Chế tạo thành công thanh dao động SiN microcantilever tại Việt Nam là một kết quả quan trọng, thể hiện quyết tâm và cố gắng của Tác giả cũng như nhóm nghiên cứu thuộc Phòng Thí Nghiệm Công nghệ Nano, ĐHQG TPHCM. Có thể nói đây là một trong các bước tiến bộ trong lĩnh vực chế tạo micro tại Việt Nam. Tác giả và nhóm nghiên cứu sẽ tiếp tục nghiên cứu chế tạo ra các loại cantilever của các vật liệu khác nhau với những thiết kế khác nhau. Đặc biệt là chế tạo các thanh dao động có thông số hoạt động lặp lai cao. Đây là một trong các yêu cầu
để có thể đưa các thanh dao động micro/nano vào ứng dụng rộng rãi trong các phân tích Sinh – Hóa học.
Việc chế tạo các thanh dao động có kích thước nhỏ hơn, mỏng hơn (nanocanilevers) để có thể nâng cao được tần số và độ nhạy của thanh dao động, cho phép ứng dụng trong các phát hiện sinh học siêu nhạy là một hướng nghiên cứu cần được triển khai tiếp theo.
TÀI LIỆU THAM KHẢO
[1] Chung-Kai YANG, From MEMS to NEMS: Scaling Cantilever Sensors, Technische Universiteit Delft, 2012.
[2] Then, D.; Vidic, A.; Ziegler, C. Sens. Actuators, B2006, B117,1. [3] Then, D.; Ziegler, C. Encycl. Nanosci. Nanotechnol.2004, 1, 499.
[4] Abadal, G.; Davis, Z. J.; Helbo, B.; Borrise, X.; Ruiz, R.; Boisen Lang, H. P.; Berger, R.; Battiston, F.; Ramseyer, J. P.; Meyer, E.
[5] Andreoli, C.; Brugger, J.; Vettiger, P.; Despont, M.; Mezzacasa, T.;
Scandella, L.; Guentherodt, H. J.; Gerber, C.; Gimzewski, J. K.Appl. Phys. A1998, 66, S61.
[6] Rasmussen, P. A.; Grigorov, A. V.; Boisen, A. J. Micromech. Microeng.2005, 15, 1088.
[7] Lu, P.; Lee, H. P.; Lu, C.; O’Shea, S. J. Phys. ReV. B: Condens. Matter2005, 72, 085405/1.
[8] M.C. Petty, Langmuir-Blodgett Films, Cambridge University Press, Cambridge, 1996.
[19] W. Weaver Jr., S. P. Timoshenko and D. H. Young,Vibration Problems in Engineering, Wiley-Interscience, New York, 5th edn,1990, ch. 5, pp. 427– 428.
[10] Karen M. Goeders, Jonathan S. Colton, Lawrence A. Bottomley, Microcantilevers, Chem. Rev. 2008, 108, 522-542.
[11] D.F. McGuigan, C.C. Lam, R.Q. Gram, A.W. Hoffman, D.H. Douglass, and H.W. Gutche. Measurements of the mechanical Q of single-crystal silicon at low temperatures. J. Low Temp. Phys., 30(5/6):621–29, 1978. [12] Lange D (2000) Cantilever-based microsystems for gas sensing and atomic
force microscopy.
[13] R. McKendry, J. Zhang, Y. Arntz, T. Strunz, M. Hegner, H. P. Lang, M. K. Baller, U. Certa, E. Meyer, H.-J. Gu¨ ntherodt and Ch. Gerber,Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A., 2002, 99(15), 9783–9788.
[14] T. Thundat, E. A. Wachter, S. L. Sharp and R. J. Warmack, Appl. Phys. Lett., 1995, 66(13), 1695–1697.
[15] S. Basak, A. Raman and S. V. Garimella,J. Appl. Phys., 2006, 99(11), 114906.
[16] J. Polesel-Maris, L. Aeschimann, A. Meister, R. Ischer, E. Bernard, T. Akiyama, M. Giazzon, P. Niedermann, U. Staufer, R. Pugin, N. F. de Rooij, P. Vettiger and Heinzelmann,J. Phys.: Conf. Ser., 2007, 61, 955– 959.
[17] X. Yu, J. Thaysen, O. Hansen and A. Boisen,J. Appl. Phys., 2002, 92(10), 6296–6301.
[18] J. A. Harley and T. W. Kenny,Appl. Phys. Lett., 1999, 75(2),289–291. [19] Gfeller, K. Y.; Nugaeva, N.; Hegner, M.Appl. EnViron. Microbiol. 2005,
71, 2626.
[20] Gfeller, K. Y.; Nugaeva, N.; Hegner, M.Biosens. Bioelectron.2005, 21, 528.
[21] Ramos, D.; Tamayo, J.; Mertens, J.; Calleja, M.; Zaballos, A.J. Appl. Phys.2006, 100.
[22] Campbell, G. A.; Mutharasan, R. Biosens. Bioelectron.2006, 22,78. [23] Campbell, G. A.; Mutharasan, R. Biosens. Bioelectron.2006, 21,1684 [24] Nugaeva, N.; Gfeller, K. Y.; Backmann, N.; Lang, H. P.; Dueggelin, M.;
Hegner, M.Biosens. Bioelectron.2005, 21, 849.
[25] T. P. Burg, S. R. Manalis. Suspended microchannel resonators for biomolecular detection. Appl. Phys. Lett., 2003, 83 (13), 2698-2700.
[26] J. H. Lee, K. S. Hwang, J. Park, K. H. Yoon, D. S. Yoon and T. S. Kim, Biosens. Bioelectron., 2005, 20, 2157–2162
[27] B. Ilic, Y. Yang and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett., 2004, 85 (13), 2604–2606.
[28] B. Ilic, Y. Yang, K. Aubin, R. Reichenbach, S. Krylov and H. G. Craighead,
Nano Lett., 2005, 5 (5), 925–929.
[29] Philip S. Waggoner and Harold G. Craighead, Micro- and nanomechanical sensors for environmental, chemical, and biological detection, Lab Chip, 2007, 7, 1238–1255.
[30] Kinzler, Kenneth, W.; Vogelstein, Bert (2002). “Introduction”. The genetic basis of human cancer. New York: McGraw – Hill, Medical Pub. Division.p.5.
[31] Jemal A, Bray, F, Center, MM, Ferlay, J, Ward, E, Forman, D (February 2011). “Global cancer statistics”. CA: a cancer journal for clinicians 61 (2): 69 – 90.
[32] N.F. Martinez, P.M. Kosaka, J. Tamayo. Rev. Sci. Instrum.81, 125109 (2010).
[33] Daniel Ramos, Maria Arroyo-Hernandez, Eduardo Gil-Santos, Hien Duy Tong, Cees Van Rijn, Montserrat Calleja, and Javier Tamayo. Arrays of Dual Nanomechanical Resonators for Selective Biological Detection. Anal Chem., 2009, 81 (6), 2274-2279.
[34] N. F. Martínez, P. M. Kosaka, J. Tamayo, T. D. Hien, C. V. Rijn, and M. Calleja. High throughput optical readout of dense arrays of nanomechanical systems for sensing applications. Rev. Sci. Instrum. 2010, 81, 125109.