Chất cảm quang có 2 loại: Cảm quang loại âm và loại dương,sự khác nhau của 2 loại cảm quang được mô tả trong hình 1.24. Đối với cảm quang loại âm phần photoresist bị ánh sáng chiếu vào không tan trong dung dịch tráng rửa và ngược lại với cảm quang loại dương.
Hình 1. 24Hai loại photoresits âm (Negative) và dương (Positive) 1.5.3.2 Giới thiệu kỹ thuật phún xạ
Tạo màng bằng kỹ thuật phún xạ (sputtering) hay phún xạ catốt (cathode sputtering) là một trong những kỹ thuật tạo màng bằng phương pháp lắng đọng pha hơi
vật lý (physical vapor deposition năng, bằng cách dùng các ion khí
bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguy bề mặt bia vật liệu này bay v
Khác với phương pháp b do nhiệt sinh ra thông qua quá tr năng. Vật liệu nguồn được tạo th (thường là catốt), chân khôn hiếm với áp suất thấp (cỡ 10 khí hiếm bị ion hóa, tăng tốc v mặt bia, truyền động năng cho c
được truyền động năng sẽ bay về phía đế v tử bị phún xạ. Như vậy, cơ ch
lượng.
Sự phóng điện được đảm bảo khi n
nguyên tử khí hiếm tạo ra các ion mới thông qua quá tr của các khí trơ được dùng cho s
những phản ứng hóa học với các nguy bị ăn mòn hóa học). Bia th
khí hiếm) nên còn gọi là phún x 1.5.4Giới thiệu phương Phương pháp quét thế v
hay phương pháp von-ampe vòng quét xung tam giác, là ph
sử dụng để nghiên cứu tính chất điện hoá, khả năng chuyển hoá, động học v vapor deposition - PVD), kỹ thuật này dựa vào nguyên lý truy
ùng các ion khí hiếm được gia tốc dưới tác dụng của điện tr ắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên t
ày bay về phía đế và lắng đọng trên đế[20].