. Màng mỏng ZnO pha tạp In [12] đƣợc chế tạo trờn đế thủy tinh bằng cỏch phỳn xạ trờn một bia ZnO:In cú đƣờng kớnh 7,5 cm trong một hệ phỳn xạ R.F. magnetron. Bia ZnO:In đƣợc chế tạo bằng cỏch nung hỗn hợp bột ZnO (99,9%) và bột In2O3(99,9%) ở nhiệt độ cao. Hàm lƣợng In2O3 đƣợc đƣa vào bia là 2% theo khối lƣợng. Bia gốm ZnO pha tạp đƣợc chế tạo bằng phƣơng phỏp gốm truyền thống từ vật liệu chớnh là bột ZnO, độ sạch 99,9% . Bia cú dạng đĩa trũn phẳng, khụng rạn nứt, đƣờng kớnh = 75mm và cú độ dày từ 3 5 mm. Khoảng cỏch giữa bia và đế là 4 cm. Khớ đƣợc dựng để phỳn xạ là khớ Ar với độ sạch 99,9%. Nguồng cung cấp cho đế hoạt động ở tần số 13,56MHz. Một lũ nung bằng dõy điện trở đƣợc đặt dƣới đế để thay đổi nhiệt độ của đế khi chế tạo mẫu.
Bia đƣợc chỳng tụi chế tạo nhƣ sau: Trộn đều bột ZnO với lƣợng tạp chất đƣa vào và dung dịch kết dớnh PVA (Polyvinyl Alcohol), tạo thành một hỗn hợp cú độ đồng nhất cao, sau đú bột đƣợc đƣa vào khuụn ộp hỡnh trụ và ộp với ỏp suất 1,2 tấn/cm2. Việc trộn hỗn hợp vật liệu ban đầu cú tỏc dụng vừa làm cho hỗn hợp cú độ đồng nhất cao vừa giỳp cho bia khụng bị nứt khi ộp. Trong quỏ trỡnh trộn và ộp phải
chỳ ý khụng làm vật liệu bị nhiễm bẩn bởi cỏc tạp khụng mong muốn. Bia sau khi ộp đƣợc sấy sơ bộ ở 150oC trong thời gian 2 giờ để nƣớc bay hơi và bia cú độ cứng nhất định. Sau đú, bia đƣợc đƣa vào lũ nung thiờu kết ở nhiệt độ 1100 1300oC trong 4 giờ.
Đế thủy tinh đƣợc làm sạch bằng quỏ trỡnh rung siờu õm trong acetone và sau đú đƣợc thổi sạch bằng khớ N2 trƣớc khi phỳn xạ. Buồng phỳn xạ đƣợc hỳt chõn khụng đến ỏp suất cơ bản là 10-5Torr bởi một bơm sơ cấp dựng dầu và một bơm turbo phõn tử, sau đú hỗn hợp khớ gồm Ar và N2 đƣợc bơm vào buồng thụng qua một bộ điều chỉnh lƣu lƣợng dũng khớ. Trong suốt quỏ trỡnh tạo màng, ỏp suất khớ trong buồng đƣợc giữ ở 5Pa với cỏc ỏp suất riờng phần của khớ N2 thay đổi từ 0 đến 100%.