Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ magnetron
nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại P bằng phương pháp phún xạ Magnetron
... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ ZnO Hằng số mạng tinh thể ZnO: N ... N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn pha t p N Các điều kiện phún xạ tạo màng p suất buồng p suất p suất phún xạ Khí phún xạ Đế phủ Khoảng cách phún xạ Công suất phún xạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr...
- 7
- 1,834
- 20
Tiến Sĩ Nghiên cứu chế tạo màng gương nóng truyền qua bằng phương pháp phún xạ magnetron dc
... hệ số tắt lớp tương ứng với ứng dụng màng gương nóng truyền qua 1.6 Phương pháp nghiên cứu 1.6.1 Phương pháp phún xạ 1.6.1.1 Nguyên lý trình lắng đọng phún xạ Sự bứt nguyên tử điện tử từ bề mặt ... tán xạ lớn phản xạ cao hình thành Điều xảy màng lắng đọng phương pháp phún xạ phản ứng, thể qua chuyển tiếp từ màng đục đến màng suốt với áp suất riêng phần oxy tăng phún xạ [52] Truyền qua vùng ... 3 Qua tất sở lý luận trên, mục đích đặt luận án gồm công việc sau: Nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO) Nghiên cứu tính chất quang điện màng TiN Nghiên cứu tính chất quang...
- 60
- 666
- 1
Nghiên cứu chế tạo màng mỏng quang xúc tác bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc
... HV: Đinh Cơng Trường Chương CHẾ TẠO MÀNG TiO2:N 4.1 CHẾ TẠO HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON KHƠNG CÂN BẰNG ĐỂ TẠO MÀNG VÀ HỆ ĐO QUANG XÚC TÁC 4.1.1 HỆ TẠO MÀNG TiO2:N Màng TiO2 tạo hệ chân không B302(hình ... 1.1.2 Cơ chế quang xúc tác Chất xúc tác quang chất làm tăng tốc độ phản ứng quang hố Khi chiếu ánh sáng với cường độ thích hợp chất xúc tác quang đẩy nhanh tốc độ phản ứng quang hố cách tương tác ... tạp lớn màng chế tạo màng TiO2:N phương pháp phún xạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phương pháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phương pháp phún xạ magnetron...
- 67
- 695
- 0
nghiên cứu và chế tạo màng dẫn điện trong suốt zno pha tạp vanadium bằng phương pháp đồng phún xạ
... trúc ZnO 1.4.1 Tính chất điện quang màng ZnO pha tạp Tùy vào vật liệu pha tạp vào ZnO mà tính chất điện quang màng ZnO pha tạp khác ZnO pha tạp nhóm kim loại IA (Li, Na…) thành bán dẫn loại p pha ... chế tạo màng suốt dẫn điện ZnO pha tạp V phương pháp đồng phún xạ magnetron DC từ hai bia ZnO bia kim loại V Để đánh giá xác tính chất quang điện, cấu trúc, độ mấp mô bề mặt màng thành phần pha ... hay màng dẫn điện suốt Riêng đề tài khóa luận mà nghiên cứu đây, tạo màng dẫn điện suốt ZnO pha tạp V Hình 1.9 Các trạng thái oxi hóa V từ trái sáng phải +2, +3, +4 +5 1.4 Vật liệu ZnO pha tạp ZnO...
- 96
- 853
- 1
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx
... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truyền qua cực đại ... qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác (1) Trang 17 Science & Technology Development, Vol 12, No.17 - 2009 Bảng Các thơng số quang học màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác Nhiệt độ đế (0C) Độ dày...
- 6
- 802
- 1
NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG NỒNG ĐỘ TẠP In Tính chất quang màng ZnO: (In, N) Sự dịch chuyển ... CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Bia gốm trước phún xạ Bia...
- 52
- 1,363
- 0
Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx
... khảo ảnh hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO -Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: ... KẾT LUẬN Màng ZnO -Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt ... cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý Cơ chế dẫn điện màng chủ yếu hạt tải tự sinh pha tạp donor hình thành lỗ trống oxy Màng ZnO -Ga dẫn điện chủ yếu tạp chất donor,...
- 5
- 415
- 0
đồ án kỹ thuật vật liệu xây dựng Chế tạo màng mỏng ZnO; ZnO Co bằng phương pháp phun điện và nghiên cứu cấu trúc, một số tính chất của chúng
... mlB phun tĩnh điện tạo màng Màng Màng Màng Màng Màng Màng ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: 1 %Co Màng ZnO 2 %Co 3 %Co 4 %Co 5 %Co 6 %Co XỬ LÝ NHIỆT Hình 2.1 Sơ đồ tạo mẫu 2.2 KHẢO SÁT CẤU TRÚC, TÍNH CHẤT ... sau: - Tìm hiểu chế tạo màng ZnO; ZnO: Co phương pháp phun điện với nồng độ pha tạp khác - Nghiên cứu số tính chất vật lí màng mỏng như: cấu trúc tinh thể, tính chất quang, tính chất từ… Khoá luận ... phương đơn giản 1.1.4 Tính chất điện, quang bán dẫn ZnO 1.1.4.1 Tính chất điện Tính chất cấu màng ZnO phụ thuộc nhiều vào công nghệ chế tạo Nhúm nghiên cứu [12] khảo sát phụ thuộc tính chất điện...
