pháp bốc bay nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay h ệt sinh ra thông qua quá trình đốt nóng mà thực chất là quá trình truy
ợc tạo thành dưới dạng các tấm biavà được đặt tại điện cực ốt), chân không trong buồng được duy trì ở mức áp suất cao v
ếm với áp suất thấp (cỡ 10-2 mbar). Dưới tác dụng của điện trường, các nguy ếm bị ion hóa, tăng tốc và chuyển động về phía bia với tốc độ lớn v
ặt bia, truyền động năng cho các nguyên tử vật liệu tại bề mặt bia. Các nguy ợc truyền động năng sẽ bay về phía đế và lắng đọng trên đế được gọi l
ơ chế của quá trình phún xạ là va chạm và trao đ ợc đảm bảo khi những điện tử được gia tốc, liên t
ử khí hiếm tạo ra các ion mới thông qua quá trình va chạm. Phần lớn các ion ùng cho sự bắn phá bề mặt bia vật liệu vì chúng không gây ra ững phản ứng hóa học với các nguyên tử vật liệu cấu thành bia (bia v
ọc). Bia thường đặt ở catốt, chịu sự bắn phá của các ion d à phún xạ catốt.
u phương pháp quét thế vòng tuần hoàn
ế vòng tuần hoàn còn gọi là phương pháp đo phân c ampe vòng quét xung tam giác, là phương pháp đi ứu tính chất điện hoá, khả năng chuyển hoá, động học v
ào nguyên lý truyền động ới tác dụng của điện trường, ên tử bị bứt ra từ
ật liệu bị bay hơi à quá trình truyền động ợc đặt tại điện cực ở mức áp suất cao và nạp khí ờng, các nguyên tử ển động về phía bia với tốc độ lớn và bắn phá bề ử vật liệu tại bề mặt bia. Các nguyên tử ợc gọi là các nguyên à trao đổi xung ên tục ion hóa các ạm. Phần lớn các ion ì chúng không gây ra ành bia (bia vật liệu không ịu sự bắn phá của các ion dương (ion
à phương pháp đo phân cực vòng ương pháp điện hoá được ứu tính chất điện hoá, khả năng chuyển hoá, động học và cơ chế
Phương pháp này cho phép áp đặt lên điện cực nghiên cứu điện thế có dạng xác định được quét theo hướng anot hay catot để quan sát dòng tương ứng. Trong phương pháp đo này, bề mặt điện cực nghiên cứu phải được phục hồi trước mỗi thí nghiệm. Phương pháp dòng - thế tuần hoàn được tiến hành trong dung dịch tĩnh, không khuấy trộn, tốc độ quét thế được giới hạn trong khoảng 1 –1.000mV/s. Tốc độ này không được nhỏ hơn 1mV/s bởi vì trong trường hợp này rất khó tránh khỏi sự khuấy trộn đối lưu của lớp khuếch tán. Phạm vi điện áp phụ thuộc vào việc lựa chọn dung môi, chất
điện ly nền và bản chất điện cực.
Đường cong phân cực vòng là một đường tuần hoàn biểu diễn mối quan hệ giữa mật độ dòng i (mA/cm2) và thế E(V). Đường cong biểu diễn quan hệ i-E có các đỉnh đặc trưng ip,a ứng với Ep,a và ip,c ứng với Ep,c là dòng - thế anot và catot tương ứng.