- Phiến silic loại p+ có điện trở suất ρ= 0,0 1 0,1 Ωcm được bốc bay Al ở mặt sau để tạo tiếp xúc.
KẾT LUẬN CHUNG
1. Khóa luận đã trình bày những đặc tính cơ bản về cấu tạo và các đặc trưng phổ của một buồng vi cộng hưởng dựa trên màng silic xốp đa lớp.
2. Dựa trên phương pháp ma trân truyền (MTM) chúng tôi đã mô phỏng thành công phổ phản xạ của buồng vi cộng hưởng, sự phụ thuộc của bước sóng cộng hưởng và độ rộng vùng cấm vào độ dày của lớp không gian, sự phụ thuộc của độ phản xạ và độ rộng khe vào số chu kỳ các lớp điện môi…
Dựa vào q trình mơ phỏng chúng ta tìm ra mối quan hệ giữa chiết suất của chất lỏng cần xác định với độ dịch của bước sóng cộng hưởng của cảm biến.
3. Chúng tôi đã chế tạo thành công màng silic xốp đa lớp có chiết suất và độ dày tùy ý bằng phương pháp ăn mịn điện hóa với độ đồng đều cao và có cấu trúc vi mơ đáp ứng điều kiện lý thuyết của môi trường hiệu dụng trong vùng ánh sáng nhìn thấy và hồng ngoại.
Chúng tôi đã chế tạo thành công các buồng vi cộng hưởng trên màng silic xốp đa lớp với bước sóng cộng hưởng được kiểm sốt trong suốt cả vùng khả kiến, độ phản xạ cực đai đạt đến 80% và chỉ số phẩm chất cỡ 100.
4. Chúng tôi đã ứng dụng thành công các cảm biến dựq trên các buồng vi cộng hưởng đã chế tạo trên các dung môi cồn, aceton, isopropanol với độ nhậy của cảm biến Δλ/Δn= 236nm.
5. Khóa luận cũng đã tiến hành so sánh và chỉ ra sự phù hợp giữa các kết quả thực nghiệm với tính tốn mơ phỏng về sự phụ thuộc của phổ phản xạ vào các yếu tố như là chiết suất và độ dày lớp không gian, số chu kỳ của gương Bragg.
Tài liệu tham khảo
[1] Nguyễn Năng Định – Vật lý và kỹ thuật màng mỏng – NXB Đại học Quốc gia Hà Nội .
[2] Nguyễn Đại Hưng – Vật lý và kỹ thuật laser - NXB Đại học Quốc gia Hà Nội . [3] Nguyễn Thanh Hải – Nghiên cứu chế tạo cảm biến thủy âm quang sợi (SONAR quang sợi) – Khóa luận thạc sỹ, Trường ĐH Cơng Nghệ Hà Nội.
[4] Đỗ Thế Anh – Nghiên cứu chế tạo màng silic xốp đa lớp bằng phương pháp ăn mịn điện hóa để sử dụng làm linh kiện quang tử - Khóa luận thạc sỹ khoa học vật lý, Trường ĐH sư phạm Hà Nội.
[5] Nguyễn Thúy Vân - Nghiên cứu và chế tạo bộ lọc quang (băng rộng và băng hẹp) trên cơ sở màng đa lớp silic xốp – Khóa luận thạc sỹ.
[6] J. C. Maxwell Garnett, (1904), "Colours in metal glasses and in metallic films",
Phil. Trans. R. Soc. Lond. 203, pp.385-420.
[7]. Elisabet Xifre perez – Design, fabrication and charactertization of porous silicon multilayer optical devices .