, độ nhạy của các cảm biến với các diện tích màng khác nhau đã đợc xác định. Các kết ... đặt vào các cực 1 và 3, điện áp ra đợc lấy trên các cực 2 và 4. Hoạt động của cảm biến vi cơ silic đo lực dựa trên hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn. Khi màng silic bị uốn cong, các...