Phương pháp phún xạ Magneton RF trong chế tạo màn mỏng

... PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG GVHD: PGS TS Lê Văn Hiếu Học viên: Phùng Nguyễn Thái Hằng NỘI DUNG: I PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ I.1 Phún xạ ? I.2 Hệ số phún xạ I.3 Phún xạ ... mơ tả Sự Phún xạ Đế Ar + BIA I.2 Hệ số phún xạ na s= ni s hệ số phún xạ nα số ngun tử bị phún xạ ni số ion đập vào bề mặt cathode Hệ số phún xạ s phụ thuộc vào : B...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 11:26

Ngày tải lên: 06/10/2014, 15:26

... vài phương pháp chế tạo màng mỏng - Các bước chế tạo màng mỏng phún xạ rf - Chế tạo màng mỏng TiO2 phún xạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương pháp phún xạ magnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương pháp ... xạ rf phương pháp sử dụng phổ biến công nghệ chế tạo màng mỏng bán dẫn có nhiều ưu điểm Mục đích chọn đề tài - Tìm hi...

Ngày tải lên: 30/11/2015, 21:46

... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại môi trường ... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... Phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) phún xạ magnetron dc (2) Khi so sánh phổ truyền qua màng TiO2 tạo từ phương pháp, ta nhận thấy độ truyền qua màng tương đương ... NGHIỆM Màng TiO2 tạo phương pháp phún xạ rf, từ bia gốm TiO2 (độ tinh khiết khoảng 99%), bia gốm chế tạo từ bột TiO2 tinh khiết nung tới nhiệ...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

... 1.2 DY NANO POLYANILINE 1.2.1 Gii thiu Trong nhng nm gn õy thỡ polyme dn cú cu trỳc nano c cỏc nh khoa hc v ngoi nc trung nghiờn cu Trong s cỏc polyme dn cu trỳc dõy nano thỡ dõy nano polyaniline ... tng hp dõy nano PANi v s dng cho cỏc nghiờn cu tip theo Chng 3: ng dng dõy nano polyaniline ch to cm bin khớ Chng ca lun ỏn i sõu vo nghiờn cu tớnh cht nhy khớ ca cm bin ó p...

Ngày tải lên: 10/05/2014, 16:30

... BÁO C Ả O TÓM TẮT Để tài; CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHẤT CỦA MÀNG m ■ MỎNG ZnO: AI VÀ MÀNG MỎNG ZnO: Mn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETON M ã số: Q T - 03 - 05 Chủ trì đề tài: ... LÊ ĐẠI THANH CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MỘT s ố TÍNH CHÂT CỦA MÀNG ZnO VÀ MÀNG ZnO PHA TẠP Mn, Co BANG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ R.F MAGNETRON C h u v ẽ n n g h n h : VẬT LÝ CHẤT RẮN M ã số: 01.02.07 LUẬN...

Ngày tải lên: 19/03/2015, 09:22

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG N...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 23:10

... trình phún xạ - Q trình phún xạ q trình truyền động II CÁC LOẠI PHÚN XẠ • Phún xạ phóng điện chiều (DC discharge sputtering) • Phún xạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) • Phún xạ magnetron ... bắn phá ion q trình phủ màng • Phóng điện hỗ trợ ion nhiệt : điện tử thứ cấp tăng cường từ sợi vonfram đốt nóng III PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ...

Ngày tải lên: 19/11/2015, 06:24

... Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia x p xỉ 7,7cm phù h p làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng ZnO pha t p N từ bia gốm Màng ZnO pha t p N chế tạo phương ph p phún ... B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương ph p phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương ph p nhiễu...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

... ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, công trình nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo màng TiN có chiết suất thấp, hệ số tắt k lớn, nghĩa màng có điện trở suất thấp hay độ phản ... 2.THỰC NGHIỆM Màng TiN chế tạo phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron dc đế thủy tinh, hệ chân không làm việc có áp suất tới hạn 10-4 torr với bia...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 03:20

... Với phương pháp phún xạ magnetron, tác giả [8] cho rằng, nồng độ pha tạp N phương pháp nhỏ, cỡ 1,4at% pha tạp chủ yếu qui định phản ứng ion N+2 lượng thấp, thành lập plasma phún xạ Phản ứng N+2 ... 6.Ảnh hưởng công suất phún xạ Trang 59 Science & Technology Development, Vol 11, No.06 - 2008 3.KẾT LUẬN Bằng phương pháp phún xạ phản ứng D.C ma...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 03:20