Kớnh hiển vi điện tử quột (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thƣờng viết tắt là SEM), là một loại kớnh hiển vi điện tử cú thể tạo ra ảnh với độ phõn giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cỏch sử dụng một chựm điện tử (chựm cỏc electron) hẹp quột trờn bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật đƣợc thực hiện thụng qua việc ghi nhận và phõn tớch cỏc bức xạ phỏt ra từ tƣơng tỏc của chựm điện tử với bề mặt mẫu vật. SEM cho ảnh bề mặt của vật rắn với độ phúng đại lờn tới hàng chục nghỡn lần (tuy nhiờn độ phõn giải của kớnh hiển vi điện tử quột chƣa cho phộp thấy đƣợc nguyờn tử trờn bề mặt). Hỡnh thỏi bề mặt cỏc màng mỏng thƣờng đƣợc nghiờn cứu bằng kớnh hiển vi điện tử quột.
Khi chựm electron đập vào bề mặt mẫu, chỳng va chạm với cỏc nguyờn tử ở bề mặt mẫu và từ đú cú thể phỏt ra cỏc electron thứ cấp, electron tỏn xạ ngƣợc, tia X... Mỗi loại tia nờu trờn đều phản ỏnh một đặc điểm của mẫu tại nơi mà chựm electron chiếu tới. Mặc dự khụng thể cú độ phõn giải tốt nhƣ kớnh hiển vi điện tử truyền qua (TEM) nhƣng kớnh hiển vi điện tử quột lại cú điểm mạnh là phõn tớch mà khụng cần
Hỡnh 2.8. Sơ đồ của phộp đo phổ nhiễu xạ tia X
phỏ hủy mẫu vật và cú thể hoạt động ở chõn khụng thấp. Một điểm mạnh khỏc của SEM là cỏc thao tỏc điều khiển đơn giản, giỏ thành của SEM lại thấp hơn rất nhiều so với TEM, vỡ thế SEM phổ biến hơn rất nhiều.
Hỡnh thỏi học của mẫu trong luận văn này đƣợc đo trờn kớnh hiển vi điện tử quột đặt tại Trung tõm Khoa học Vật Liệu – Trƣờng Đại học Khoa học Tự nhiờn – Đại học Quốc gia Hà Nội.
