2.1.1.1. Máy rung rửa siêu âm
Máy rung rửa siêu âm Elma đƣợc sử dụng trong quá trình thực hiện chế tạo mẫu có các thông số kỹ thuật sau:
- Tần số hoạt động: 37 kHz và 80 kHz. - Công suất tối đa: 80 W.
- Nhiệt độ tối đa: 80 oC.
Máy rung rửa siêu âm đƣợc dùng để làm sạch đế ITO và các dụng cụ thí nghiệm. Hình 2.1 là ảnh chụp máy rung rửa siêu âm Elma tại phòng thí nghiệm của bộ môn Vật lý đại cƣơng - Khoa Vật lý - ĐH KHTN.
45
Hình 2.1. Ảnh máy rung rửa siêu âm Elma.
2.1.1.2. Tủ sấy
Tủ sấy Memmert đƣợc sử dụng trong quá trình thực hiện đề tài có các thông số kỹ thuật sau:
- Nhiệt độ hoạt động tối đa là 220 oC. - Có chế độ hẹn giờ tắt.
Tủ sấy đƣợc sử dụng để sấy khô dụng cụ thí nghiệm và tiến hành ủ thuỷ nhiệt các mẫu. Hình 2.2 là ảnh chụp tủ sấy Memmert tại phòng thí nghiệm của Bộ môn Vật lý đại cƣơng - Khoa Vật lý - ĐH KHTN.
Hình 2.2. Ảnh tủ sấy Memmert.
2.1.1.3. Lò ủ mẫu
Lò ủ mẫu Lenton đƣợc sử dụng trong quá trình thực hiện đề tài có các thông số kỹ thuật đặc trƣng sau:
- Nhiệt độ tối đa: 1200 oC.
46
Lò ủ mẫu đƣợc dùng để thiêu kết các mẫu thu đƣợc, tăng độ kết tinh của tinh thể. Trên hình 2.3 là ảnh của lò ủ mẫu Lenton tại phòng thí nghiệm bộ môn Vật lý đại cƣơng - Khoa Vật lý - ĐH KHTN.
Hình 2.3. Ảnh lò ủ mẫu Lenton.
2.1.1.4. Máy quay phủ (spiner)
Máy quay phủ đƣợc chế tạo tại phòng thí nghiệm có tốc độ quay thay đổi trong khoảng từ 0 - 3500 vòng/phút. Máy quay phủ đƣợc dùng để phủ sol lên màng ITO nhằm tạo lớp đệm TiO2 trƣớc khi tiến hành ủ thuỷ nhiệt. Hình 2.4 là ảnh chụp máy quay phủ đƣợc chế tạo tại phòng thí nghiệm bộ môn Vật lý đại cƣơng - Khoa Vật lý - ĐH KHTN.
Hình 2.4. Máy quay phủ được chế tạo tại phòng thí nghiệm bộ môn Vật lý đại cương - Khoa Vật lý - ĐH KHTN.
2.1.1.5. Nồi hấp
Nồi hấp đƣợc sử dụng trong quá trình thuỷ nhiệt có dạng hình trụ, đƣợc làm bằng thép, bên trong có bình teflon. Thể tích trong của lõi teflon khoảng 125 ml.
47
Nồi hấp đƣợc sử dụng để thực hiện ủ thuỷ nhiệt hỗn hợp tiền chất. Hình 2.5 là ảnh chụp nồi hấp đƣợc sử dụng trong đề tài.
Hình 2.5. Ảnh nồi hấp được sử dụng để ủ thuỷ nhiệt mẫu.