- 44
- 559
- 0
Báo cáo khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 bằng phương pháp phún xạ Magnetron RF potx
... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp tạo màng khác [26 ] Phương pháp Chiết suất 550 nm Phương pháp Chiết suất 550 nm Bốc bay 1.5 Phún xạ phản ứng 1.68 Phún xạ chùm ion 1.65 Hai chùm tia ion 1.62...
- 11
- 791
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc
... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù ... Vol 11, No.10 - 2008 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 12 Hình 11 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 14 Hình 13 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 15 Hình 16 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 17 Trang 46 Hình...
- 8
- 603
- 0
Báo cáo nghiên cứu khoa học: " NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF" doc
... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệt độ 14000C vòng Việc chế tạo bia gốm TiO2 trình bày báo ... đương cao khoảng 90% Nhưng tính chiết suất màng bước sóng 550 nm, màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf có chiết suất 2.48 màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ dc có chiết suất thấp khoảng 2.42 Kết...
- 7
- 692
- 2
Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p
... ti p tục thực chế tạo màng ZnO: (In,N) bán bẫn loại p phương ph p phún xạ magnetron DC Khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán ... 3: PHƯƠNG PH P PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương ph p tạo màng mỏng đế rắn, phương ph p có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương ph p là: Các phương ph p tạo màng ... ….) phương ph p tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương ph p tạo màng vật lý phương ph p phún xạ magnetron DC RF hai phương ph p nhà khoa học sử dụng phổ biến phòng...
- 106
- 1,690
- 1
Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng
... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, chế tạo hai loại bia gốm ZnO không pha tạp ZnO pha tạp Sn ... Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún...
- 72
- 1,563
- 0
PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ... Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa: Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý ... độ dày màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni...
- 15
- 2,361
- 2
THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC
... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I .1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề ... Hình 1. 1: Sơ đồ mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2 .1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1. 2) Bộ phận hệ phún xạ magnetron ... khí Ar oxi, tới va chạm với bia phún xạ III .10 không? Ưu điểm phương pháp phún xạ so với bốc bay chân HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ Hạt vật liệu bay từ bia có...
- 11
- 501
- 0
Từ khóa: màng dẫn điện trong suốtphương pháp phún xạ magnetron rfphương pháp phún xạ magnetron dcphương pháp phún xạ magnetronvật liệu dẫn điện trong suốthướng dẫn trồng rau bằng phương pháp thủy canhcách đo độ dẫn điện trong nước bằng máy eckỹ thuật trồng chè bằng phương pháp giâm cànhxác định hàm lượng sắt trong nước bằng phương pháp trắc quangmô hình trồng rau bằng phương pháp thủy canhxác định sắt trong nước bằng phương pháp phenanthrolinexác định sắt trong nước bằng phương pháp trắc quangxác định sắt trong nước bằng phương pháp phenantrolintrồng rau bằng phương pháp thủy canh hồi lưucách trồng rau bằng phương pháp thủy canhNghiên cứu sự biến đổi một số cytokin ở bệnh nhân xơ cứng bì hệ thốngBáo cáo quy trình mua hàng CT CP Công Nghệ NPVchuyên đề điện xoay chiều theo dạngNghiên cứu sự hình thành lớp bảo vệ và khả năng chống ăn mòn của thép bền thời tiết trong điều kiện khí hậu nhiệt đới việt namNghiên cứu tổ chức pha chế, đánh giá chất lượng thuốc tiêm truyền trong điều kiện dã ngoạiGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitNGHIÊN CỨU CÔNG NGHỆ KẾT NỐI VÔ TUYẾN CỰ LY XA, CÔNG SUẤT THẤP LPWAN SLIDEQuản lý hoạt động học tập của học sinh theo hướng phát triển kỹ năng học tập hợp tác tại các trường phổ thông dân tộc bán trú huyện ba chẽ, tỉnh quảng ninhPhối hợp giữa phòng văn hóa và thông tin với phòng giáo dục và đào tạo trong việc tuyên truyền, giáo dục, vận động xây dựng nông thôn mới huyện thanh thủy, tỉnh phú thọNghiên cứu tổng hợp các oxit hỗn hợp kích thƣớc nanomet ce 0 75 zr0 25o2 , ce 0 5 zr0 5o2 và khảo sát hoạt tính quang xúc tác của chúngNghiên cứu khả năng đo năng lượng điện bằng hệ thu thập dữ liệu 16 kênh DEWE 5000Tìm hiểu công cụ đánh giá hệ thống đảm bảo an toàn hệ thống thông tinChuong 2 nhận dạng rui roKiểm sát việc giải quyết tố giác, tin báo về tội phạm và kiến nghị khởi tố theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn tỉnh Bình Định (Luận văn thạc sĩ)BT Tieng anh 6 UNIT 2Tranh tụng tại phiên tòa hình sự sơ thẩm theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn xét xử của các Tòa án quân sự Quân khu (Luận văn thạc sĩ)Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vậtBÀI HOÀN CHỈNH TỔNG QUAN VỀ MẠNG XÃ HỘIChiến lược marketing tại ngân hàng Agribank chi nhánh Sài Gòn từ 2013-2015TÁI CHẾ NHỰA VÀ QUẢN LÝ CHẤT THẢI Ở HOA KỲ