... My=0,159µNm TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG SENSOR LỰC BẬC TỰ DO Tính Fz Chuyển vị sensor ∆C.d ∆d = d − d = = 3, 125( µ m) C0 Fz =kz ∆d =208 ,36 μN Chuyển vị của cực ứng với Fz=208 ,3 N TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG SENSOR ... thông số hình học sensor lực bậc tự kiểu điện dung (μm) d0 h a a1 a2 w c lx 10 30 30 0 30 0 600 150 100 100 ly b 200 10 fix1 fix2 250 800 TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG SENSOR LỰC BẬC TỰ DO ● Xác định hệ ... dụng lực Fz ∆C giá trị thay đổi điện dung xác định mạch điện Aεε C0 = d điện dung ban đầu TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHỎNG SENSOR LỰC BẬC TỰ DO ● Cho ví dụ sensor có thông số mạch điện sau: CR=0 ,32 pF,...