Hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao (thường được viết tắt là HR - TEM xuất phát từ thuật ngữ tiếng Anh High resolution Transmission Electron Microscopy) là một chế độ ghi ảnh của kính hiển vi điện tử truyền qua cho phép quan sát ảnh vi cấu trúc của vật rắn với độ phân giải rất cao, đủ quan sát được sự tương phản của các lớp nguyên tử trong vật rắn có cấu trúc tinh thể. Ngày nay HR- TEM là một trong những công cụ để quan sát vi cấu trúc tới cấp độ nguyên tử.
Khác với các ảnh TEM thông thường có độ tương phản chủ yếu là tương phản biên độ do hiệu ứng hấp thụ thì HR-TEM hoạt động dựa trên nguyên lý tương
Luận văn Thạc sĩ Khoa học Chuyên ngành Hóa môi trường
34
phản pha, tức là ảnh tạo ra nhờ sự giao thoa giữa chùm tia thẳng góc và chùm tia tán xạ. Khi chùm điện tử chiếu qua mẫu (có chiều dày, độ sạch và sự định hướng thích hợp) sẽ bị tán xạ theo nhiều hướng khác nhau và sóng tán xạ sẽ ghi lại thông tin về cấu trúc, vị trí các nguyên tử... Vật kính phải có độ quang sai đủ nhỏ và có độ phân giải điểm đủ lớn để hội tụ các chùm tán xạ này, thực hiện việc giao thoa với chùm chiếu thẳng góc để tạo ra ảnh có độ phân giải cao.
Hình 2.2. Sơ đồ nguyên lý sự tạo ảnh độ phân giải cao trong TEM
Phương pháp HR - TEM được sử dụng trong việc đặc trưng bề mặt và cấu trúc vật liệu. Ảnh HR - TEM chụp trên máy TEM Tecnai G2 20 S-TWIN/FEI của Khoa Địa chất, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQGHN.