CHƯƠNG 4 CHẾ TẠO MÀNG PHỦ NITRUA ĐA LỚP TiAlX(Si,B)/CrN
4.1 Màng đa lớpTiAlSiN/CrN
4.1.1.2 Cấu trúc tế vi
Trong nghiên cứu của Delisle [54] và Sui [55] đã cho thấy, khi chiều dày của cặp lớp màng TiAlN và CrN tăng lên, độ mấp mô bề mặt của lớp màng giảm xuống. Thêm vào đó, các kết quả cịn chỉ ra độ mấp mơ bề mặt của các màng đơn CrN thấp hơn so với màng đa lớp TiAlN/CrN. Trong nghiên cứu này, hình thái học bề mặt và mặt cắt ngang của màng đa lớp TiAlSiN/CrN tại các chiều dày cặp lớp màng khác nhau được trình bày trên hình 4.2. Có thể thấy rằng, khi chiều dày của cặp lớp màng TiAlSiN/CrN giảm xuống, kích thước hạt bề mặt tăng lên và ngược lại. Điều này có thể là do một trong những nguyên nhân sau: màng CrN có cấu trúc mịn, màng TiAlSiN có cấu trúc thô. Mà bề mặt của cặp màng đa lớp bao giờ cũng là màng CrN. Do vậy, nếu chiều dày cặp màng mỏng, bề mặt màng CrN cịn bị ảnh hưởng của lớp màng thơ bên dưới là TiAlSiN. Nếu chiều dày cặp màng lớn, màng CrN ít bị ảnh hưởng bởi màng TiAlSiN nên có xu hướng mịn hơn.
Ngoài ra, trên ảnh tán xạ ngược mặt cắt ngang của màng (hình 4.2 d-f) chỉ ra màu sáng là màng CrN và màu tối là màng TiAlSiN. Thêm vào đó, kết quả chiều dày của hai lớp màng đơn tương đối đồng đều và bề mặt cắt ngang của màng mịn, không xuất hiện các đường sọc dạng cột.
Hình 4.2. Hình thái học bề mặt và mặt cắt ngang của màng đa lớp TiAlSiN/CrN
:(a,d)- 2 lớp; (b-e)- 4 lớp; (c-f): 12 lớp.
Để thấy rõ hơn các kết quả thu được ở trên, ảnh SEM trên hình 4.3 cho thấy, màng đơn lớp TiAlSiN có kích thước hạt lớn hơn so với màng đa lớp và màng đơn lớp CrN.
Hình 4.3. Hình thái học bề mặt của màng đơn lớp CrN và màng đa lớp