Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

... hệ số tắt lớp tương ứng với ứng dụng màng gương nóng truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt ... tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất r...

Ngày tải lên: 10/04/2015, 17:29

... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ...

Ngày tải lên: 09/10/2014, 21:19

... trúc ZnO 1.4.1 Tính chất điện quang màng ZnO pha tạp Tùy vào vật liệu pha tạp vào ZnO mà tính chất điện quang màng ZnO pha tạp khác ZnO pha tạp nhóm kim loại IA (Li, Na…) thành bán dẫn loại p pha ... chế tạo màng suốt dẫn điện ZnO pha tạp V phương pháp đồng phún xạ magnetron DC từ hai bia ZnO bia kim loại V Để đánh giá xác tí...

Ngày tải lên: 19/06/2014, 09:44

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG N...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 23:10

... khảo ảnh hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO -Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: ... KẾT LUẬN Màng ZnO -Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 13:20

... mlB phun tĩnh điện tạo màng Màng Màng Màng Màng Màng Màng ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: 1 %Co Màng ZnO 2 %Co 3 %Co 4 %Co 5 %Co 6 %Co XỬ LÝ NHIỆT Hình 2.1 Sơ đồ tạo mẫu 2.2 KHẢO SÁT CẤU TRÚC, TÍNH CHẤT ... sau: - Tìm hiểu chế tạo màng ZnO; ZnO: Co phương pháp phun điện với nồng độ pha tạp khác - Nghiên cứu số tính chất vật lí m...

Ngày tải lên: 13/05/2015, 09:19

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 03:20

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

... ti p tục thực chế tạo màng ZnO: (In,N) bán bẫn loại p phương ph p phún xạ magnetron DC Khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán ... 3: PHƯƠNG PH P PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương ph p tạo màng mỏng đế rắn, phương ph p có ưu điểm nhược điểm r...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:39

... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, c...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:52

... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:29

... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I .1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề ... Hình 1. 1: Sơ đồ mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2 .1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1....

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:42