- Phiến silic loại p+ có điện trở suất ρ= 0,0 1 0,1 Ωcm được bốc bay Al ở mặt sau để tạo tiếp xúc.
3.2.2.2.Kết quả cảm biến dựa trên buồng vi cộng hưởng
Đối với buồng vi cộng hưởng trên màng silic xốp đa lớp, khi được ngâm trong mơi trường có chiết suất cao hơn khơng khí dẫn tới chiết suất của các lớp của các lớp điện môi cũng tăng lên. Do vậy khi đó phổ phản xạ của buồng vi cộng hưởng khi chiết suất tăng lên cũng dịch chuyển về phía bước sóng dài, đỉnh của bước sóng trung tâm của buồng vi cộng hưởng hẹp và sắc nét nên sự xác định độ dịch là chính xác hơn so với trường hợp Hình 3. 18. Sự dịch chuyển phổ phản xạ của cảm biến, các đường phổ a,b và c tương ứng thu được trước, sau khi ngâm trong cồn 25% và 75% ( chiết suất của cồn và nước cất tương ứng là 1.3614 và 1,3330).
gương Bragg. Hình 3.19 và 3.20 là phổ phản xạ của cảm biến khi được nhúng trong cồn và aceton.
Hình 3. 19. Sự dịch chuyển phổ phản xạ của cảm biến, các đường phổ a và b tương ứng thu được trước và sau khi ngâm trong cồn.
Từ những kết quả thực nghiệm về cảm biến đã nêu ra ở trên chúng ta có thể thấy là sự dịch chuyển về vùng bước sóng dài khi cho thêm các chất vào là đúng với cơ sở lý Hình 3. 20. Sự dịch chuyển phổ phản xạ của cảm biến, các đường phổ (a), (b)
và (c) tương ứng cảm biến lúc ban đầu, ngâm trong cồn, ngâm iso propanol
thuyết nhưng sự dịch đó chưa phải là một kết quả chính xác vì thế chúng tơi đã dung phương pháp đo mẫu trong cuvet có chứa chất cần xác định và đã đem lại kết quả rõ rệt. Hình 3.21 cho thấy rõ ràng sự dịch phổ phản xạ khi ta ngâm buồng vi cộng hưởng trong các dung dịch khác nhau
Hình 3.21. Sự dịch chuyển phổ phản xạ của cảm biến, các đường phổ (B), (C) và (D) tương ứng với các trạng thái của cảm biến lúc ban đầu, sau khi ngâm trong cồn, sau khi ngâm trong iso propanol
Từ sự dịch chuyển của bước sóng ứng với sự thay đổi của chiết suất của chất lỏng đưa vào chúng ta có thể xác định được tỷ số của Δλ/Δn= 263.4. Kết quả này gần tương đương với kết quả của phần mơ phỏng tính tốn ở trên.
Cũng từ hình vẽ trên ta thấy
Δnkk-iso= 0.3776 Δλkk-iso=71.94 nm Δneth-ace = 0.0024 => Δλeth-ace =0.46 nm
Như vậy cần một độ phân giải dưới 5A0 mới phát hiện ra sai lệch về phổ giữa ethanol và aceton.
Hình 3.17. Phổ phản xạ của cảm biến cho các chất lỏng khác nhau, các đường phổ a, b, c, và d tương ứng với các trạng thái trạng thái ban đầu và sau khi ngâm trong cồn (nethanol= 1.3614), aceton (naceton= 1,5900) và isopropanol (niso= 1,3776), Δλeth-ace ═ 0; Δneth-ace = 0,0024 , Δλace-iso ═ 4,9 nm ; Δnace-iso = 0,0186