Phương phỏp ICP được phỏt triển rất sớm từ những năm 60. Theo phương phỏp này: mẫu được axit húa và được phun thẳng vào plasma, nhiệt độ cao của plasma sẽ nguyờn tử húa và ion húa cỏc dạng Asen.
Thụng thường ICP thường kốm với kỹ thuật phõn tớch khỏc như phổ khối (MS) hoặc AES. Trong đú ICP - MS là một trong những kỹ thuật phõn tớch tương đối phổ biến để xỏc định As.
Khi dẫn mẫu phõn tớch vào ngọn lửa plasma (ICP), trong điều kiện cao của plasma, cỏc chất cú trong mẫu khi đú sẽ bị húa hơi, nguyờn tử húa và ion húa tạo thành ion dương cú điện tớch +1 và cỏc electron tự do. Cỏc ion này trong ICP là nguồn tạo ra phổ ICP - MS khi chỳng được phõn giải theo số khối ( m/z) nhờ hệ thống phõn giải khối trong trường tứ cực trong chõn khụng và phỏt hiện bằng detector thớch hợp. Sau đú đỏnh giỏ định tớnh và định lượng phổ thu được.[13]
Cỏc tỏc giả A.J. Bednar và cộng sự [24] đó tiến hành xỏc định hàm lượng cỏc As trong mẫu nước tự nhiờn với độ nhạy khỏ cao (<1ppb) và độ thu hồi tốt khi sử dụng hệ HPLC - ICP - MS để tỏch và định lượng. Cũng sử dụng hệ này, tỏc giả Zhilong [52] đó thử nghiệm khả năng tỏch trờn cột tỏch ODS phủ photphatidylcholin, pha động là hệ đệm citrat cú pH bằng 4 và hợp chất tạo cặp ion để tỏch cỏc dạng hữu cơ và vụ cơ là tetrametylamoni hidroxit xỏc định cỏc dạng As. Nghiờn cứu này cho thấy cú thể xỏc định được 5 dạng As cú trong huyết thanh bệnh nhõn sau khi điều trị nhiễm độc As là As(III), As(V) , DMA, MMA và AB với độ nhạy dưới 5 ppb cho cỏc dạng và lượng mẫu tiờu tốn thấp. Cỏc nghiờn
cứu khỏc cũng cho những thành tựu đỏng lưu ý trong việc mở rộng đối tượng xỏc định cũng như nõng cao độ nhạy của phương phỏp.