Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ

... ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, công trình nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo màng TiN có chiết suất thấp, hệ số tắt k lớn, nghĩa màng có điện trở suất thấp hay độ phản ... 2.THỰC NGHIỆM Màng TiN chế tạo phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron dc đế thủy tinh, hệ chân không làm việc có áp suất tới hạn 10-4 torr với bia...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... phóng đến đế Vì phún xạ? ? So với bốc bay -Phún xạ tạo màng có độ đồng pp bốc bay -Dễ dàng tạo màng hơp kim CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ: NHỮNG HẠT PHÚN XẠ CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Phún xạ trình: Những ... -Chân không phún xạ: + Chân không tới hạn: 10-7 torr + Áp suất làm việc: 10-2  10-3 torr Hết phần 1: phún xạ PHẦN PHÚN XẠ MAGNETRON PHÚN XẠ MAGNETRON Phún xạ Ma...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:41

...  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... khác dễ dàng phún xạ  Phương pháp có chi phí không cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điể...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 10:06

Ngày tải lên: 12/03/2015, 14:36

... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất thấp ... gian tạo màng: 1h - Tác nhân phản ứng: H2O Các màng thu được nghiên cứu phương pháp sau: XRD, SEM, phổ truyền qua, phổ phát quang, đo bề dày hình thái học b...

Ngày tải lên: 10/02/2014, 15:29

... mặt đế để tạo màng mỏng mong muốn Ngoài phương pháp CVD, màng mỏng chế tạo phương pháp khác phương pháp điện hoá (anốt hoá mạ điện) phương pháp solgel Phương pháp sol-gel gồm có trình tạo sol tiền ... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Cá...

Ngày tải lên: 08/01/2015, 12:47

Ngày tải lên: 26/02/2014, 19:20

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ...

Ngày tải lên: 09/10/2014, 21:19

... BÁO C Ả O TÓM TẮT Để tài; CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHẤT CỦA MÀNG m ■ MỎNG ZnO: AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO: Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETON M ã số: Q T - 03 - 05 Chủ trì đề tài: ... LÊ ĐẠI THANH CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHÂT CỦA MÀNG ZnO VÀ MÀNG ZnO PHA TẠP Mn, Co BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETRON C h u v ẽ n n g h n h : VẬT LÝ CHẤT RẮN M ã số: 01.02.07 LUẬN...

Ngày tải lên: 19/03/2015, 09:22

... phương pháp chế tạo vật liệu PZT Vật liệu PZT chế tạo nhiều phương pháp khác bao gồm phương pháp hoá học phương pháp vật lý Phần tiếp theo, luận văn trình bày số phương pháp chế tạo vật liệu PZT ... cứu vật liệu sắt điện -áp điện cấu trúc perovskite, có PZT vật liệu tổ hợp đa pha Trong luận văn này, vật liệu tổ hợ...

Ngày tải lên: 12/08/2015, 19:54

... thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng điện cực ... thiệu màng ZnO pha tạp Nguyên tố pha tạp - Nhóm III: B, Al, Ga hay In - Nhóm IV: Si, Ge, Ti, Zr hay Hf - Halogen: F Tính chất - T...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 11:09

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20