Kết quả trên hình 1.23(a) khi chưa pha tạp vật liệu ZnO cần 10h để làm
lượng MB suy giảm hoàn toàn. Trong khi đó ở hình 1.23(b) khi có sự pha tạp SnO2
thì chỉ mất 6h chiếu UV thì lượng MB đã phân hủy hết. Điều đó chứng tỏ SnO2 đã làm cải thiện đáng kể khả năng quang xúc tác của ZnO.
Bảng 1.2 tóm tắt một số công trình nghiên cứu ZnO pha tạp SnO2. Mặc dù các kết quả thu được đều khá tốt tuy nhiên các công trình nghiên cứu chỉ mới dừng lại ở việc nghiên cứu dạng composite hoặc dạng bột do đó khả năng tái sử dụng kém và khó ứng dụng để phủ lên các loại kính, panel…
Bảng 1.2. Một số kết quả nghiên cứu về khả năng quang xúc tác của vật liệu
ZnO pha tạp SnO2
ST
T Nhóm tác giả Loại vật liệu quang xúc tác Chất chỉ thị Nơi, năm công bố
1 E.M. Seftel [40] nano-sized ZnO/SnO2 MO 2008, Bỉ
2 Jian-Hui Sun [38] ZnO:Sn MB 2010, Trung Quốc
3 Zhijun Yang [41] ZnO–SnO2 composite MO 2010, Trung Quốc 4 J. Bandara [43] Composite ZnO/SnO2 Eosin Y 2002, Sri Lanka 5 Wang Cun [42] nano-sized ZnO/SnO2 MO 2002, Trung Quốc 6 Maolin Zhang [39] nanometer ZnO–SnO2 MO 2004, Trung Quốc 7 Guoying Sheng
[44] nanosized ZnO–SnO2 MO 2005, Trung Quốc
Vì vậy mục tiêu của đề tài là nghiên cứu màng mỏng ZnO pha tạp SnO2 có thể tái sử dụng và ứng dụng phủ được lên kính, panel.
CHƯƠNG II: PHÁP TẠO MÀNG SZO VÀ CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA
MÀNG
Có nhiều phương pháp tạo màng mỏng trên đế thủy tinh. Mỗi phương pháp có những ưu điểm và hạn chế riêng. Tuy nhiên, chúng ta có thể chia chúng ra làm hai phương pháp chính: phương pháp ngưng tụ hoá học CVD (chemical vapour deposition) và phương pháp ngưng tụ vật lý PVD (physical vapour deposition). Trong phương pháp ngưng tụ vật lý PVD thì phương pháp phún xạ magnetron DC và RF là hai phương pháp được các nhà khoa học sử dụng khá phổ biến trong các phòng thí nghiệm trên thế giới cũng như ở nước ta hiện nay.
Trong luận văn này, chúng tôi đã tiến hành tạo màng bằng phương pháp phún xạ magnetron DC.