Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscopy) cho phép quan sát hình thái cấu trúc vật liệu nano với độ phân giải thước đo tối đa là 20nm. Từ ảnh TEM, ta có thể xác định chính xác kích thước của hạt nano và hình dạng, phân bố hạt.Các mẫu tổng hợp được phân tích TEM tại Đại Học Bách Khoa TP.HCM trên thiết bị JEM 1400.
2.4.3 Kính hiển vi điện tử quét và phổ tán sắc năng lượng tia X
Phổ tánxạ năng lượng tia X, hay Phổ tán sắc năng lượng là kỹ thuật phân tích thành phần hóa học của vật rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do tương tác với các bức xạ (mà chủ yếu là chùm điện tử có năng lượng cao trong các kính hiển vi điện tử).
Kỹ thuật EDX chủ yếu được thực hiện trong các kính hiển vi điện tử ở đó, ảnh vi cấu trúc vật rắn được ghi lại thông qua việc sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao tương tác với vật rắn. Khi chùm điện tử có năng lượng lớn được chiếu vào vật rắn, nó sẽ đâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn và tương tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này dẫn đến việc tạo ra các tia X có bước sóng đặc trưng tỉ lệ vớinguyên tử số (Z) của nguyên tử theo định luật Mosley. Tần số tia X phát ra là đặc trưng với nguyên tử của mỗi chất có mặt trong chất rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ cho thông tin về cácnguyên tố hóa học có mặt trong mẫu đồng thời cho các thông tin về phần tỉ các nguyên tố này.
Trong bài nghiên cứu này, nhóm chúng tôi tiến hành phân tích SEM và EDX bằng máy JOEL JSM 7401F tại phòng thí nghiệm công nghệ nano, trung tâm nghiên cứu phát triển, khu công nghệ cao TPHCM.