... cấu bánh răng, tay kẹp Công vi c 1.4: Mô phỏng, tối ưu cấu trúc hệ thống Công vi c 1.5: Nghiên cứu, thiết kế vẽ chế tạo hệ thống Công vi c 2.1: Nghiên cứu, lựa chọn, lập quy trình công nghệ chế ... nghiệm y sinh/ vật liệu nano… Mục tiêu cụ thể đề tài nghiên cứu chế tạo số vi cấu phục vụ cho hệ thống micro robot bánh truyền động, mô tơ dẫn, tay kẹp… sử dụng công nghệ vi điện tử (MEMS) Đ y phận ... nhỏ) sử dụng hệ thống Micro Robot phục vụ lĩnh vực y sinh dựa công nghệ MEMS Mã số đề tài: KC.03.TN01/11-15 Thuộc: Chương trình nghiên cứu ứng dụng phát triển công nghệ khí tự động hóa (Mã số: ...