27
Hình 3.4: Biểu đồ thể hiện mối quan hệ giữa chuyển vị ngõ vào và ngõ ra của cơ cấu đàn hồi
Qua khảo sát thực nghiệm, nhận thấy rằng độ biến dạng ngõ ra tuyến tính so với biến dạng ngõ vào và hệ số tuyến tính K=2.7846203 (Hình 3.4). Vì vậy có thể kết luận rằng sai số bàn dao toàn bộ cơ do từ cơ cấu chấp hành Piezo, mà cụ thể là hiện tượng trễ phi tuyến.
3.2.3. Driver điều khiển cơ cấu chấp hành Piezo
Cơ cấu chấp hành PSA015 được hãng THORLAB bán kèm bộ driver MDT694A. MDT694A được thiết kế với 1 kênh xuất ra điện áp xoay chiều độ phân giải lớn để điều khiển các cơ cấu chấp hành Piezo hoạt động ở điện áp thấp. Để bảo vệ cơ cấu chấp hành Piezo, MDT694 cho phép lựa chọn 3 dải điện áp 0-75V, 0-100V, 0-150V.
28
Bảng 3.2: Bảng thông số kỹ thuật quan trọng của driver khuếch đại điện áp MDT694A
Điện áp ra 0-75V, 0-100V, 0-120V
Dòng điện ra (tối đa) 60mA
Nhiễu điện áp ra 1.5mVRMS
Điện áp cung cấp 100-240V, 50-60 Hz
Hình 3.5: Bộ điều khiển vịng hở (Driver) MDT694A cơ cấu chấp hành Piezo hãng THORLABS
Có 3 cách để điều chỉnh điện áp ngõ ra tác động vào cơ cấu chấp hành Piezo: 1. Điều chỉnh bằng núm vặn.
2. Nhận lệnh xuất điện áp từ cổng RS232.
3. Điều chỉnh qua nhận tín hiệu analog 0÷10V từ bên ngồi.
Trong mơ hình này bộ điều khiển sẽ giao tiếp với bộ drive MDT694A bằng tín hiệu analog 0÷10V.
3.2.4. Cảm biến vị trí bàn dao
Để đo vị trí bàn dao với yêu cầu chuyển động cỡ micron, nhóm nghiên cứu sử dụng cảm biến GT2-H12K của hãng Keyence. Cảm biến bày phạm vi đo 12mm và độ phân giải 0,1µm, đáp ứng đủ yêu cầu đặt ra.
29