C. Trong polytype 2H1, cỏc thụng số cấu trỳc này thay đổi từ 1,8o đến
2.4.6. Phƣơng phỏp chụp ảnh SEM
Hỡnh 2.5 trỡnh bày nguyờn tắc của một số phương phỏp nghiờn cứu tớnh chất bề mặt, cấu trỳc và phõn tớch nguyờn tố (định tớnh, định lượng) trờn bề mặt xỳc tỏc rắn mà khụng cần phải phỏ mẫu xỳc tỏc.
Chùm electron sơ cấp
Electron truyền qua (Nghiên cứu cấu trúc bên trong bằng ảnh TEM, STEM) ...
Chùm electron thứ cấp (Thông tin về bề mặt: SEM)
Các electron bắn ra sát bề mặt mẫu (Thông tin về ngun tố, tính chất hố học các lớp bề mặt: AES, SAM) Phát quang catôt
(Xác định sự phân bố mức năng lượng)
Bức xạ Rơngen (vi phân tích và xác định sự phân bố nguyên tố: WDS, EDS, EPMA)
Hạt mang điện Photon
Hấp thụ dịng để nghiên cứu tính bán dẫn Các electron phản xạ ngược lại (Nghiên cứu bề mặt và thông tin về số nguyên tử)
Hỡnh 2.5: Sơ đồ cho thấy sự phong phỳ về thụng tin thu được từ tương tỏc giữa chựm điện tử với mẫu trong nghiờn cứu hiển vi điện tử.
Phương phỏp SEM cú thể thu được những ảnh cú chất lượng ba chiều cao, cú sự rừ nột hơn và khụng đũi hỏi sự phức tạp trong khõu chuẩn bị mẫu. Tuy nhiờn phương phỏp này lại cho hỡnh ảnh với độ phúng đại nhỏ hơn so với TEM. Phương phỏp SEM đặc biệt hữu dụng bởi vỡ nú cho độ phúng đại cú thể thay đổi từ 10 đến 100.000 lần với hỡnh ảnh rừ nột, hiển thị 3 chiều phự hợp cho việc phõn tớch hỡnh dạng và phõn tớch cấu trỳc. Chựm electron từ ống phúng được đi qua một vật kớnh và được tập trung thành một dũng hẹp. Vật kớnh chứa một số cuộn dõy (cuộn lỏi electron) được cung cấp với điện thế khụng đổi, cuộn dõy tạo nờn một điện từ trường tỏc động lờn chựm electron, từ đú chựm electron sẽ quột lờn bề mặt mẫu tạo thành một vạch quột. Tớn hiệu của cuộn lỏi cũng được chuyển đến ống catot để điều khiển quỏ trỡnh quột ảnh trờn màn hỡnh đồng bộ với quỏ trỡnh quột electron trờn bề mặt mẫu. Khi chựm electron đập vào bề mặt mẫu tạo nờn một tập hợp cỏc hạt thứ cấp đi tới catot, tại đõy nú được chuyển thành tớn hiệu và được khuếch đại. Tớn hiệu được gửi tới ống tia catot và được quột lờn màn hỡnh tạo nờn ảnh. Độ nột của ảnh được xỏc định bởi số hạt thứ cấp vào ống tia catot, số hạt này lại phụ thuộc vào gúc bắn ra của electron khỏi bề mặt mẫu, tức là phụ thuộc vào mức độ lồi lừm của bề mặt. Vỡ thế ảnh thu được sẽ phản ỏnh diện mạo của bề mặt vật liệu.