Phương pháp hữu hạn đã được sử dụng để xác định các tham số [6, 74]: -Các hệ số Ak (k = 0, 1, 2, 3…) được xác định từ giải Fk(ε);
- Các điều kiện: F0(0) và F0(∞) = 0 và fn(0) = 0 cho n ≥ 1[79]với fn(ε) = Fn(ε)ε-1/2
Hàm phân phối năng lượng electron f n (ε) được tính theo dải năng lượng của electron (ε) có giá trị 0÷ (εmax) trong đó, f0(εmax)/f0(ε)max<10-10, và các khoảng phân chia năng lượng Δε được xác định xấp xỉ sao cho thỏa mãn mứccân bằng năng lượng trong khoảng 0,1% Các giá trị của εmax và Δε thay đổi tùy thuộc vào các giá trị E/N khác nhau
- Các điều kiện ban đầu và dữ liệu đầu vào để tính toán là: Tần số kết hợp là: R a 1N∫ ε1/2Qa sdε
1
+ Điều kiện ban đầu: mật độ khối khí N = 3,5353 × 1016cm-3 (ở 00C và áp suất là 1Torr) với tỷ lệ phân chia năng lượng còn lại sau khi va chạm ion hóa
là 0,5;
+ Dữ liệu đầu vào: Các bộ tiết diện va chạm của electron các chất khí xem xét, nhiệt độ khí T, giá trị của E/N, năng lượng ε, và tỷ lệ chia vùng năng lượng electron từ 0 ÷ εmax
Lưu đồ thuật toán phục vụ việc xác định các hệ số chuyển động của electron sử dụng phương trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann được thể hiện trên hình 2 4 Bảng hiện thị kết quả tính toán sử dụng thuật toán phương trình xấp xỉ bậc hai
Bắt đầu
Các bộ tiết diện va chạm của các electron
của các chất khí cần xem xét
Dữ liệu đầu vào:
Tỷ lệ trộn, giá trị εmax, E/N và nhiệt độ T
Tính toán hàm phân bố năng lượng (EEDF)
εmax? sai
f0(εmax)/f0(ε)max<10-10
đúng
Kết thúc
Hình 2 4 Lưu đồ thuật toán tính toán hàm phân bố năng lượng của phương trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann
Với thuật toán hàm phân bố năng lượng của phương trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann trong luận án, nghiên cứu sinh có sử dụng và tính toán được hàm phân phối năng lượng electron f n (ε) được tính trong dải năng lượng của electron với giá trị từ 0 ÷ (εmax); trong đó: f0 (εmax )/f0 (ε)max<10-10 Kết quả thể hiện tính toán được thể hiện như phụ lục 1