Theo phổ nhiễu xạ tia X (hình 3.22), ta thấy ở nhiệt độ 1800 và 2000 tinh thể định hướng tốt, nhưng đến 2400C khả định hướng giảm mạnh. Nguyên nhân là do nhiệt độ đế tăng quá cao sẽ làm cho cấu trúc màng có nhiều sai hỏng hơn (có thể do ứng suất giữa màng và đế tăng) tạo ra nhiều chỗ khuyết oxi, chính những chỗ khuyết oxi này bắt bớt đi những điện tử làm cho sự dịch chuyển của điện tử ra bề mặt màng giảm đi.
Ngoài ra, nhiệt độ đế cũng ảnh hưởng đến diện tích bề mặt hiệu dụng của màng. Nhiệt độ đế tăng từ 1800-2000 các nguyên tử được phún xạ có đủ năng lượng để khuếch tán trên bề mặt đế và liên kết với nhau, do đó hình thành những hạt có kích thước lớn hơn, nhưng khi nhiệt độ quá cao 2400 thì kích thước hạt lại giảm. Trong hình 3.23, ta thấy khi nhiệt độ cao (2400C) hạt có xu hướng hình thành những khối lớn làm cho diện tích bề mặt hiệu dụng kém. Ở nhiệt độ 2000C hình dạng hạt tương đối đều, kích thước hạt lớn hơn, diện tích bề mặt hiệu dụng lớn hơn.
Vì vậy, khả năng quang xúc tác mạnh hơn.
Hình 3.25. Phổ truyền qua của màng SZO (2%) theo nhiệt độ khác nhau.
Kết quả phổ truyền qua (hình 3.25) cho thấy các mẫu đều có độ truyền qua cao khoảng 85%. Độ truyền qua của các màng, SZO thay đổi nhẹ theo nhiệt độ đế. Khi nhiệt độ đế tăng thì độ truyền qua có khuynh hướng tăng. Ta thấy mẫu 15 (2400C) có độ truyền qua cao hơn mẫu 8 (2000C), điều này là do nhiệt độ đế tăng đã cải thiện hợp thức oxi trong màng.
3.4.4. Khảo sát ảnh hưởng của bề dày đến tính chất quang xúc tác của màng SZO