Gần hai nghỡn năm trước, địa danh Từ Liờm xuất hiện và đó trở thành một đơn vị hành chớnh cấp huyện từ thế kỷ thứ 7 cho đến nay. Trải qua bao nhiờu thăng trầm của lịch sử dõn tộc dưới cỏc triều đại, theo cỏc thể chế quản lý Nhà nước khỏc nhau, địa giới hành chớnh của huyện tuy cú thay đổi nhưng về cơ bản vẫn giữ nguyờn địa danh, địa giới cho đến cỏch mạng thỏng 8 năm 1945. Và cũng từ đú, tờn gọi cú lỳc khỏc nhau nhưng mảnh đất này phần lớn vẫn là vựng ngoại thành Hà Nội, là huyện gắn bú nhiều nhất với kinh thành Thăng Long.
Theo quyết định số 78/QĐ-CP ngày 31/5/1961 của chớnh phủ huyện Từ Liờm được chớnh thức thành lập trờn cơ sở sỏt nhập hai quận 5 và 6 của Hà Nội cũ (bao gồm cỏc xó Cổ Nhuế, Xuõn Đỉnh, Xuõn La, Nhật Tõn, Quảng Bỏ, Nghi Tàm, Dịch Vọng, Mai Dịch, Nghĩa Đụ…) cựng với một số xó như Mễ Trỡ, Mỹ Đỡnh, Trung Văn, Tõy Tựu, Minh Khai, Xuõn Phương… của hai huyện Hoài Đức và Đan Phượng. Huyện được thành lập gồm 26 xó, cú diện tớch đất trờn 114 kmP
2
P
, dõn số 12 vạn người. Năm 1974, huyện đó bàn giao xó Yờn Lóng về khu phố Đống Đa.
Đầu năm 1996, huyện đó bàn giao tiếp 5 xó: Tứ Liờn, Nhật Tõn, Quảng An, Xuõn La, Phỳ Thứ với tổng diện tớch đất tự nhiờn 1.619,9 ha và 32.080 nhõn khẩu về quận Tõy Hồ.
Cuối năm 1996, huyện bàn giao xó Nhõn Chớnh với diện tớch đất tự nhiờn 160,9 ha và 9.229 nhõn khẩu về quận Thanh Xuõn.
Từ ngày 30/8/1997, 4 thị trấn (Cầu Giấy, Mai Dịch, Nghĩa Đụ, Nghĩa Tõn) và 3 xó (Dịch Vọng, Yờn Hũa, Trung Hũa) với tổng diện tớch đất tự nhiờn 1.210 ha và 82.914 nhõn khẩu đó tỏch khoải huyện để thành lập quận Cầu Giấy.
Như vậy sau 42 năm thành lập, với tốc độ đụ thị húa nhanh trờn địa bàn, huyện đó gúp phần thành lập 3 quận mới của Thủ đụ, chuyển gần 1/3 diện tớch đất tự nhiờn và 1/2 dõn số ở những vựng kinh tế phỏt triển về nội thành.